Приложение к свидетельству № 61106
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M
предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопов сканирующих электронных SNE-3000MB, SNE-3200M,
SNE-4500M (далее по тексту – микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка с
поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности
объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка
поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей
точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью
объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того,
какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное
конкретное изображение.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную
плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально
ориентированной поверхности объекта.
Микроскопыукомплектованыдвумядетекторами,позволяющимиполучать
электронно-микроскопические изображения: стандартный детектор вторичных электронов SE
(secondary electrons), который позволяет получать изображения с топографическим контрастом,
и детектор отраженных электронов BSE (backscattered electrons), предназначенный для
получения изображения с информацией о вариациях состава на основе контраста по среднему
атомному номеру.
В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:
- M – наличие детекторов BSE и SE;
- MB – наличие детектора SE;
Микроскоп SNE-4500M имеет мультиапертуру (30/50/100/200 мкм) и возможность
контроля низкого вакуума;
Микроскопыимеютразличноеразрешениеиувеличение,количествоосей
перемещения у стола, которые приведены в таблице 3.
Рисунок 1 – Общий вид микроскопов сканирующих электронных
SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2 – Места нанесения маркировки на микроскоп
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение (ПО), которое используется
для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО и измеренные
данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
исполняемого кода)
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки) Значение
Идентификационное наименование ПО MiniSEM
Номер версии (идентификационный номер) ПО2.0.4.26855
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма
39e500dccdc611943001330a5bb0054b
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПОMD5
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
среднему уровню в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Наименование характеристики
Таблица 2
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пикс
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа, нм
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров, нм
Значение
характеристики
от 2,65 до 19531
40
от 2·10
-2
до 2·10
3
±(4+0,05L
*
)
Лист № 3
Всего листов 5
от 20 до 30000
от 20 до 60000
от 100 до 100000
220 ± 5 %
90
90
98
10
18
390×640×560
390×640×560
390×330×560
150х200х215
390×310×560
от 15 до 30
70%
Продолжение таблицы 2
Диапазон регулирования увеличения, крат:
- для SNE-3000MB
- для SNE-3200M
- для SNE-4500M
Номинальное напряжение сети питания, В
Масса, кг, не более:
- для SNE-3000MB
- для SNE-3200M
- для SNE-4500M
- роторный насос
контроллер к SNE-4500M
Габаритные размеры, мм, не более:
- для SNE-3000MB
- для SNE-3200M
- для SNE-4500M
- роторный насос
контроллер к SNE-4500M
Условия эксплуатации:
- Температура окружающего воздуха, °С
- Относительная влажность воздуха при 25°С, %, не более
*
- L – линейный размер объекта, нм
SNE-3000МВ
30
8
20
SNE-3200МВ
30
8
15(SE)
20(BSE)
SNE-4500МВ
30
3
5
Таблица 3
Модификация
микроскопа
ускоряющее
напряжение,
кВ
рабочее
расстояние, мм
разрешение,
нм
Размер
столика,
мм
Х = 20
У = 20
Z = 80
Х = 20
У = 20
Z = 80
Х = 40
У = 40
Z = 80
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель
корпуса микроскопа методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
Количество, шт
Таблица 4
Наименование
Микроскоп электронный сканирующий SNE-3000MB, SNE-
3200M, SNE-4500M
Роторный насос
Компьютер
Набор кабелей
1
1
1
1
Лист № 4
Всего листов 5
Продолжение таблицы 4
Руководство по эксплуатации1
Катод5
Масло для насоса1
Набор стандартных изделий1
Канцелярский набор1
Набор инструментов1
Методика поверки МП 010.М1-151
Поверка
осуществляется по документу МП 010.М1-15 «Микроскопы сканирующие электронные
SNE-3000MB,SNE-3200M,SNE-4500M.Методикаповерки»,утвержденномуФГУП
«ВНИИОФИ» 22.01.2015 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Наименование метрологических характеристик
597
±2
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение,
мкм
Погрешность,
мкм
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм
2001
±2
Значение ширины (b
u
) верхнего основания выступа
(8 выступ) в шаговой структуре, нм
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы сканирующие электронные SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M.
Руководство по эксплуатации» раздел п. 5.1.
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим
электронным SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м
и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
Изготовитель
Компания «SEC Co., Ltd», Корея
415, Factory World, 332-3. Woncheon-dong, Suwon
Телефон: 031-215-7341
Факс: 031-215-7343
E-mail:
Web:
Заявитель
ООО «ОПТЭК»
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail:
Web:
Лист № 5
Всего листов 5
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » ________________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
