Приложение к свидетельству № 60560
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установка измерений координат LMS IPRO2
Назначение средства измерений
Установка измерений координат LMS IPRO2 (далее - установка) предназначена для
измерений координат местоположения и критических размеров линейных топологических
элементов фотошаблонов.
Рисунок 1 – Общий вид установки LMS IPRO2
1 – Двери электронных стоек, 2 – Сервисные двери, 3 – Панель управления, 4 – Шлюз загрузки
Описание средства измерений
Принцип действия установки основан на оценке профиля интенсивности проходящего
или отраженного от поверхности измеряемого образца света и измерений координат краев
элементов топологии фотошаблона с целью последующего определения местоположения (ко-
ординаты X и Y) элементов на фотошаблоне, а также их линейных геометрических (критиче-
ских) размеров.
Перед проведением измерений с помощью специального калибровочного набора мер
(фотошаблонов) в установке формируется эталонная сетка, координаты узлов которой сохра-
няются в базе данных установки. Одновременно сохраняется информация о калибровочных
поправках координатной сетки при измерениях координат и критических размеров элементов
топологии фотошаблонов. В процессе измерений осуществляется привязка измеряемых коор-
динат элементов фотошаблонов к эталонной сетке с учетом калибровочных поправок, что по-
зволяет исключить систематическую погрешность измерений.
Установка представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав кото-
рого входят измерительная система, электронные стойки, камеры поддержания климата и
обеспыливания и управляющая ПЭВМ.
Конструктивно установка выполнена в виде шкафа. Органы управления расположены
на передней панели шкафа стойки. Внешний вид установки приведен на рисунке 1.
*Место пломбировки от несанкционированного доступа. **Место для размещения наклеек
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) установки является специализированным ПО и пред-
ставляет собой программный продукт управления пользователя с набором микрокоманд LMS
IPRO 2 Job Processor (Runjob.exe, версия 6.2.2.38), DEVA LMS Data Evaluation (Deva.exe, вер-
сия 6.2.2.38), LMS CD Calibration (CdCalib.exe, версия 6.2.2.38), LmsCorr LMS System
Correction (LmsCorr.exe, версия 6.2.2.38).
ПО «LMS IPRO Job processor» предназначено для управления установкой при проведе-
нии измерений (не может быть использовано отдельно от установки), «DEVA LMS Data
Evaluation» - для обработки результатов измерений, «LMS CD Calibration» - для проведения
калибровки критических размеров, «LmsCorr LMS System Correction» - для проведения калиб-
ровки координатного стола.
Влияние метрологически значимой части ПО «LMS IPRO Job processor» и «DEVA LMS
Data Evaluation» на метрологические характеристики установки не выходит за пределы согла-
сованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО «LMS
IPRO Job processor» и «DEVA LMS Data Evaluation» указаны в таблице 1.
Наименование ПО
Идентифи-
кационное
наимено-
вание ПО
LMS IPRO
Job proces-
sor
Runjob.exe,
6.2.2.38
ГОСТ Р
34.11-94
DEVA
LMS Data
Evaluation
Deva.exe,
6.2.2.38
ГОСТ Р
34.11-94
Таблица 1
Номер вер-
сии (иден-
тификаци-
онный но-
мер) ПО
Алгоритм
вычисле-
ния иден-
тифика-
тора ПО
Управляющая программа для
проведения измерений «LMS
IPRO Job processor»
Программа обработки ре-
зультатов измерений «DEVA
LMS Data Evaluation»
Цифровой иден-
тификатор ПО
(контрольная
сумма испол-
няемого кода)
764072558fc7c3е7
bd75ddf426df6d9a
731ff742fbd5dbf25
1a71593еb1a9593
f5079f0484a38е3е7
390ba0b0330fе3fba
8е29еaе4df816724
c8375238238d09
Метрологически значимая часть ПО установки и измеренные данные достаточно за-
щищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень
защиты ПО установки LMS IPRO 2 Job Processor (Runjob.exe, версия 6.2.2.38), DEVA LMS
Data Evaluation (Deva.exe, версия 6.2.2.38), LMS CD Calibration (CdCalib.exe, версия 6.2.2.38),
LmsCorr LMS System Correction (LmsCorr.exe, версия 6.2.2.38) соответствует уровню «Сред-
ний» в соответствии с п. 4.5 рекомендации по метрологии РФ Р 50.2.077-2014 «ГСОЕИ. Испы-
тания средств измерений в целях утверждения типа. Проверка защиты программного обеспе-
чения».
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики установки приведены в таб-
лице 2.
Лист № 3
Всего листов 4
Наименование характеристики
0,8
0,5
3
4
3
4
Таблица 2
Значение
характеристики
от 0,5×10
-3
до 150
от 0,8×10
-3
до 150
5
Диапазон измерений координат местоположения элементов шаблона,
мм
Диапазон измерений критических размеров элементов шаблона, мм
Среднеквадратическое значение погрешности измерений координат
местоположения и критических размеров элементов шаблона, нм
Минимальный размер элемента изолированной линии шаблона при
измерениях критических размеров, мкм
Минимальный размер элемента изолированной линии шаблона при
измерениях местоположения элементов, мкм
Краткосрочная (за сутки) стабильность позиционирования измери-
тельной платформы, нм
Долгосрочная (более суток) стабильность позиционирования изме-
рительной платформы, нм
Краткосрочная (за сутки) повторяемость (сходимость) результатов
измерений критических размеров элементов на шаблоне, нм
Долгосрочная (более суток) повторяемость (сходимость) результатов
измерений критических размеров элементов на шаблоне, нм
Габаритные размеры (длина × ширина × толщина) измеряемых шаб-
лонов, мм
Габаритные размеры установки (ширина × глубина × высота), мм
Масса установки, кг, не более
Напряжение питания, В
Потребляемая мощность, Вт
Рабочий диапазон температуры, °С
Относительная влажность воздуха при температуре 20
°
С, %
Атмосферное давление, кПа
152,4×152,4×6,35
152,4×152,4×3,05
127,0×127,0×2,30
3550×2200×2370
4390
220 ± 10 trial
от 21 до 23
от 30 до 50
от 97 до 105
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель установки в виде наклейки и на титульный лист эксплуатацион-
ной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки включает:
- установка измерений координат LMS IPRO2 - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации (Установка измерений координат
LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации) – 1 комплект;
- методика поверки – 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 62326-15 «Инструкция. Установка измерений координат
LMS IPRO2. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ АО «НИЦПВ»
02.06.2015 г.
Лист № 4
Всего листов 4
Основные средства поверки:
- мера (фотошаблон) для калибровки установки измерений координат LMS IPRO2 (№
госреестра 53984-2013);
- набор мер (фотошаблонов) критических линейных размеров элементов фотошаблонов
(№ госреестра 60717-15).
Сведения о методиках (методах) измерений
Установка измерений координат LMS IPRO2. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке из-
мерений координат LMS IPRO2
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Изготовитель
Фирма KLA-Tencor MIE GmbH. Адрес: г. Вальбург, Kubacher Weg 4, Германия.
Заявитель
Закрытое акционерное общество «СКАН» (ЗАО «СКАН»)
Адрес: 119330, г. Москва, ул. Дружбы, д. 10 «Б»
тел.: (495) 739-5005 факс: (495) 234-0036
Е-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений акционерное общество «Научно-
исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ АО
«НИЦПВ»).
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66, Тел./Факс: 935-96-90
E-mail:
Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений
№ 30036-10 от 10.06.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » ________________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
