Приложение к свидетельству № 60150
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Приборы оптические µsurf cylinder
Назначение средства измерений
Приборы оптические µsurf cylinder (далее – приборы) предназначены для трехмерных
бесконтактных измерений линейных размеров.
Описание средства измерений
Принцип действия приборов основан на увеличенном разрешении захвата глубины с
помощью использования конфокальной диаграммы в плоскости, оптически сопряженной с
фокальной плоскостью объектива.
Конструктивно приборы состоят из гранитного штатива, измерительной головки с
объективами, линейного сервопривода по оси Z, светодиодного источника света, вращающейся
перфорированной конфокальной диафрагмы, камеры CCD, ручного 3D-навигатора и
аварийного выключателя.
С помощью 3D-навигатора осуществляется перемещение измерительной головки по
линейной оси.
В качестве источника света используется светодиод, преимуществами которого
являются монохроматичность генерируемого света и малая расходимость пучка света.
Свет от светодиода проходит через диск с точечными отверстиями (Multi-Pinhole-Disc,
MPD) и объектив, фокусируется на поверхности образца. С помощью точечного отверстия MPD
свет сокращается до фокусной области. Отраженный свет попадает на CCD-камеру.
Посредством вращения диска обеспечивается полное сканирование поверхности образца без
пробелов.
Результаты сканирования поверхности образца передаются на внешний компьютер.
Управлениеприборомосуществляетсяпосредствомвнешнегокомпьютерас
программным обеспечением, позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса
измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять
полученные результаты, передавать результаты измерений на принтер.
Внешний вид прибора представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид прибора
Место нанесения
знака поверки
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) прибора приведены в
таблице 2.
Таблица 2 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данныеЗначениеЗначениеЗначение
(признаки)
Идентификационноеµsoft metrologyµsoft analysisµsoft automation
наименование ПО (версии: Standard,(опционaльно)
Extended, Premium)
НомерверсииПОV 7.XV 6.XV 6.X
(идентификационный номер
ПО)
ЦифровойидентификаторOB9EE59AE438AD6DFD40A4AD
ПО
Другие идентификационныеCRC32CRC32CRC32
данные(алгоритм
вычисленияцифрового
идентификатора ПО)
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «высокий» по Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 3 – Метрологические и технические характеристики
Наименование характеристики
от 1 до 10
± 2
± 0,1
от 1 до 250
* - диапазон измерений линейных размеров можно расширить за пределы размеров одного
кадра с помощью функции совмещения (Stitching).
Значения характеристик
Объективы в различных исполнениях
Объектив 320 SОбъектив 800 XS
от 0 до 1900от 0 до 4800
2600 × 1450 × 800
15
400
230
от 50 до 60
Диапазон измерений линейных размеров в
плоскости XY*, мкм
Диапазон измерений линейных размеров по
оси Z, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерений линейных размеров в плоскости XY,
мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерений линейных размеров по оси Z, мкм
Диапазон показаний линейных размеров по
оси Z, мкм
Габаритные размеры (Д × Г × Ш), мм
Масса, кг, не более
- конфокaльный поверхностный дaтчик µsurf
- плaтформa из мaссивного твердого кaмня
Электропитание:
- напряжение, В
- частота, Гц
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха,
о
С
- относительная влажность воздуха, %, не более
Средний срок службы, лет, не менее
от 15 до 30
80 (без конденсaции)
8
Лист № 3
Всего листов 4
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на
лицевую панель прибора в виде наклейки.
Комплектность средства измерений
Комплектность средства измерений приведена в таблице 3.
Таблица 3 - Комплектность средства измерений
Наименование
Измерительная платформа из массивного твердого камня
Измерительная головка с объективами и моторизированной осью Z
Держатель эталонов
Ручной 3D - навигатор
Персональный компьютер
Руководство по эксплуатации
Руководство по программному обеспечению
Методика поверки МП 103-251-2014
Количество, шт.
1
1
1
1
1
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу МП 103-251-2014 «ГСИ. Приборы оптические µsurf cylinder.
Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ» 22 января 2015 г.
Основные средства поверки:
- объект-микрометр ОМО, диапазон измерений от 0 до 1 мм, пределы допускаемой абсолютной
погрешности ± 1 мкм;
- государственный эталон единицы длины 2-го разряда в диапазоне значений от 0,9 до
10 мкм по ГОСТ Р 8.763-2011 (мера рельефная, представляющая собой совокупность трех
групп рельефных структур в виде пазов различной глубины);
- набор концевых мер длины плоскопараллельных, от 0,5 до 100 мм, 4 разряда, класса точности
2.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методика измерений представлена в руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к приборам
оптическим µsurf cylinder
Техническая документация фирмы изготовителя NanoFocus AG, Германия.
Изготовитель
NanoFocusAG
Lindnerstraße, 98
46149 Oberhausen
Germany (Германия)
Telefon: +49 208 62000-0
Fax: +49 208 62000-99
e-mail:
Лист № 4
Всего листов 4
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений ФГУП «Уральский научно-
исследовательский институт метрологии» (ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ»)
620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, 4
тел. (343) 350-26-18, факс: (343) 350-20-39.
E-mail:
Аттестат аккредитации ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30005-11 от 03.08.2011 г.
.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
С.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
