Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN, ГРСИ 61516-15
Номер госреестра:
61516-15
Наименование СИ:
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные
Обозначение типа:
MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN
Производитель:
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
01.09.2021
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 59711
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact,
MERLIN Compact VP, MERLIN
Назначение средства измерений
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN
Compact VP, MERLIN предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа
твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип работы микроскопов автоэмиссионных сканирующих электронных MERLIN
Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN (далее по тексту – микроскопы) основан на
взаимодействии электронного пучка с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно
сканирует тот участок поверхности объекта, изображение которого формируется микроскопом.
При этом каждая точка поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов,
отображается соответствующей точкой на формируемом изображении. При взаимодействии
электронного луча с поверхностью объекта единовременно возникает сразу несколько ответных
сигналов. В зависимости от того, какой тип детектора сигнала в данный момент включен,
микроскопы формируют то или иное конкретное изображение.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную
плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально
ориентированной поверхности объекта.
Микроскопы укомплектованы двумя детекторами: внутрилинзовым и детектором
вторичныхэлектронов(SE),позволяющимиполучатьэлектронно-микроскопические
изображения, которые отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри
рабочего объема микроскопа. Микроскоп Merlin Compact VP дополнительно укомплектован
детектором отраженных электронов (EsB).
Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного
диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз
контролировать перемещения и повороты исследуемого объекта и гониометрического
держателя препаратов.
В микроскопе MERLIN Compact возможно использование режима высокого
разрешения при большом токе зонда, с использованием внутрилинзового SE. На микроскопе
MERLIN Compact VP возможно исследование диэлектрических материалов при низком
значении вакуума (VP режим). Микроскоп MERLIN позволяет использовать режим высокого
разрешения при низком токе зонда, с помощью детектора обратно-рассеянных электронов
(EsB).
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 – Общий вид микроскопов автоэмиссионных сканирующих электронных MERLIN
Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN
Рисунок 2 – Места нанесения маркировки на микроскоп.
Лист № 3
Всего листов 5
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для
обработки результатов измерений.
Идентификационныеданныеметрологическизначимойчастипрограммного
обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма
исполняемого кода)
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО
Значение
SmartSEM
5.06
7B1EE57BEE2FF061
4EF5F8822FB71632
MD5
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
среднему уровню. Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные данные достаточно
защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
21 ± 4
65
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2
Наименование характеристики
Значение
характеристики
150
от 0,8 до 2·10
6
от 500 до 2·10
6
±(1+0,05L
*
)
12-2000000
220 ± 5 %
870
980×774×1700
30 ± 0,3
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм
Диапазон показаний линейных размеров, нм
Диапазон измерений линейных размеров, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров, нм
Диапазон регулирования увеличения, крат
Номинальное напряжение сети питания, В
Масса, кг, не более
Габаритные размеры, мм, не более
Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха,
°
С
Относительная влажность воздуха при 25
°
С, %
Избыточное давление воздуха в помещении относительно
атмосферного давления, Па
* - L – линейный размер объекта, нм
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом
наклейки и на заднюю панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Количество, шт
1
Комплектность средства измерений
Таблица 3
Наименование
Микроскоп электронный сканирующий MERLIN Compact,
MERLIN Compact VP, MERLIN*
Компьютер с сетевым источником питания
Дисплей
Клавиатура
1
1
1
Лист № 4
Всего листов 5
Манипулятор «мышь»1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки МП 34.Д4-141
*- модификация по требованию заказчика
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 34.Д4-14 «Микроскопы автоэмиссионные
сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN Compact VP, MERLIN. Методика
поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИОФИ» 9 апреля 2014 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Наименование метрологических характеристик
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм.
Значение ширины (b
u
) верхнего основания выступа (8
выступ) в шаговой структуре, нм.
Номинальное
значение, нм
2001
597
Погрешность,
нм
±2
±2
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскопы автоэмиссионные сканирующие электронные MERLIN Compact, MERLIN
Compact VP, MERLIN. Руководство по эксплуатации раздел «Эксплуатация».
Нормативныедокументы,устанавливающиетребованиякмикроскопам
автоэмиссионным сканирующим электронным MERLIN Compact, MERLIN Compact VP,
MERLIN
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м
и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd.», Великобритания
511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
Заявитель
ООО «ОПТЭК»
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail:
Web:
Лист № 5
Всего листов 5
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.«___» ___________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 21623-06 | Калориметры дифференциальные сканирующие | DSC822e, DSC823e, DSC827e, FP90/85 | Фирма "Mettler-Toledo GmbH", Швейцария | 1 год | Перейти |
| 18155-99 | Корректоры объема газа электронные | EC-194, EC-694 | Фирма "RMG Messtechnik GmbH", Германия | 4 года | Перейти |
| 33052-06 | Весы настольные электронные | ВР-05МС | ООО фирма "Мера-Сервис", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 39426-08 | Весы электронные с пароуловителем | ME235S | Фирма "Sartorius" AG, Германия | 1 год | Перейти |
| 19974-00 | Весы настольные электронные | Штрих М | ЗАО "Штрих-М", г.Москва | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений