Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600, ГРСИ 61075-15
Номер госреестра:
61075-15
Наименование СИ:
Стенд измерительный для СБИС
Обозначение типа:
Verigy V93000 Pin Scale 1600
Производитель:
Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ MY04601811
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 59228
об утверждении типа средств измерений
лист № 1
всего листов 10
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
Назначение средства измерений
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 (далее по тексту – стенд)
предназначендляконтроляиизмерениявольт-амперныхпараметровсверхбольших
интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве
и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Описание средства измерений
Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического
контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается
входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается
с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится
генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и
драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной
программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется
компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его
сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и
измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение
постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы
постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью
программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и trial
программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного
обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля
каждый из измерительных каналов выполняет
измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная
частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена
до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных
меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток,
формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина
тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем
диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование
тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В
двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования
воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для
формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами
навходеобъектаконтроляиспользуетсядрайверканала.Параметрытестовой
последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси
времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу.
Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним
уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными
метками, общим количеством до8. Для контроля ожидаемых состояний в виде
последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний
и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
лист № 2
всего листов 10
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим
количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования
токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется
активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения
переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При
работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе
канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля.
В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим
применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим
применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений
используется источник-измеритель PMU или
прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и
измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения.
Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Дляформированиятребуемыхпараметровпитанияобъектовпредназначены
измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнен в виде
измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного
охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается
измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с
зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы
подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда представлен на рисунке 1.
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
место пломбирования (защитная краска под винт)
место размещения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1 – Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
лист № 3
всего листов 10
–
универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное
количество 16 шт., всего до 2048 универсальных измерительных каналов (каждый канал
включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления
тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и
113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для
каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим
входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
–
одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока
HPPMU, максимальное количество 2 шт.;
–
8-ми канальные платы источников питания MS DPS (E9711A/B), максимальное
количество 2 шт.;
–
32-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS32 (E8013CS),
максимальное количество 16 шт.
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров
функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников
питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и
документирование измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «низкий» по
Р50.2.077-2014, класс риска “A” по WELMEC 7.2, Issue 5.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
идентификационное наименование
идентификационный номер версии
Значение
SmarTest
7.1.4.12 и выше
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики стенда представлены в таблице 2.
Таблица 2
Наименование характеристики
1
Значение х-ки
2
диапазон установки длительности Т вектора тестовой
последовательности, нсот 2,5 до 31250
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
длительности Т вектора тестовой последовательности, нс± 15∙10
-6
∙Т
диапазон установки временных меток формирования
выходных импульсов D1–D8, стробирующих импульсов R1–R8, нс от минус 4∙Т до + 12∙Т
крайние значения временных меток, мксминус 6,3; + 19
разрешение временных меток, пс1
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
временных меток D1–D8 и R1–R8, пс± 150
максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %)0,6
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %)0,7
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %)0,8
лист № 4
всего листов 10
Продолжение таблицы 2
12
минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс
при амплитуде 1,0 В0,7
при амплитуде 1,8 В0,8
при амплитуде 3,0 В0,9
максимальная длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)9
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)250
максимальная длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)10,5
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)30
от минус 1,5 до + 6,5
1
диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В
разрешение уровней напряжения драйвера, мВ
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
напряжения драйвера, мВ
выходное сопротивление драйвера, Ом
± 5
от 47,5 до 52,5
диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В
диапазон VIL/VIHот 0,0 до + 6,5
диапазон VHHот + 6,0 до + 13,4
разрешение уровней напряжения широкодиапазонного
драйвера, мВ1
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ± 15
выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом
при уровнях напряжения от 0 до 6,5 Вот 45 до 55
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В, не более10
диапазон установки уровней напряжения компаратора и
допустимых уровней напряжения на входах компаратора, Вот минус 1,5 до + 6,5
разрешение по напряжению компаратора, мВ1
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
напряжения компаратором, мВ± 15
диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного
компаратора и допустимых уровней напряжения на входах
широкодиапазонного компаратора, В от минус 3,0 до + 13,4
разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ 1
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ
при уровнях напряжения от 0 до 8 В ± 20
при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В ± 50
от минус 1,5 до + 6,5
от минус 1,0 до + 1,0
1
диапазон допустимых уровней напряжения на входах
дифференциального компаратора, В
диапазон установки уровней напряжения дифференциального
компаратора, В
разрешение уровней напряжения дифференциального
компаратора, мВ
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения
напряжения дифференциальным компаратором, мВ
± 15
лист № 5
всего листов 10
Продолжение таблицы 2
12
диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мА
(суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А)от минус 25 до + 25
разрешение силы тока активной нагрузки, мкА12,5
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
силы тока I активной нагрузки, мкА± (1·10
-2
∙I + 75 мкА)
диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В
при силе тока в пределах ± 1 мА от минус 1,5 до + 6,5
при силе тока в пределах ± 25 мА от минус 1,0 до + 5,5
пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В
при силе тока в пределах ± 1 мАот минус 2,0 до + 6,5
при силе тока в пределах ± 40 мАот минус 2,0 до + 5,75
разрешение воспроизведения напряжения PMU, мкВ200
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока
нагрузки I, мА± (3 мВ + I·R), R = 1 Ом
разрешение измерения напряжения PMU, мкВ75
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником-
измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА
в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В ± (4 мВ + I·R), R = 1 Ом
в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В ± (2 мВ + I·R), R = 1 Ом
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-
измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600
не более 1,6 А)2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU
на пределе 2 мкА1 нА
на пределе 10 мкА5 нА
на пределе 100 мкА50 нА
на пределе 1 мА0,5 мкА
на пределе 40 мА20 мкА
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I
источником-измерителем PMU, нА (мкА)
на пределе 2 мкА± (5·10
-3
·I + 40 нА)
на пределе 10 мкА± (5·10
-3
·I + 100 нА)
на пределе 100 мкА± (5·10
-3
·I + 500 нА)
на пределе 1 мА± (5·10
-3
·I + 5 мкА)
на пределе 40 мА± (5·10
-3
·I + 50 мкА)
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I
источником-измерителем PMU, нА (мкА)
на пределе 2 мкА± (5·10
-3
·I + 10 нА)
на пределе 10 мкА± (5·10
-3
·I + 50 нА)
на пределе 100 мкА± (5·10
-3
·I + 200 нА)
на пределе 1 мА± (5·10
-3
·I + 1,25 мкА)
на пределе 40 мА± (5·10
-3
·I + 50 мкА)
пределы измерения напряжения АЦП BADC, В
в стандартном режиме
в широкодиапазонном режиме
от минус 3,0 до + 8,0
от минус 6,0 до + 13,4
лист № 6
всего листов 10
Продолжение таблицы 2
12
разрешение измерения напряжения АЦП BADC, мкВ
в стандартном режиме75
в широкодиапазонном режиме150
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC, мВ
в стандартном режиме± 1
в широкодиапазонном режиме± 10
входное сопротивление АЦП BADC, МОмболее 100
пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионным источником-измерителем
HPPMU, В
подключение через плату PS1600от минус 1,5 до + 6
подключение через разъем UTILITY pogo blockот минус 5 до + 8
разрешение воспроизведения и измерения напряжения
HPPMU, мкВ250
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения
источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА
подключение через плату PS1600± (2 мВ + I·R),R = 1 Ом
подключение через разъем UTILITY pogo block± 2 мВ
пределы воспроизведения и измерения силы тока I
источником-измерителем HPPMU5; 200 мкА; 5; 200 мА
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU
на пределе 5 мкА250 пА
на пределе 200 мкА6 нА
на пределе 5 мА250 нА
на пределе 200 мА6 мкА
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I
источником-измерителем HPPMU, нА (мкА)
на пределе 5 мкА, подключение через плату PS1600± (1·10
-3
·I + 50 нА)
на пределе 5 мкА, подкл. через разъем UTILITY pogo block ± (1·10
-3
·I + 10 нА)
на пределе 200 мкА± (1·10
-3
·I + 200 нА)
на пределе 5 мА± (1·10
-3
·I + 10 мкА)
на пределе 200 мА± (1·10
-3
·I + 200 мкА)
пределы воспроизведения напряжения U измерительным
источником питания MS DPS, Вот минус 8 до + 8
разрешение воспроизведения напряжения MS DPS, мкВ300
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ,
измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А
в 4-х канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм ± (1·10
-3
∙U + 4 мВ + I·R)
в 8-ми канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм ± (1·10
-3
∙U + 2 мВ + I·R)
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режиме, А
при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 Вот минус 1,5 до + 8,0
при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 Вот минус 1,5 до + 4,0
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 Вот минус 4,0 до + 1,5
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме, А
при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 Вот минус 1,5 до + 4,0
при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 Вот минус 1,5 до + 2,0
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 Вот минус 2,0 до + 1,5
лист № 7
всего листов 10
Продолжение таблицы 2
12
пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS
в 4-х канальном режиме 100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А
в 8-ми канальном режиме 0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А
разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме
на пределе 100 мкА5 нА
на пределе 1 мА50 нА
на пределе 10 мА500 нА
на пределе 0,3 А15 мкА
на пределе 8 А150 мкА
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным
источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА)
на пределе 100 мкА± (1·10
-3
·I + 100 нА)
на пределе 1 мА± (1·10
-3
·I + 1 мкА)
на пределе 10 мА± (1·10
-3
·I + 10 мкА)
на пределе 0,3 А± (1·10
-3
·I + 300 мкА)
на пределе 8 А± (1·10
-3
·I + 20 мА)
разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме
на пределе 10 мкА500 пА
на пределе 100 мкА5 нА
на пределе 1 мА50 нА
на пределе 10 мА500 нА
на пределе 0,3 А15 мкА
на пределе 4 А150 мкА
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным
источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА)
на пределе 10 мкА± (1·10
-3
·I + 10 нА)
на пределе 100 мкА± (1·10
-3
·I + 100 нА)
на пределе 1 мА± (1·10
-3
·I + 1 мкА)
на пределе 10 мА± (1·10
-3
·I + 10 мкА)
на пределе 0,3 А± (1·10
-3
·I + 300 мкА)
на пределе 4 А± (1·10
-3
·I + 10 мА)
от 0 до + 7
200
± 3
от минус 1,5 до + 1,5
от минус 1,2 до + 1,2
от минус 0,5 до + 0,5
100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А
пределы воспроизведения напряжения измерительным
источником питания DCS DPS32, В
разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32, мкВ
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения
напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, мВ
максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32, А
при воспроизведении напряжения до + 3,0 В
при воспроизведении напряжения до + 3,6 В
при воспроизведении напряжения до + 7,0 В
пределы измерения силы тока DCS DPS32
разрешение измерения силы тока DCS DPS32
на пределе 100 мкА
на пределе 2 мА
на пределе 50 мА
на пределе 1,5 А
5 нА
100 нА
2,5 мкА
100 мкА
лист № 8
всего листов 10
Продолжение таблицы 2
12
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным
источником питания DCS DPS32, нА (мкА)
на пределе 100 мкА± (1·10
-3
·I + 100 нА)
на пределе 2 мА± (1·10
-3
·I + 2 мкА)
на пределе 50 мА± (1·10
-3
·I + 50 мкА)
на пределе 1,5 А± (1·10
-3
·I + 1,59 мА)
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
габаритные размеры (высота × ширина × глубина), мм
головной блок с манипулятором
установка водяного охлаждения
масса головного блока с манипулятором, кг, не более
масса установки водяного охлаждения, кг, не более
напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В
потребляемая мощность, кВ∙А
температура окружающей среды, °С
относительная влажность при температуре 30 °С, не более
1880 × 1290 × 2270
950 × 520 × 870
1118
185
от 360 до 440
15
от 20 до 30
70 %
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в
виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплектность стенда представлена в таблице 3.
Таблица 3
Наименование
Обозначение
Кол-во
Измерительный головной блок E8014A зав. № MY04601811 1 шт.
Манипулятор Е6979LC зав. № 2301.384219 1 шт.
Установка водяного охлаждения E2760FAL зав. № 147296 1 шт.
Программа управляющая SmarTest 1 шт.
HP Z6201 шт.
1 шт.
МП РТ 090/551-2015 1 шт.
PR_POV_777
1 шт.
Компьютер
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin
Scale 1600. Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Программа для поверки
Комплект оснастки для поверки в составе
устройство согласования
устройство согласования
устройство согласования
устройство согласования
плата коммутационная
шлюз LAN/GPIB
ТСКЯ.418133.251 (Вер.2)1 шт.
ТСКЯ.418133.2531 шт.
ТСКЯ.418133.254 (Вер.1)1 шт.
ТСКЯ.418133.256 (Вер.1)1 шт.
E7010E1 шт.
Agilent E5810B1 шт.
лист № 9
всего листов 10
Поверка
осуществляется по документу «ГСИ. МП РТ 090/551-2015. Стенд измерительный для СБИС
Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному руководителем ФБУ «Ростест-Москва»
27.04.2015 г.
Средства поверки указаны в таблице 4.
Таблица 4
Наименование
частотомер электронно-
счетный Agilent 53132A с
опциями 012 и 030
Метрологические характеристики
абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне
от 0,33 нс до 10 с не trial ± 4·10
-9
×
Т
осциллограф цифровой
Tektronix DPO7254 с
пробником Р6158А
абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при
частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5·10
-6
×
Т + 6 пс)
мультиметр цифровой
Keithley 2000
абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах
10 В не trial ± (3·10
-5
·U + 50 мкВ)
100 В не более ± (4,5·10
-5
·U + 0,6 мВ)
калибратор-мультиметр
цифровой Keithley 2420
абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе
20 В не более ± (2·10
-4
·U + 2,4 мВ)
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (3,3·10
-4
·I + 0,7 нА)
100 мкА не более ± (3,1·10
-4
·I + 6 нА)
1 мА не более ± (3,4·10
-4
·I + 60 нА)
100 мА не более ± (6,6·10
-4
·I + 6 мкА)
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (3,3·10
-4
·I + 2 нА)
100 мкА не более ± (3,1·10
-4
·I + 20 нА)
1 мА не более ± (3,4·10
-4
·I + 200 нА)
100 мА не более ± (6,6·10
-4
·I + 20 мкА)
мультиметр Agilent 3458А
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах
10 мкА не более ± (10·10
-6
·I + 7 пА)
100 мкА не более ± (10·10
-6
·I + 0,6 нА)
1 мА не более ± (10·10
-6
·I + 4 нА)
10 мА не более ± (10·10
-6
·I + 40 нА)
1 А не более ± (10·10
-5
·I + 10 мкА)
калибратор-измеритель
напряжения и силы тока
Keithley 2651А
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме
электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах
5 А не более ± (8∙10
-4
·I + 3,5 мА)
10 А не более ± (1,5∙10
-3
·I + 6 мА)
калибратор
универсальный Fluke 9100
абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах
320 мА не более ± (1,6·10
-4
·I + 9,6 мкА)
3,2 А не более ± (6·10
-4
·I + 118 мкА)
10,5 А не более ± (5,5·10
-4
·I + 0,94 мА)
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
лист № 10
всего листов 10
Нормативные документы, устанавливающие требования к стенду измерительному для
СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие
технические условия.
ГОСТ8.027-2001.Государственнаясистемаобеспеченияединстваизмерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического
напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ8.022-91.Государственнаясистемаобеспеченияединстваизмерений.
Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы
постоянного электрического тока в диапазоне 1·10
-16
÷ 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
времени и частоты.
Изготовитель
Компания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия;
Адрес: Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany
тел. +49-7031-4357-000, факс +49-7031-4357-497
Заявитель
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5
тел./факс (495)926-71-85; e-mail:
Испытательный центр
Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр
стандартизации, метрологии и испытаний в Москве» (ФБУ «Ростест-Москва»)
Адрес: 117418 Москва, Нахимовский пр., 31;
тел. (499)129-19-11, факс (499)129-99-96.
Аттестат аккредитации № RA.RU.310639 выдан 16.04.2015 г.
Заместитель Руководителя
Федерального
агентства по техническому______________ С.С. Голубев
регулированию и метрологии
М.п.«______»_______________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 37860-08 | Комплексы измерительные вычислительные | Стенд проверки параметров реле СЦБ (ИВК СППР СЦБ) | ООО "Фирма "Парк ЖД", г.Екатеринбург | 2 года | Перейти |
| 72265-18 | Комплекс измерительный параметров активных и пассивных электронных компонентов | ДМТ-220 | ООО "ДМТ Трейдинг", Беларусь, г.Минск | 1 год | Перейти |
| 71332-18 | Микроскоп измерительный | CW-2020N-PC | Фирма "Chien Wei Precise Technology Co., Ltd.", Тайвань | 1 год | Перейти |
| 21453-01 | Канал давления измерительный универсальный | Нет данных | Санкт-Петербургский институт ядерной физики им.Б.П.Константинова РАН (ПИЯФ), г.Гатчина | 1 год | Перейти |
| 57504-14 | Преобразователь давления измерительный | 607-8 | Фирма "Dwyer Instruments, Inc.", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений