Приложение к свидетельству № 58869
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Спектрометр рентгеновский фотоэлектронный PHI 5000 VersaProbe
Назначение средства измерений
СпектрометррентгеновскийфотоэлектронныйPHI5000VersaProbe(далее–
спектрометр) предназначен для измерений интенсивности вторичного излучения элементов в
поверхностных слоях твердых образцов.
Рис.1 Внешний вид спектрометра рентгеновского фотоэлектронного
PHI 5000 VersaProbe
Программное обеспечение
Спектрометр оснащен встроенным программным обеспечением, которое невозможно
идентифицировать, позволяющим проводить контроль процесса измерений, осуществлять сбор
экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты, а также
внешним специализированным программным обеспечением «PHISUMMITXPSforVersaProbe».
Идентификационные данные внешнего специализированного программного обеспечения
представлены в таблице 1.
Описание средства измерений
Принцип работы спектрометра основан на явлении фотоэффекта и регистрации
фотоэлектронов, покидающих поверхность образца при облучении монохроматическим
рентгеновским излучением.
Конструкционно спектрометр изготовлен в виде моноблока, в котором находятся:
источники рентгеновского излучения (рентгеновская трубка); оптическая система, включающая
монохроматор; блок детектирования (канальный или вторичный электронный умножитель);
энергоанализатор.
Для детектирования элементов, проводится предварительное нанесение образца на
непроводящую подложку (графитовый скотч). Кроме того, в приборе предусмотрено тонкое
варьирование угла падения первичного рентгеновского излучения, что позволяет проводить
детектирование элементов по различной глубине приповерхностного слоя исследуемого
вещества.
Внешний вид спектрометра представлен на рисунке 1.
Место нанесения знака поверки
Лист № 2
Всего листов 4
Идентификационное наименование ПО
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данныеЗначение
PHI SUMMIT XPS for Versa Probe
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
Другие идентификационные данные
1.4.1.6
44BF05B94F311A4DC9735E006BB4A186
Md5
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Наименование характеристик
Диапазон регистрируемых элементов
От Be до Bi
10
±1,0
0,61
Габаритные размеры, мм, не более
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики представлены в таблице 2
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики
Значения
характеристик
Предел допускаемого относительного среднего квадратического
отклонения выходного сигнала, %
Диапазон измерений энергии связи, эВ
от 0 до 1400
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений энергии
связи, эВ
380±10 %
50
Разрешение энергии связи (полная ширина линии на половине высоты)
на линии золота Au 4f
7/2
при ширине энергетического окна 2,95 эВ, эВ,
не более
Параметры источника питания:
- напряжение, В;
- частота, Гц
Условия эксплуатации:
- относительная влажность воздуха, %, не более
- температура окружающего воздуха,
о
С
70
20±5
3500×3300
×1800
Масса, кг, не более
1000
Знак утверждения типа
наносится на боковую панель спектрометра методом наклейки и на титульный лист Руководства
по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплектность средства измерений приведена в таблице 3.
Лист № 3
Всего листов 4
Таблица 3 – Комплектность средства измерений
Наименование
Спектрометр
Количество, шт.
1
Руководство по эксплуатации1
Программное обеспечение PHISUMMITXPSfor VersaProbe1
Калибровочные образцы3
Методика поверки МП 6-251-20151
Поверка
осуществляетсяподокументуМП6-251-2015«ГСИ.Спектрометррентгеновский
фотоэлектронный PHI 5000 VersaProbe. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ»
«10» марта 2015 г.
Основные средства поверки:
- металлические тонкие пленки:
пленкитонкой пленки
Массовая доля основного
99,9
99,9
Марка металлической тонкойПараметры металлической
компонента в металлической
тонкой пленке, %, не менее
Серебро (Ср 99,9) Толщина, мм, 0,025
ГОСТ 6836-2002 Размеры, мм, 20×20
Золото (Зл 99,9) Толщина, мм, 0,025
ГОСТ 6835-2002 Размеры, мм, 25×25
Медь (М0к) Толщина, мм, 0,025
ГОСТ 859-2001 Размеры, мм, 20×20
99,9
Сведения о методиках (методах) измерений
Методика измерений представлена в руководстве по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к спектрометру
Техническая документация изготовителя фирмы «ULVACPHI, INC», Япония.
Изготовитель
Фирма «ULVAC-PHI, Inc.», США
18725 Lake Drive East Chanhassen, MN 55317 USA
Physical Electronics USA, Inc.
Email:
Telephone: (952)-828-6100
высшего
первого
Заявитель
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение
профессионального образования «Уральский федеральный университет имени
Президента России Б.Н. Ельцина», Россия, 620002, г. Екатеринбург, ул. Мира, 19.
Тел.: (343) 375-44-74
Лист № 4
Всего листов 4
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений ФГУП «Уральский научно-
исследовательский институт метрологии» (ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ»)
620000, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, 4, тел. (343) 350-26-18,
факс: (343) 350-20-39.
E-mail:
Аттестат аккредитации ГЦИ СИ ФГУП «УНИИМ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № 30005-11 от 03.08.2011 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
С.С. Голубев
М.п.«___» ____________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.