Untitled document

Приложение к свидетельству № 58837

об утверждении типа средств измерений

Лист № 1

Всего листов 4

ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300,

JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA)

Назначение средства измерений

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM

IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) (далее – микроскопы) предназначены для количест-

венного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверх-

ности твердотельных структур.

Описание средства измерений

Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости

монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегист-

рированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором скани-

ровании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение разме-

ра изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроско-

пов.

В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объ-

ектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электро-

нов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.

Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рас-

сеянных электронов.

Стандартный режим работы микроскопов – режим высокого вакуума (остаточное

давление в камере образцов от 1,3·10

-4

до 1,3·10

-3

Па). В ряде модификаций предусмотрен

режим низкого вакуума (остаточное давление в камере образцов от 10 до 100 Па). Некото-

рые модификации могут быть оснащены встроенным энергодисперсионным спектрометром

(ЭДС) и (или) рентгеновским спектрометром с дисперсией по длине волны.

Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программ-

ного обеспечения управляющей ПЭВМ.

Отличие модификаций:

- JSM IT300 – работает только в режиме высокого вакуума;

- JSM IT300A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встро-

енным ЭДС (возможна опция со спектрометром с дисперсией по длине волны);

- JSM IT300LV - работает как в режиме высокого так и низкого вакуума;

- JSM IT300LA - работает как в режиме высокого так и низкого вакуума и комплек-

туются встроенным ЭДС (возможна опция со спектрометром с дисперсией по длине волны);

При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При

максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной

дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхно-

сти колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.

Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.

Лист № 2

Всего листов 4

Рисунок 1 – Общий вид микроскопов JSM IT300x.

Программное обеспечение

Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и

внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений – «высокий» в

соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Наименова-

ние ПО

Идентифи-

кационное

наименова-

ние ПО

Номер версии

(идентифика-

ционный но-

мер) ПО

Цифровой идентификатор

ПО (контрольная сумма ис-

полняемого кода)

IT300 GUI

SemMain.exe

ver. 2.0

По ГОСТ Р

34.11-94

Таблица 1.

Алгоритм

вычисле-

ния иден-

тификатора

ПО

955CЕDЕ128AC51177367471

4030DЕ71BD2F9D4C75B286

3554A76879CЕ82F6F1B

Метрологические и технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики микроскопов для всех мо-

дификаций приведены в таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

характеристики

Пространственное разрешение в режиме регистрации вторич-

ных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряже-

нии 30 кВ, нм, не более

Диапазон измерений линейных размеров, мкм

от 0,03 до 1000

Лист № 3

Всего листов 4

220 ± 22

от 15 до 27

± 10

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений

линейных размеров, %

Габаритные размеры (ширина×высота×глубина), мм, не более:

- консоль с колонной и вакуумной системой

- видеоконтрольный блок

Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более

750×1000×1400

800×1200×800

360

от 15 до 27

2500

Рабочий диапазон температур окружающей среды, ºС

Напряжение питания от сети переменного тока частотой

(50/60 ± 1) Гц, В

Потребляемая мощность, В·А, не более

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающей среды,

- относительная влажность воздуха

при температуре, %, не более

- атмосферное давление, кПа

от 84 до 107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде

наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.

Комплектность средства измерений

В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый IT300x, комплект

ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 60731-15 «Микроскопы электронные растровые JSM

IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA) фирмы JEOL

Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»

06 апреля 2015 г.

Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр

№ 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM

1501.

Сведения о методиках (методах) измерений

Микроскопы электронные растровые JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM

IT300LV, JSM IT300A, JSM IT300LA). Руководство по эксплуатации.

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам

электронным растровым JSM IT300x (модификации JSM IT300, JSM IT300LV, JSM

IT300A, JSM IT300LA)

Техническая документация фирмы-изготовителя.

Изготовитель

Фирма JEOL Ltd., Япония

Адрес: 1-2 Musachino 3-chome Akishima Tokyo 196-8558 Japan.

Заявитель

ООО «ТОКИО БОЭКИ (РУС)»

Адрес: 127055, г. Москва, ул. Новолесная, д. 2

Тел.: (495)223-40-00. Факс: (495)223-40-01. E-mail:

main@tokyo-boeki.ru