Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000, ГРСИ 60514-15
Номер госреестра:
60514-15
Наименование СИ:
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла
Обозначение типа:
HMS-3000
Производитель:
Фирма "Ecopia Corporation", Корея
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ H3011311032
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 58597
об утверждении типа средств измерении
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на
эффекте Холла HMS-3000
Назначение средства измерений
Установка для измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте
Trial HMS-3000 (далее по тексту – установка) предназначена для измерения удельного элек-
трического сопротивления, коэффициента Холла, определения типа проводимости, концен-
трации и подвижности основных носителей заряда полупроводниковых материалов и полу-
проводниковых структур на подложках из арсенида галлия в соответствии с методикой изме-
рений по ГОСТ 25948 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические в микроэлек-
тронной промышленности. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффи-
циента Холла».
Описание средства измерений
Принцип действия установки основан на измерении напряжения постоянного тока в
направлениях: параллельном и перпендикулярном пропускаемому току, между контактами
образца размерами не более 20
´
20 мм по горизонтали, вертикали и диагонали, без воздейст-
вия и при воздействии на образец магнитного поля. Смена направления подачи постоянного
тока и направления измерения напряжения производится автоматически с помощью механи-
ческого реле. На основании полученных значений напряжения постоянного тока, измеренно-
го при пропускании тока в разных направлениях, без воздействия и при воздействии магнит-
ного поля на образец, вычисляется значение удельного сопротивления, проводимости,
концентрации и подвижности основных носителей заряда, магнитного сопротивления, коэф-
фициента Холла. Результаты измерений и расчетов выводятся на монитор персонального
компьютера.
Значения удельного электрического сопротивления в диапазоне 10
-4
– 10
-1
Ом
×
см, тип
проводимости, значение концентрации носителей заряда в диапазоне 10
7
– 10
21
см
-3
и значе-
ние подвижности основных носителей заряда в диапазоне 1 – 10
7
см
2
/(В·с) определяется
косвенным методом.
Установка состоит из основного блока, измерительного модуля и программного
обеспечения (ПО).
Основной блок установки смонтирован в металлическом корпусе. На его лицевой
панели расположены индикатор наличия питания, индикатор выполнения измерения и кноп-
ка сброса. На задней панели расположены переключатель для выбора порта USB или RS232,
разъем порта RS232, разъем порта USB, разъем для подсоединения измерительного модуля,
кнопка включения и выключения питания, предохранитель, разъем для кабеля питания,
клемма заземления.
Измерительный модуль представляет собой алюминиевый прямоугольный корпус.
В центре данного корпуса закреплена алюминиевая емкость с пенопластовой вставкой для
измерений в жидком азоте. В верхней части крышки смонтирован разъем для соединения с
основным блоком установки и технологическое отверстие для заливки жидкого азота в
алюминиевую емкость через воронку, в нижней расположен разъем для установки платы с
измеряемым образцом. Отверстия на передней и задней стенках корпуса модуля используют-
ся для загрузки и смены полярности П-образного магнита, при этом боковые стенки и
алюминиевая емкость служат направляющими при загрузке и смене полярности П-образного
магнита.
Лист № 2
Всего листов 5
Установка позволяет определять параметры полупроводниковых материалов при
задании разных значений постоянного тока, изменять количество измерений от 1 до 1000 раз
и автоматически усреднять результат измерения, проводить измерения при комнатной trial-
ратуре и температуре жидкого азота.
Охлаждение установки – воздушное, с естественной вентиляцией.
Внешний вид установки и место пломбирования показаны на рисунках 1, 2.
Рисунок 1 – Внешний вид установки
Рисунок 2
Место пломбирования
Лист № 3
Всего листов 5
Программное обеспечение
Идентификационные данные приведены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Значение
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Цифровой идентификатор ПО
HMS-3000
3.52
27fa8ce61584f825c99a05f6d328636b
Уровень защиты ПО «HMS-3000» от непреднамеренных и преднамеренных измене-
ний соответствует уровню: «СРЕДНИЙ» по Р 50.2.077-2014.
Метрологические и технические характеристики
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мкА
1 – 19990
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроиз-
ведения силы
постоянного тока, %
±2
Диапазон измерения напряжения постоянного тока, мкВ
0,1 – 2000,0
Пределы допускаемой относительной погрешности измерения
напряжения
постоянного тока, %
±2
Значение магнитной индукции в области измерения
(варианты исполнения магнита 0,38; 0,545; 1,0), Тл, не более
0,57
2·10
7
8
220±4,4
50±0,5
100
400
´
310
´
115
200
´
120
´
115
11
Входное электрическое сопротивление, Ом, не менее
Продолжительность непрерывной работы, ч, не более
Питание напряжением переменного тока, В
Частота питающего напряжения, Гц
Сопротивление изоляции, МОм, не менее
Габаритные размеры основного блока, мм, не более
Габаритные размеры измерительного модуля, мм, не более
Масса установки без упаковки, кг, не более
Рабочие условия эксплуатации:
– температура окружающего воздуха, °С
– относительная влажность, %
– атмосферное давление воздуха, мм рт.ст.
18 – 28
45 – 80
720 – 780
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель основного блока наклейкой и на титульный лист Руководства
по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
В комплект поставки входят:
1. Установка в составе:
– основной блок 1 шт.;
– измерительный модуль 1 шт.;
– постоянный магнит
2. Контрольный образец с паспортом
3. Воронка для заливки жидкого азота
4. CD диск с программным обеспечением HMS-3000 v.3.5; 3.52
5. Межблочный кабель
6. Питающий кабель
7. Кабель USB
8. Кабель RS232
9. Плата для установки образцов
10. Плата с прижимными контактами для установки образцов
11. Руководство по эксплуатации
12. Методика поверки 432-115-2015 МП
Лист № 4
Всего листов 5
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
1 шт.
10 шт.
2 шт.
1 шт.
1 шт.
Поверка
осуществляется по документу 432-115-2015 МП «Установка для измерения параметров полу-
проводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000. Методика поверки», утвержденно-
му ГЦИ СИ ФБУ «Тест-С.-Петербург» 18.02.2015 года.
Перечень основных и вспомогательных средств измерений, применяемых при поверке:
– мультиметр Agilent 3458A, диапазон измерений силы постоянного тока 1 нА – 20 А,
ПГ ±(0,003 – 0,012) %, диапазон измерений постоянного напряжения 1 мкВ – 1000 В,
ПГ ±(0,0008 – 0,003) %;
– установка для поверки измерителей магнитной индукции УПТ-1, диапазон измере-
ний 25 – 1500 мТл, ПГ ±0,02 %;
– прибор для поверки вольтметров В1-13, диапазон измерений силы постоянного
тока 1 нА – 100 мА, ПГ ±(0,005 – 0,01) %;
– резистор С2-14, 390 Ом, ПГ ±0,5 % (4 шт.);
– персональный компьютер (ПК), операционная система «Windows 98/Ме/2000/ХР»;
– CD диск c программным обеспечением HMS-3000 v.3,5 (v.3.52).
Сведения о методиках (методах) измерений
Методика измерений изложена в Руководстве по эксплуатации «Установка для изме-
рения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000, разделы 4,
5».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для
измерения параметров полупроводниковых материалов на эффекте Холла HMS-3000
1. ГОСТ 25948-83 «Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измере-
ние удельного сопротивления и коэффициента Холла».
2. ГОСТ 14014-91 «Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряже-
ния, тока, сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний».
3. ГОСТ 22261-94 «Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие
технические условия».
4. Техническая документация фирмы «Ecopia Corporation», Корея.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
– вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Лист № 5
Всего листов 5
Изготовитель
Фирма «Ecopia Corporation», Корея, 7th Floor Gyeongdo bld, 986-18 Hogye-dong, Don-
gan-gu, Anyang-city, Gyeonggi-do.
Заявитель
ЗАО «Светлана–Рост»
Адрес: 194156, г. Санкт-Петербург, пр. Энгельса, д. 27
Тел.: 7(812) 313-54-51, факс.:7(812) 320-43-94.
E-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФБУ «Тест-С.-Петербург»
Адрес: 190103, г. Санкт-Петербург, ул. Курляндская, д. 1.
Тел.: (812) 244-62-28, 244-12-75, факс: (812) 244-10-04.
E-mail:
Аттестат аккредитации ГЦИ СИ ФБУ «Тест-С.-Петербург» по проведению испыта-
ний средств измерений в целях утверждения типа № 30022-10 от 15.08.2011 г.
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по
техническому регулированию
и метрологииС.С. Голубев
М.п.«____»___________2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 7193-80 | Измерители параметров хроматографических пиков автоматические цифровые | И-03 | Нет данных | Нет данных | Перейти |
| 3094-72 | Установка для поверки проточных гигрометров | Ангара | Опытный завод "Эталон", г.Иркутск | Нет данных | Перейти |
| 18751-05 | Измерители параметров безопасности электроустановок зданий | ЭК0604 | ОАО "Электроприбор", г.Чебоксары | 1 год | Перейти |
| 17456-98 | Устройства для проверки и измерения геометрии ходовой части автомобиля | HUNTER 411 | Фирма "Hunter Engineering Company", США | 1 год | Перейти |
| 13249-91 | Приборы для измерения температуры | Testo 700 | Фирма "Testoterm" GmBH & Co, Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений