Приложение к свидетельству № 57609
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Анализатор MSA-500 TD
Назначение средства измерений
Анализатор MSA-500 TD (далее MSA-500) предназначен для измерения виброскоро-
сти и перемещения микромеханических элементов, а так же измерения линейных размеров
по осям X, Y, Z бесконтактным методом.
Описание средства измерений
Принцип измерения виброскорости и перемещения микромеханических элементов
основан на обнаружении сдвига частоты света, отраженного от движущейся поверхности.
Объект рассеивает или отражает свет лазерного луча, доплеровский частотный сдвиг исполь-
зуется для измерения компоненты виброскорости, совпадающей с направлением луча. Прин-
цип измерения линейных размеров по осям X, Y, Z основан на интерференции двух моно-
хроматических когерентных источников света. Изображение образца с опорной плоскости
передается на камеру, отображая, таким образом, интерференционную картину.
MSA-500 используется для решения задач научно-исследовательских и опытно-
конструкторских работ.
В состав MSA-500 входит измерительный микроскоп, контроллер, блок коммутации,
сенсорная головка и персональный компьютер Сенсорная головка содержит интерферометр,
связанный волоконно-оптическим кабелем с измерительным микроскопом. Сигнал интерфе-
рометра, поступающий от сенсорной головки, декодируется в контроллере при помощи де-
кодера скорости. Таким образом формируется сигнал напряжения, который пропорционален
скорости или перемещению объекта исследования. Результаты измерения записываются в
цифровом виде и сохраняются в системе управления данными. Сигналы управления форми-
руются и синхронизируются персональным компьютером. Блок коммутации является цен-
тральной точкой, объединяющей все элементы системы и обеспечивающей интерфейсы для
периферийных устройств.
Внешний вид анализатора MSA-500 TD приведен на рисунке 1.
Рисунок 1.
Наименование
программного
обеспечения
Номер версии
граммного
обеспечения
программного
обеспечения
цифрового
идентифи-
PSV8,6--
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) служит для управления анализатором. ПО представляет со-
бой сервисное (фирменное) программное обеспечение, которое поставляется совместно с
MSA-500.
ЦифровойАлгоритм вы-
Идентификацион-(идентифика-
идентификатор численния
ное наименование ционный но-
обеспечения
программногомер) про-
(контрольнаякатора про-
сумма испол- граммного
няемого кода) обеспечения
Сканирующий
виброметр
Топографиче-
ская измери-TMS3.2--
тельная система
Защита программы от преднамеренного воздействия обеспечивается тем, что поль-
зователь не имеет возможности изменять команды программы, могущие повлиять на точ-
ность измерений. Защита программы от непреднамеренных воздействий обеспечивается
функциями резервного копирования.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамерен-
ных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 – низкий.
Метрологические и технические характеристики
Значение
от 6∙10
-5
до 10
от 1 до 20 000
0,05
±1,5
250
3590
2680
±1
(100 ÷ 240) ± 10 %
от 5 до 40
Наименование характеристики
Диапазон измерения виброскорости, м/с
Рабочий диапазон частот, Гц
Разрешающая способность, мкм/с
Пределы допускаемой относительной погрешности измерения
виброскорости, %
Динамический диапазон измерения линейных размеров по оси Z
(max), мкм
Динамический диапазон измерения линейных размеров по оси X
(max), мкм
Динамический диапазон измерения линейных размеров по оси Z
(max), мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерения
линейных размеров, %
Напряжение питания (50/60 Гц), В
Условия эксплуатации:
- диапазон рабочих температур, °С
Габаритные размеры:
- измерительный микроскоп (Д×Ш×В), мм, не более
- контроллер (Д×Ш×В), мм, не более
- блок коммутации (Д×Ш×В), мм, не более
- сенсорная головка (Д×Ш×В), мм, не более
446,5×265×267
450×360×150
450×360×150
154×235×107
Лист № 3
Всего листов 4
Масса:
- измерительный микроскоп, кг, не более13
- контроллер, кг, не более10
- блок коммутации, кг, не более 8
- сенсорная головка, кг, не более 8
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус анализатора MSA-500 TD методом на-
клейки и на руководство по эксплуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Анализатор MSA-500 TD (зав. № 172087)1 шт.
Руководство по работе с оборудованием1 экз.
Методика поверки1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 59637-15 «Анализатор MSA-500 TD фирмы «Polytec
GmbH», Германия. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМС» 28августа
2014 г.
Основные средства поверки: государственный вторичный эталон единиц длины, ско-
рости и ускорения при колебательном движении твердого тела ГВЭТ 58-1-2009.
Сведения о методиках (методах) измерений
Руководство по работе с оборудованием «Анализатор MSA-500 TD», глава 4.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к анализатору
MSA-500 TD
Техническая документация фирмы «Polytec GmbH», Германия.
Рекомендации по области применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма «Polytec GmbH», Германия
Адрес: Polytec-Platz 1-7, D-76337 Waldbronn, Германия
Тел. +49(0)72436040, Факс +49(0)724369944
E-mail:
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «НПК «Технологический центр»
МИЭТ, г. Москва, г. Зеленоград
Адрес: г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д. 5, к. 7237
Тел.: (499) 734-45-21, факс: (495) 913-21-92
E-mail:
Лист № 4
Всего листов 4
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального агент-
ства по техническому регулирова-
нию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«____» _______2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.