Приложение к свидетельству № 57608
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP,
SIGMA HD, SIGMA HD VP
Назначение средства измерений
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP,
SIGMA HD, SIGMA HD VP предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа
твердотельных структур.
Описание средства измерений
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP,
SIGMA HD, SIGMA HD VP (далее по тексту – микроскопы) измеряют длину проекции
геометрическихрасстоянийнагоризонтальнуюплоскость,т.е.расстояниемежду
соответствующими точками на плоской и горизонтально ориентированной поверхности
объекта.
Принцип работы микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком
электронов поверхности образца для создания изображения.
Для функционирования микроскопов необходимо поддерживать вакуум в вершине
пушки, колонне и камере для образцов. Вакуум также необходим для того, чтобы электроны не
смешивались с газом. Измерение вакуума в камере для образцов осуществляется с помощью
измерителя Пеннинга. Максимальный уровень вакуума поддерживается в верхней части пушки
с помощью одного или двух геттеро-ионных наносов.
Образец располагается в специальной герметичной камере. Стандартный столик для
образцов представляет собой столик в возможностью перемещения по 5 осям координат.
Управление столиком осуществляется с помощью панели управления со сдвоенными
джойстиками или программного джойстика в пользовательском интерфейсе.
Колонна представляет собой зону, где происходит эмиссия, ускорение, создание пучка,
фокусировка и смещение электронов. Основными компонентами оптики являются ускоритель
пучковэлектроновилинзаобъектива,котораясостоитизэлектростатическойи
электромагнитной линз.
В стандартную комплектацию входит ПЗС-камера с инфракрасной подсветкой.
В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:
- VP – микроскопы с режимом разного уровня вакуума;
- HD – микроскопы с более высокой разрешающей способностью, размерами рабочей
камеры и столика, приведенными в таблицах 3 и 4.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 – Общий вид микроскопов полевых эмиссионных растровых электронных
SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP
Рисунок 2 – Места нанесения маркировки на микроскоп.
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение (ПО), которое используется
для обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО средства измерений
и измеренные данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
7B1EE57BEE2FF0614EF5F8822FB71632
MD5
Значение
SmartSEM
5.06
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер )ПО
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма
исполняемого кода)
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора
ПО
Лист № 3
Всего листов 5
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
среднему уровню в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Наименование характеристики
±(4+0,05L
*
)
23 ± 1
65
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2
Значение
характеристики
150
от 1 до 2·10
6
от 500 до 2·10
6
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм
Диапазон показаний линейных размеров, нм
Диапазон измерений линейных размеров, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров, нм
Диапазон регулирования увеличения, крат
10 – 500000
**
10 – 1000000
***
220 ± 5 %
636
822×980×1757
Номинальное напряжение сети питания, В
Масса, кг, не более
Габаритные размеры, мм, не более
Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха,
о
С
Относительная влажность воздуха при 25
о
С, не более, %
Избыточное давление воздуха в помещении относительно
атмосферного давления, Па
30 ± 0,3
*
- L – длина измеряемого объекта, нм
**
- для микроскопа автоэмиссионного электронного сканирующего SIGMA/SIGMA VP
***
- для микроскопа автоэмиссионного электронного сканирующего SIGMA HD/SIGMA HD
VP
SIGMA
SIGMA VP
Диаметр 330
Высота 270
SIGMA HD
SIGMA HD VP
Диаметр 358
Высота 270,5
Таблица 3
Модификация микроскопа
Размер рабочей камеры, мм
Размер столика, мм
X = 125
Y = 125
Z = 50
X = 130
Y = 130
Z = 50
Таблица 4
Модификация микроскопа
SIGMA
SIGMA VP
SIGMA HD
SIGMA HD VP
Разрешающая способность
1,5 нм при 15 кВ
2,8 нм при 1 кВ
1 нм при 15 кВ
1,9 нм при 1 кВ
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати и на заднюю панель
корпуса микроскопа методом наклеивания.
Лист № 4
Всего листов 5
1
Количество, шт
Комплектность средства измерений
Таблица 5
Наименование
Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA,
SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP
Компьютер
Руководство по эксплуатации
Методика поверки МП 127.Д4-13
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу МП 127.Д4-13 «Микроскопы полевые эмиссионные растровые
электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP. Методика поверки»,
утвержденному 23.12.2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Наименование метрологических характеристик
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм
Значение ширины (b
u
) верхнего основания выступа (8 выступ) в
шаговой структуре, нм
Номинальное
значение, нм
2001
597
Погрешность,
нм
±2
±2
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP,
SIGMA HD, SIGMA HD VP. Руководство по эксплуатации», раздел «Эксплуатация».
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам полевым
эмиссионным растровым электронным SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м
и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм».
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным
требованиям.
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания
511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
Лист № 5
Всего листов 5
Заявитель
ООО «ОПТЭК»
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail:
Web:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие «Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«___» ________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
