Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS, ГРСИ 58416-14
Номер госреестра:
58416-14
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие электронные
Обозначение типа:
EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
Производитель:
Фирма "Carl Zeiss Microscopy Ltd.", Великобритания
Межповерочный интервал:
6 месяцев
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
15.09.2019
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 56726
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25,
EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15
LS, EVO HD25 LS
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO
LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип работы микроскопов сканирующих электронных EVO MA10, EVO MA15,
EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS,
EVO HD25 LS (далее по тексту – микроскопы) основан на взаимодействии электронного пучка
с поверхностью объекта. Электронный луч непрерывно сканирует тот участок поверхности
объекта, изображение которого формируется микроскопом. При этом каждая точка
поверхности объекта, в границах поля зрения микроскопов, отображается соответствующей
точкой на формируемом изображении. При взаимодействии электронного луча с поверхностью
объекта единовременно возникает сразу несколько ответных сигналов. В зависимости от того,
какой детектор сигнала в данный момент включен, микроскопы формируют то или иное
конкретное изображение.
Микроскопы измеряют длину проекции геометрических расстояний на горизонтальную
плоскость, т.е. расстояние между соответствующими точками на плоской и горизонтально
ориентированной поверхности объекта.
Микроскопыукомплектованытремядетекторами,позволяющимиполучать
электронно-микроскопические изображения: два детектора вторичных электронов, которые
отличаются друг от друга геометрическим расположением внутри рабочего объема колонны
микроскопа, а также детектор отраженных электронов.
Микроскопы оснащены двумя вспомогательными телекамерами инфракрасного
диапазона, которые позволяют в реальном времени и с увеличением около 1,5 раз
контролировать перемещения и повороты объекта гониометрическим держателем препаратов.
В маркировке модификаций микроскопов применяются следующие обозначения:
- МА – микроскопы позволяют изменять давление до 400 Па;
- LS – микроскопы позволяют изменять давление до 3000 Па;
- 10, 15 и 25 – размеры рабочей камеры и столика, приведены в таблице 3;
- HD – микроскопы с более высокой разрешающей способностью, приведенной в
таблице 4.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 – Общий вид микроскопов сканирующих электронных EVO MA10, EVO MA15, EVO
MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS,
EVO HD25 LS .
Рисунок 2 – Места нанесения маркировки на микроскоп.
Программное обеспечение
Микроскопы имеют автономное программное обеспечение, которое используется для
обработки результатов измерений. Метрологически значимая часть ПО СИ и измеренные
данные достаточно защищены с помощью ограничения прав доступа паролем.
Лист № 3
Всего листов 5
Идентификационное
наименование ПО
Алгоритм вычисления
цифрового
идентификатора ПО
SmartSEM
5.06
MD5
Таблица 1
Номер версии
(идентификацио
нный номер)
ПО
Цифровой
идентификатор ПО
(контрольная сумма
исполняемого кода)
7B1EE57BEE2FF061
4EF5F8822FB71632
Защита ПО от преднамеренных и непреднамеренных воздействий соответствует
уровню «С».
Метрологические и технические характеристики
22 ± 0,2
40 ± 2
Таблица 2
Наименование характеристики
Значение
характеристики
2,65 - 19531
150
20 - 2·10
6
±(4+0,05L
*
)
5-1000000
220 ± 5 %
650
980×774×1700
30 ± 0,3
Масштабный коэффициент видеоизображения микроскопа, нм/пиксель
Эффективный диаметр электронного зонда микроскопа не более, нм
Диапазон измерений линейных размеров, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров, нм
Диапазон регулирования увеличения, крат
Номинальное напряжение сети питания, В
Масса, кг, не более
Габаритные размеры, мм, не более
Условия эксплуатации:
Температура окружающего воздуха,
°
С
Относительная влажность воздуха при 25
°
С, %
Избыточное давление воздуха в помещении относительно
атмосферного давления, Па
* - L – длина измеряемого объекта, нм
Диаметр 310
Высота 220
Диаметр 365
Высота 275
X = 125
Y = 125
Z = 50
Диаметр 420
Высота 330
X = 130
Y = 130
Z = 50
Размер рабочей камеры, мм
Таблица 3
Модификация микроскопа
EVO MA 10
EVO LS 10
Размер столика, мм
X = 80
Y = 100
Z = 35
EVO MA 15
EVO HD 15 MA
EVO LS 15
EVO HD 15 LS
EVO MA 25
EVO HD 25 MA
EVO LS 25
EVO HD 25 LS
Лист № 4
Всего листов 5
Таблица 4
Модификация микроскопа
EVO MA, LS
EVO HD
Разрешающая способность
3 нм (2 нм) при 30 кВ
4.5 нм при 30 кВ (VP режим)
15 нм при 30 кВ
20 нм (15 нм) при 1 кВ
10 нм при 3 кВ
1.9 нм при 30 кВ
3 нм при 30 кВ (VP режим)
10 нм при 30 кВ
5 нм при 3 кВ
8 нм при 1 кВ
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом наклейки и на заднюю
панель корпуса микроскопа методом наклеивания.
Количество, шт
1
1
1
1
1
1
1
Комплектность средства измерений
Таблица 5
Наименование
Микроскопы электронные сканирующие EVO MA10, EVO
MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO
HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS *
Компьютер с сетевым источником питания
Дисплей
Клавиатура
Манипулятор «мышь»
Руководство по эксплуатации
Методика поверки МП 125.Д4-13
* - модификация по требованию заказчика
Поверка
осуществляется по документу МП 125.Д4-13 «Микроскопы сканирующие электронные EVO
MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25
MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS .Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ»
23 декабря 2013 г.
Основные средства поверки:
Эталонная мера ширины и периода МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Наименование метрологических характеристик
Среднее значение шага (t) шаговой структуры, нм
Значение ширины (b
u
) верхнего основания выступа (8
выступ) в шаговой структуре, нм
Номинальное
значение, нм
2001
597
Погрешность,
нм
±2
±2
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскопы сканирующие электронные EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO
LS10, EVO LS15, EVO LS25, EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS .
Руководство по эксплуатации» разделы 2.2.3 и 2.2.4.
Лист № 5
Всего листов 5
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим
электронным EVO MA10, EVO MA15, EVO MA25, EVO LS10, EVO LS15, EVO LS25,
EVO HD15 MA, EVO HD25 MA, EVO HD15 LS, EVO HD25 LS
ГОСТ Р 8.763-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений.
Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 1·10
-9
до 50 м
и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством РФ обязательным
требованиям.
Изготовитель
«Carl Zeiss Microscopy Ltd», Великобритания.
511 Coldhams Lane, Cambridge CB1 3JS, United Kingdom
Телефон +44 (0)1223 401 450
Факс +44 (0)1223 401 501
Заявитель
ООО «ОПТЭК»
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
E-mail:
научно-
средств
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»).
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИОФИ» по проведению испытаний
измерений в целях утверждения типа № 30003-14 от 23.06.2014 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«___» ________ 2014 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 16315-00 | Весы электронные | Scout | Фирма "OHAUS Corporation", США | 1 год | Перейти |
| 72143-18 | Приборы электронные угломерные | ЭУ-1 | АО "ЦКБ морской техники "Рубин", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 27309-04 | Весы стационарные электронные | ВСЭ | ООО "Кубань-Мегавес", г.Краснодар | 1 год | Перейти |
| 18364-99 | Счетчики электрической энергии однофазные электронные | СЭТ1-4А | Государственный приборный завод, г.Рязань | 8 лет | Перейти |
| 60187-15 | Весы электронные | ВТ | ООО "АКОМИНС", г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений