Приложение к свидетельству № 58249
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Профилометры оптические Neox
Назначение средства измерений
Профилометры оптические
Neox
(далее – профилометры) предназначены для из-
мерений линейных размеров и анализа поверхностей объектов.
Описание средства измерений
Профилометры оптические Neox имеют две модификации «S Neox» и «Plu Neox» с
одинаковыми метрологическими характеристиками, различающиеся тем, что модифика-
ция «Plu Neox» имеет 2 LED источника света, а модификация «S Neox» имеет 4 LED ис-
точника света.
Профилометры оптические «
Neox
» относятся к классу бесконтактных оптических
приборов, принцип действия которых основан на интерференции и смещении конфокаль-
ной плоскости освещения.
Метод когерентной корреляционной интерферометрии основан на регистрации ин-
терференционных картин в белом свете при перемещении объектива по вертикали. Метод
позволяет измерять поверхности с неровностями высотой до 400 мкм. Положение репер-
ного зеркала в оптической системе подобрано таким образом, чтобы оптическая разность
хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают мак-
симумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, реги-
стрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается
абсолютный максимум, она находится в фокусе.
Метод конфокальной микроскопии основан на размещении в плоскости измерения
апертуры, дающей возможность получения максимального контраста изображения при
нахождении измеряемого участка поверхности в фокусе. Метод позволяет измерять по-
верхности с неровностями до 20 мм (в данном устройстве изображение программно сши-
вается после проведения замеров в заданном диапазоне высот).
Профилометры оптические состоят из блока осветителя с источником света, конст-
руктивно выполненного в виде моноблока, входящего в состав измерительной головки,
расположенной на колонне с возможностью перемещения по вертикали. Колонна уста-
новлена на гранитном или металлическом основании, оснащенном антивибрационными
пневмоподушками, и расположенном на металлической раме. Также в измерительной го-
ловке располагается оптическая система (набор диафрагм, фильтров, делитель светового
пучка, объективы, определяющие поле зрения (являются сменными), пьезопривод, цифро-
вая камера и микродисплей, выполняющий функцию источника проецируемого изобра-
жения для осуществления измерений в конфокальном режиме. На основании установлен
автоматический предметный столик с механической регулировкой угла наклона. В состав
профилометров входит компьютер и контроллер с интерфейсными платами для обработки
видеосигнала, управления пьезоприводом, приемом-передачей прочих управляющих сиг-
налов, а также приемом сигналов о результатах измерений.
Измерения проводятся в трехмерной системе координат. При вертикальном скани-
ровании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности
полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивно-
сти света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение
максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается фор-
ма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете
при перемещении объектива по вертикали.
Лист № 2
Всего листов 6
Специализированная программа служит для управления механическими частями
профилометров, для непосредственного измерения, для обработки полученных результа-
тов, построения трехмерных изображений рельефа поверхности, выделения отдельных
профилей поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по
высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости.
Режимы работы профилометров устанавливаются пользователем с помощью орга-
нов управления или программного обеспечения (далее - ПО) управляющей ПЭВМ. Орга-
ны управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней панели
соответственно.
Внешний вид профилометра приведен на рисунках 1 - 2.
- место для размещения наклеек
Рисунок 1 – Общий вид профилометра
Neox
. Вид спереди.
Лист № 3
Всего листов 6
Программное обеспечение
Программное обеспечение «SensoSCAN» является специализированным ПО про-
филометров.
ПО «SensoSCAN» предназначено для управления и обеспечения полной интегра-
ции периферийных устройств профилометров, составления измерительных программ и
обработки результатов измерений. ПО «SensoSCAN» не может быть использовано отдель-
но от профилометров.
-места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 2 – Общий вид профилометра Neox. Вид сзади.
Лист № 4
Всего листов 6
Наименование
ПО
Идентифи-
кационное
наимено-
вание ПО
Номер версии
(идентифика-
ционный но-
мер) ПО
Цифровой идентификатор
ПО (контрольная сумма
исполняемого кода)
SensoSCAN
Ver 5.1.4
63d08c2е
ГОСТ
Р34.11-94
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики
профилометров не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО ука-
заны в таблице 1.
Таблица 1
Алгоритм
вычисле-
ния иден-
тифика-
тора ПО
ПО управления
профилометром
иобработки
результатов из-
мерений
Метрологически значимая часть ПО профилометров и измеренные данные доста-
точно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных измене-
ний. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уров-
ню «А» по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики профилометров приве-
дены в таблице 2.
Наименование характеристики
± 50
Таблица 2
Значение
характеристики
от 0 до 40
± 5
0,1
0,1
от 5,16 до 7000
от 2,58 до 3500
от 1,29 до 1750
от 0,65 до 870
от 0,26 до 350
от 0,13 до 170
от 0.09 до 110
Диапазон измерений линейных размеров (ось Z), мм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных
размеров (ось Z) в диапазоне от 0 до 1 мкм, нм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линей-
ных размеров (ось Z) в диапазоне от 1 мкм до 40 мм, %
Повторяемость (среднеквадратическая погрешность) измерений высо-
ты ступеньки, %
Максимальное разрешение по оси Z, нм
Диапазон измерений линейных размеров по оси X, мкм, для объектива:
2,5х
5х
10х
20х
50х
100х
150х
Диапазон измерений линейных размеров по оси Y, мкм, для объектива:
2,5х
5х
10х
20х
50х
от 5,16 до 5280
от 2,58 до 2640
от 1,29 до 1320
от 0,65 до 660
от 0,26 до 260
Лист № 5
Всего листов 6
от 0,13 до 130
от 0.09 до 88
± 8
90
100х
150х
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линей-
ных размеров в плоскости XY %
Максимальное разрешение в плоскости XY, нм
Максимальный диапазон перемещений предметного стола (оси Х, У) и
сенсорной головки (ось Z), мм:
по оси Х, У
по оси Z
Максимальный размер образца (ширина×длина×высота), мм, не более
Габаритные размеры (ширина×высота×глубина), мм, не более
Масса без ЗИП и упаковки, кг, не более
Рабочий диапазон температуры окружающей среды, ºС
Относительная влажность воздуха при температуре 20
°
С, %, не более
Диапазон атмосферного давления, кПа
Вибрация, Гц
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В
Потребляемая мощность, В·А, не более
600×600
800
600×600×800
358×537×517
92
от 15 до 25
от 5 до 80
от 97 до 105
от 1 до 120
220 ± 22
210
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель профилометров в виде наклейки и на титульный лист
эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки включает:
- профилометр оптический Neox - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Профилометры оптические Neox. Ру-
ководство по эксплуатации) – 1 комплект;
- одиночный комплект ЗИП;
- методика поверки – 1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 57850-14 «Инструкция. Профилометры оптиче-
ские Neox. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»
19.02.2014 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная (МШПС 2.0К), изготовленная по
ГОСТ Р 8.628;
- набор мер длины концевых плоскопараллельных по ГОСТ 9038-90;
- микроскоп электронный растровый JSM-6460LV.
Сведения о методиках (методах) измерений
Профилометры оптические Neox. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профило-
метрам оптическим Neox
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Отсутствуют.
Лист № 6
Всего листов 6
Изготовитель
Фирма Sensofar-Tech, SL
, Испания
Адрес: Parc Audiovisual de Catalunya, Crta. BV-1274 km1, E-08225 Terrassa, Spain.
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ЭНЕРГО АВАНГАРД», 127106, Мо-
сква, ул. Гостиничная, д. 3
Тел./факс (495) 482-06-74, E-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное об-
щество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
(ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail:
Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений
№ 30036-10 от 10.06.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииC.C. Голубев
М.п.«____» ________________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
