Приложение к свидетельству № 51622
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000
Назначение средства измерений
Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000 (далее – микроскопы)
предназначены для количественного
морфологического анализа и
измерений линейных
размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Описание средства измерений
Микроскоп электронный растровый настольный JCM-6000 представляет собой на-
стольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
Микроскоп состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов
с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных электронов, детектора отра-
женных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных
электронов.
Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом настольном
JCM-6000 заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства
сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим
детектором, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности
объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце опре-
деляет увеличение микроскопа.
Создание устойчивого изображения диэлектрических объектов в режиме «low vac-
uum» обеспечивается благодаря напуску воздуха в камеру образца, в результате чего со-
храняется возможность наблюдения непроводящих объектов без предварительного напы-
ления токопроводящего покрытия.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При
максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалент-
ной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от по-
верхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью про-
граммного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Конструктивно микроскоп выполнен в виде моноблока.
Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней
панели соответственно.
Внешний вид микроскопа приведен на рисунках 1 - 3.
Лист № 2
Всего листов 5
* - место для размещения наклеек
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа JCM-6000
Рисунок 2 – Задняя панель микроскопа JCM-6000
Лист № 3
Всего листов 5
Рисунок 3 – Места пломбировки от несанкционированного доступа
Наименова-
ние ПО
Идентифи-
кационное
наименова-
ние ПО
Номер версии
(идентифика-
ционный но-
мер) ПО
Цифровой идентификатор
ПО (контрольная сумма ис-
полняемого кода)
ПО
JCM-6000
JCM-6000
SOFTWARE
Ver.1.1
ГОСТ
Р34.11-94
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «JCM-6000 SOFTWARE» является специализиро-
ванным ПО микроскопа.
ПО «JCM-6000 SOFTWARE» предназначено для управления микроскопом, со-
ставления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «JCM-6000
SOFTWARE» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики
микроскопа не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО ука-
заны в таблице 1.
Таблица 1
Алгоритм
вычисле-
ния иден-
тифика-
тора ПО
4bc78072 9bbc5bdе 2е19a141
149d7d92 10е321a1 3178b40d
415bd6aе 2040cda2 d4b2db79
f4f2a81c 49еbfc5d
Лист № 4
Всего листов 5
Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно
защищены с помощью специальных средств защиты от
преднамеренных изменений. За-
щита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А»
по МИ 3286-2010.
Наименование характеристики
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены
в таблице 2.
Таблица 2
Значение
характеристики
от 1 до 1000
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линей-
ных размеров, %
Разрешение при ускоряющем напряжении 15 кВ, нм
Габаритные размеры (ширина × высота × глубина), мм, не более
Масса без ЗИП и упаковки, кг, не более
Рабочий диапазон температуры окружающей среды, ºС Относительная
влажность воздуха при температуре 20
°
С, %, не более Диапазон
атмосферного давления, кПа
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В
Потребляемая мощность, В·А, не более
± 8
40
30×325×490
50
от 15 до 30
60
от 84 до 107
220 ± 22
900
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титуль-
ный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки включает:
- микроскоп электронный растровый настольный JCM-6000 - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Микроскопы электронные растровые
настольные JCM-6000. Руководство по эксплуатации) – 1 комплект;
- одиночный комплект ЗИП;
- методика поверки – 1 шт;
- тестовый образец фирмы SPI (островковая пленка золота на углероде).
Поверка
осуществляется по документу МП 54262-13 «Инструкция. Микроскопы электрон-
ные растровые настольные JCM-6000. Методика поверки», утвержденному руководителем
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 24.06.2013 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер
33598-06);
- мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм.
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000. Руководство по экс-
плуатации.
Лист № 5
Всего листов 5
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроско-
пам электронным растровым настольным JCM-6000.
Микроскопы электронные растровые настольные JCM-6000. Руководство по экс-
плуатации.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продук-
ции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
Компания JEOL ltd., Япония
1-2 Musachino 3-chome Akishima Tokyo 196-8558 Japan.
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ТОКИО БОЭКИ (РУС)», 127055, Мо-
сква, ул. Новолесная, д 2
Тел. +7(495)223-40-00, факс +7(495)223-40-01, E-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное об-
щество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
(ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail:
Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений
№ 30036-10 от 10.06.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.
«____» ________________ 2013 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
