Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA, ГРСИ 53938-13
Номер госреестра:
53938-13
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие электронные
Обозначение типа:
TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA
Производитель:
Фирма "TESCAN, a.s.", Чехия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
17.05.2023
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 51244
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 8
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA, VELA,
INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие электронные TESCAN серии VEGA
, VELA, INDUSEM,
TIMA, MIRA, LYRA, FERA
предназначены для измерений размеров, формы,
ориентации и других параметров наноструктур поверхностей различных объектов.
Описание средства измерений
МикроскопысканирующиеэлектронныеTESCANсерии
VEGA,VELA,
INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA
(далее – микроскопы) состоят из электронной
колонны,вакуумнойсистемы, управляющейэлектроники, наборадетекторов,
форвакуумного насоса и стола оператора с персональным компьютером.
Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а
такжеполучениеинформациисдетекторов. Детекторыпозволяютполучать
информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других
параметрах.
Управление и настройка микроскопов осуществляются с помощью трекбола,
мышки и клавиатуры компьютера, подключаемого к блоку электроники. Все данные и
изображения могут быть выведены на монитор или сохранены в компьютере.
К trial с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной
системы микроскопа, стол оператора, блок электроники, управляющий компьютер. Провода
от блока электроники и компьютера уложены в специальный короб в столе оператора. Стол
оператораслужитдляразмещенияоргановуправлениямикроскопом(трекбол,
клавиатура, мышь, монитор, так и используется для подготовки образцов перед
исследованием).Остальныеэлементы, обеспечивающие функционирование прибора
интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа
Принцип работы микроскопов основан на физическихэффектахвзаимодействия
поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов.
Изображениеобъектаформируетсяврезультатеразвертки (сканирования)
электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и
разрешающая
способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований. В качестве
источника электронов в микроскопах серии VEGA, VELA, INDUSEM и TIMA используется
электронная пушка с вольфрамовым термоэмиссионным катодом.
ВкачествеисточникаэлектроноввмикроскопахMIRA, LYRA и FERA
используется электронная пушка с катодом Шоттки с полевой эмиссией, что позволяет
получать изображенияс более высоким разрешением, чем при использовании
вольфрамового термоэмиссионного катода при больших токах пучка.
Исследуемые образцы
устанавливают в
вакуумную камеру с помощью держателей.
Стандартный держатель выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для
фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может
подключается выноснаяпанельсручкамииЖК-дисплеем,предназначеннаядля
быстрого изменения и контроля основных параметров.
Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN серии VEGA, VELA,
INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA приведен на рисунках 1 - 7.
Лист № 2
Всего листов 8
Рисунок 1 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN VEGA
Рисунок 2 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN INDUSEM
Лист № 3
Всего листов 8
Рисунок 4 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN MIRA
Рисунок 3 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN TIMA
Лист № 4
Всего листов 8
Рисунок 5 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN LYRA
Рисунок 6 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN VELA
Лист № 5
Всего листов 8
Рисунок 7 –Общий вид
микроскопов сканирующих электронных TESCAN FERA
Tescan main
application
4.X
-
-
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение TESCAN Software
Package, разработанное для конкретных измерительных задач и осуществляет также
функции управления процессом измерений.
Наимено-
вание ПО
Идентификационное
наименование ПО
Номер версии
(идентификаци-
онный номер)
ПО
Цифровой
идентификатор
ПО (контрольная
сумма
исполняемого
кода)
Алгоритм
вычисления
цифрового
идентификатора
ПО
Tescan
Software
Package
Программное обеспечениеи его окружение являются неизменными, средства для
программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защитой ПО являются лицензионные файлы, жестко привязанные к уникальному
идентификатору процессорного блока компьютера или флеш-ключу, что позволяет
предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения приборов соответствует уровню «С» по МИ 3286-
2010.
Лист № 6
Всего листов 8
Метрологические и технические характеристики
±
3
±
3
±
3
±
3
±
3
±
3
±
3
1
´
10
−2
1
´
10
−2
1
´
10
−2
Увеличение, крат
От 17 до 23
От 17 до 23
От 17 до 23
От 17 до 23
От 17 до 23
От 17 до 23
От 17 до 23
80
80
80
80
80
80
80
Питающее напряжение, В
1300
1500; 2400
1300
2200
2300
2300
2300
VEGA
От 300 нм
до 10 мм
TIMA
От 300 нм
до 10 мм
INDUSEM
От 300 нм
до 10 мм
MIRA
От 300 нм
до 10 мм
LYRA
От 300 нм
до 10 мм
FERA
От 300 нм
до 10 мм
VELA
От 300 нм
до 10 мм
3,0
1,2
3,0
Характеристики приборов
Диапазон измерений
линейных размеров
Пределы допускаемой
относительной
погрешности измерений, %
Разрешение, нм
Давление в камере, Па,
не более
1,2; 3,0
1
´
10
−2
3,0
1
´
10
−2
1,2
1
´
10
−2
1,2
1
´
10
−2
От 2 до
1000 000 вкл
От 2 до
1000 000 вкл
От 1 до
1000 000 вкл
От 2 до
1000 000 вкл
От 1 до
1000000 вкл
От 1 до
1000 000 вкл
От 1 до
1000 000 вкл
Диапазон рабочих
температур,
o
С
Относительная влажность,
%, не более, без
конденсата
Габаритные размеры, не
более, мм:
-длина,
-ширина,
-высота
2360
1030
2000
2360
1030
2000
2360
1030
2000
2360
1175
2000
3000
1330
2000
3000
1330
2000
3000
1330
2000
230±10 %
50
230 ± 10 %
50
230 ± 10 %
50
230± 10%
50
230 ± 10%
50
230±10%
50
230±10 %
50
Частота, Гц
Потребляемая мощность,
В
×
А, не более
Лист № 7
Всего листов 8
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносят на титульный лист Руководства по эксплуатации
типографским способом и на боковую грань рабочей камеры микроскопов методом
наклейки .
Комплектность средства измерений
В комплект поставки микроскопов сканирующих электронных TESCAN серии VEGA,
VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA входит:
Микроскоп сканирующий электронный TESCAN1 шт.
Руководство по эксплуатации1 экз.
Методика поверки1 экз.
Поверка
Осуществляется по документу МП 53938-13 «Микроскопы сканирующие электронные
TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM, TIMA, MIRA, LYRA, FERA. Методика поверки»,
разработанному ООО «ТЕСКАН», Санкт-Петербурги утвержденному ГЦИ СИ ФГУП
«ВНИИМС», г. Москва в мае 2013 года.
Основные средства поверки: меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в Руководстве по эксплуатации на приборе в п.7.
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
микроскопам сканирующим электронным TESCAN серии VEGA, VELA, INDUSEM,
TIMA, MIRA, LYRA, FERA
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
длины в диапазоне 1*10
-9
…50 м и длин волн в диапазоне 0,2 … 50 мкм».
Техническая документация фирмы TESCAN a.s., Чехия.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по
оценке соответствия промышленной
продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма «TESCAN, a.s.», Чехия.
Libušina tř. 21
623 00 Brno – Kohoutovice
Тел./факс: +420 530 353 411/ +420 530 353 415
E-mail:
Заявитель
ООО «ТЕСКАН»
195220, Санкт-Петербург, а/я 24
Телефон: (812) 322-58-99
Телефон /факс: (812) 322-58-98
E-mail:
Лист № 8
Всего листов 8
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»,
г. Москва. Аттестат аккредитации № 30004-08 от 27.06.2008 г. Адрес: 119361, г.Москва,
ул.Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66; E-mail:
сайт:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
«___»_______________ 2013 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 78640-20 | Весы автомобильные электронные | База | АО "Весоизмерительная компания "Тензо-М", г.о.Люберцы, пос.Красково | 1 год | Перейти |
| 37329-08 | Весы электронные | Valor | Фирма "Ohaus Instruments (Shanghai) Co., Ltd.", Китай | 1 год | Перейти |
| 33786-20 | Счетчики электрической энергии трехфазные электронные | Альфа А1140 | ООО "Систем Сенсор Технологии", Липецкая обл., с.Казинка | 16 лет | Перейти |
| 24558-03 | Весы автомобильные электронные | ВАЭ-60ЗП | ООО "Золотой Петушок Инвест", с.Ленино | 1 год | Перейти |
| 4184-74 | Микроскопы инструментальные с цифровым отсчетом | БМИ-1Ц | Приборостроительный завод, г.Новосибирск | Нет данных | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений