Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (мод. JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A), ГРСИ 53251-13
Номер госреестра:
53251-13
Наименование СИ:
Микроскопы электронные растровые
Обозначение типа:
JSM-6x10 (мод. JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A)
Производитель:
Компания "JEOL Ltd.", Япония
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
12.04.2018
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 50463
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-
6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA,
JSM-6610A)
Назначение средства измерений
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV,
JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A) (далее –
микроскоп) предназначены для количественного морфологического анализа и измерения
линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Описание средства измерений
Микроскоп электронный растровый JSM-6x10 представляет собой стационарную ав-
томатизированную многофункциональную измерительную систему.
Состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механиз-
мом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отражен-
ных электронов, детектора прошедших электронов для режима «на просвет», вакуумной
системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных
электронов и в режиме «на просвет».
Принцип получения изображения в микроскопе электронном растровом JSM-6x10
заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами,
пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детекто-
ром, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта.
Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет
увеличение микроскопа.
Создание устойчивого изображения диэлектрических объектов в режиме «Decelera-
tion» обеспечивается благодаря торможению первичного пучка полем держателя образца, в
результате чего сохраняется возможность наблюдения объекта при пониженных ускоряю-
щих напряжениях с достаточно высоким разрешением.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При
максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалент-
ной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от по-
верхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью про-
граммного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Конструктивно микроскоп выполнен в виде стола.
Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передней и задней
панели соответственно.
Отличие моделей:
- JSM-6х10 - работает только в режиме высокого вакуума;
- JSM-6х10LV - работает в режиме высокого и низкого вакуума;
- JSM-6х10LA - работает в режиме высокого и низкого вакуума, может комплекто-
ваться встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС);
- JSM-6х10A - работает только в режиме высокого вакуума, может комплектоваться
встроенным ЭДС.
Внешний вид микроскопов приведен на рисунках 1 - 2.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа моделей JSM-6610LV\A\LA
***
Примечание: * - место для нанесения оттисков клейм или размещения наклеек
** - места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа моделей JSM-6510LV\A\LA
Лист № 3
Всего листов 5
Наименование
ПО
Идентифи-
кационное
наимено-
вание ПО
Trial версии
(идентифика-
ционный но-
мер) ПО
Цифровой идентификатор
ПО (контрольная сумма
исполняемого кода)
Микроскопы моде-
лей 6510LV\A\LA
SEM Control Pro-
gram
NR0116-020
Ver3.10(J\E)
ГОСТ
Р34.11-94
NR0117-020
Ver3.11(J\E)
е974е460 b34е8613 0b1fc0f7
28908d10 646ba076 071ddabb
2еbcb6df a6cdc4c6
итоговый 0е85aе55
ГОСТ
Р34.11-94
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «SEM Control Program» является специализиро-
ванным ПО микроскопа.
ПО «SEM Control Program» предназначено для управления микроскопом, состав-
ления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «SEM Control
Program» не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики
микроскопа не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО ука-
заны в таблице 1.
Таблица 1
Алгоритм
вычисле-
ния иден-
тифика-
тора ПО
2bеd061f b34е8613 0b1fc0f7
28908d10 7aa03a6c 071ddabb
2еbcb6df ca23625d 027d4817
7b52b57c 99603f97 c046d714
е87е86еa е8d9a5b6 777894cd
5fc80632 итоговый 0699е480
Микроскопы моде-
лей 6610LV\A\LA
SEM Control Pro-
gram
Метрологически значимая часть ПО микроскопа и измеренные данные достаточно
защищены с помощью специальных средств защиты от
преднамеренных изменений. За-
щита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А»
по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены
в таблицах 2 - 3.
Таблица 2 - Основные метрологические характеристики
Наименование характеристики
Значение
характеристики
от 30×10
-3
до 1000
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измере-
ний линейных размеров, %:
- в диапазоне от 30×10
-3
до 0,1 мкм
- в диапазоне от 0,1 до 1000 мкм
Разрешение при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм
± 15
± 10
3
Лист № 4
Всего листов 5
Наименование характеристики
Таблица 3 - Эксплуатационные характеристики
Значение
характеристики
Габаритные размеры (ширина×высота×глубина)
основных составных
частей, мм, не более:
- стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ
- видеоконтрольный блок
Общая масса без ЗИП и упаковки, кг, не более
Рабочий диапазон температур окружающей среды, ºС
Относительная влажность воздуха при температуре 20
°
С, %, не более
Диапазон атмосферного давления, кПа
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В
Потребляемая мощность, В·А, не более
750×1700×1000
900×1200×900
565
от 15 до 25
60
от 84 до 107
220 ± 22
6000
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титуль-
ный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки включает:
- микроскоп электронный растровый JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV,
JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A), состоящий
из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемеще-
ния объектов, двух детекторов вторичных электронов, детектора отраженных электронов,
детектора прошедших электронов для режима «на
просвет», вакуумной
системы, видео-
контрольного устройства, блока питания - 1 шт.;
- комплект эксплуатационной документации (Микроскопы электронные растровые
JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-
6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Формуляр; Микроскопы электронные растровые JSM-
6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV,
JSM-6610LA, JSM-6610A). Руководство по эксплуатации) – 1 комплект;
- одиночный комплект ЗИП;
- методика поверки – 1 шт.;
- тестовый образец фирмы SPI (островковая пленка золота на углероде).
Поверка
осуществляется по документу ТИВН 442241.002 МП «Инструкция. Микроскопы
электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-6510LA, JSM-
6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Методика поверки», утвер-
жденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 24.01.2013 г.
Основные средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (регистрационный номер
33598-06);
- мера длины концевая плоскопараллельная с номинальным значением 1 мм.
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV,
JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Руководство
по эксплуатации.
Лист № 5
Всего листов 5
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроско-
пам электронным растровым JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV, JSM-
6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A).
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10 (модели JSM-6510, JSM-6510LV,
JSM-6510LA, JSM-6510A, JSM-6610, JSM-6610LV, JSM-6610LA, JSM-6610A). Руководство
по эксплуатации.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продук-
ции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
Компания JEOL ltd., Япония
1-2 Musachino 3-chome Akishima Tokyo 196-8558 Japan.
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «ТОКИО БОЭКИ (РУС)», 127055, Мо-
сква, ул. Новолесная, д 2
Тел. +7(495)223-40-00, факс +7(495)223-40-01, E-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное об-
щество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
(ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail:
Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений
№ 30036-10 от 10.06.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.П.
«____» ________________ 2013 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 12815-91 | Весы настольные электронные бытовые | НЭБ-10 | ОАО "ОКБ ВПСЗ" (приборостроительный завод), г.Выборг | 2 года | Перейти |
| 21004-01 | Анемометры ручные электронные | АРЭ | ОАО "Сафоновский завод "Гидрометприбор", г.Сафоново | 1 год | Перейти |
| 39623-08 | Весы платформенные электронные | МВСК А (В) | ООО "Уралвес", г.Пермь | 1 год | Перейти |
| 15711-96 | Твердомеры электронные малогабаритные переносные | ТЭМП-2 | НПФ "Технотест", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 40713-09 | Манометры электронные | ЭКМ | ООО НПП "ЭЛЕМЕР", г.Москва | 3 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений