Untitled document
Приложение к свидетельству № 49506
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические од-
ноосевые серий 7500, 7521, 7600, 7700
Назначение средства измерений
Преобразователи вибрации
переменной
ёмкости
микроэлектромеханические одноосе-
вые серий 7500, 7521, 7600, 7700 предназначены для преобразования механических колебаний
различных машин и агрегатов в электрические сигналы с целью измерений характеристик
вибрационных процессов (виброускорения, ударных импульсов подшипников, кавитации в
насосах, и т.п.)
Описание средства измерений
Принцип действия преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлектроме-
ханических одноосевых основан на использовании МЭМС-технологии (микроэлектромехани-
ческие системы) - это устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханиче-
ские компоненты. МЭМС-преобразователи изготовлены на кремниевой подложке с помощью
технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления интегральных микросхем.
Преобразователи вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханические одноосевые
представляет собой функционально законченный модуль, объединяющий в
своей конструк-
ции жёсткий корпус с заключённым внутри него чувствительным элементом и электронной
схемой. Чувствительный элемент является составной частью конденсатора переменной ёмко-
сти, который под воздействием измеряемого ускорения изменяет своё положение в простран-
стве, изменяя тем самым ёмкость конденсатора и частоту связанного с ним генератора. Эти
изменения демодулируются в выходной сигнал, пропорциональный измеряемому ускорению.
Данные преобразователи относятся к преобразователям параметрического типа, т.е. имеют
нижнюю граничную частоту, равную нулю. На корпусе преобразователя установлен электри-
ческий разъём для передачи по кабелю сигнала на внешний контроллер.
Внешний
вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлектромехани-
ческих одноосевых показан на рисунках 1 – 5.
Рисунок 1 – Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-
тромеханических одноосевых серии 7500.
Рисунок 2 – Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-
тромеханических одноосевых серии 7521.
Рисунок 3 – Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-
тромеханических одноосевых серии 7600.
Лист № 2
всего листов 5
Рисунок 4 – Внешний вид преобразователей вибрации переменной ёмкости микроэлек-
тромеханических одноосевых серии 7700.
Метрологические и технические характеристики
10
33,3 × 25,4 × 8,38
от – 55 до 125 включ.
Таблица 1
Наименование характеристикиМодели
7500А1 7500А2 7500А3 7500А4 7500А5 7500А6
Значения
Диапазон измерений ускорения, м/с
2
± 20± 49± 98± 245± 490± 981
Диапазон частот, Гцот 0 доот 0 до
400 600
включ.включ.
от 0 до от 0 до от 0 до от 0 до
1000 1500 2000 2500
включ. включ. включ. включ.
± 3
Неравномерность АЧХ, дБ, не более
Номинальный коэффициент преобразо-
вания, мВ/(м/с
2
)
1024120842
Отклонение от номинального коэффи-
циента преобразования, %, не более
Нелинейность, %, не более
0,51
от - 0,025 до 0,015 включ.± 0,015
Отклонение коэффициента преобразо-
вания в диапазоне температур, % /°C
Габаритные размеры
(длина × ширина ×высота), мм
Масса, г
13
Условия эксплуатации:
диапазон рабочих температур, °С
10
± 0,015
33,3 × 25,4 × 8,38
Модели
Таблица 2
Наименование характеристики
7500А77500А87500М107500М11
Значения
Диапазон измерений ускорения, м/с
2
± 1096± 3900± 490± 4806
Диапазон частот,Гц
Неравномерность АЧХ, дБ, не более
от 0 до 2500 включ.от 0 до 300 включ.
± 3
Номинальный коэффициент преобразования,
мВ/(м/с
2
)
10,54,10,5
Отклонение от номинального коэффициента
преобразования, %, не более
Нелинейность, %, не более
110,52
13
37,3×25,4
×14,2
45
Отклонение коэффициента преобразования в
диапазоне температур, %/°C
Габаритные размеры (длина × ширина ×высота),
мм
Масса, г
Условия эксплуатации:
диапазон рабочих температур, °С
от – 55 до 125 включ.
Лист № 3
всего листов 5
Наименование характери-
стики
Диапазон частот, Гц
±3
20
2
27 × 15 ×8
от – 55 до 125 включ.
Таблица 3
7521А17521А2
Модели
7521А3 7521А4 7521А5 7521А67521А7
Значения
Диапазон измерений уско-
рения, м/с
2
± 20± 49
± 147± 324±491± 981± 2207
от 0 до от 0 до
1500 1500
включ. включ.
от 0 до от 0 до от 0 до от 0 до от 0 до
1500 400 400 400 400
включ. включ. включ. включ. включ.
5629
9,45,63,71,80,8
0,3
Неравномерность АЧХ, дБ,
не более
Номинальный коэффициент
преобразования, мВ/(м/с
2
)
Отклонение от номи-
нального коэффициента
преобразования в диапазоне
температур, %, не более
Нелинейность, %, не более
Коэффициент поперечного
преобразования, %, не более
3,7
Габаритные размеры (длина
× ширина ×высота), мм
Масса, г
Условия эксплуатации:
диапазон рабочих темпера-
тур, °С
Наименование характеристики
Диапазон частот, Гц
±3
± 5
± 0,025
3
30,3 × 14,2 × 5,8
Таблица 4
Модели
7600В1 7600В2 7600В3 7600В4 7600В5 7600В6
Значения
Диапазон измерений ускорения,
м/с
2
± 49± 98± 245± 490
± 490± 1962
от 0 до от 0 до от 0 до от 0 до
600 1000 1500 2000
включ. включ. включ. включ.
от 0 до от 0 до
2500 3000
включ. включ.
Неравномерность АЧХ, дБ, не
более
Номинальный коэффициент пре-
образования, мВ/(м/с
2
)
10,25210,50,3
Отклонение от номинального ко-
эффициента преобразования, %,
не более
Нелинейность, %, не более
0,511,5
3,6
Отклонение коэффициента пре-
образования в диапазоне темпе-
ратур, % /°C
Коэффициент поперечного пре-
образования, %, не более
Габаритные размеры
(длина × ширина ×высота), мм
Масса, г
Условия эксплуатации:
диапазон рабочих температур, °С
от – 40 до 80 включ.
Лист № 4
всего листов 5
Наименование характери-
стики
Диапазон частот, Гц
±3
± 5
± 0,025
3
17,8 ×14,6
от – 40 до 80 включ.
Таблица 5
Модели
7700А17700А27700А37700А47700А57700А6
Значения
Диапазон измерений ускоре-
ния, м/с
2
± 49± 98
± 245± 490± 981± 1962
от 0 до от 0 до
600 1000
включ. включ.
от 0 до от 0 до от 0 до от 0 до
1500 2000 2500 3000
включ. включ. включ. включ.
10,25
210,50,25
Неравномерность АЧХ, дБ,
не более
Номинальный коэффициент
преобразования, мВ/(м/с
2
)
Отклонение от номинально-
го коэффициента преобразо-
вания, %, не более
0,511,5
Нелинейность, %, не более
Отклонение коэффициента
преобразования в диапазоне
температур, % /°C
Коэффициент поперечного
преобразования, %, не более
Габаритные размеры (диа-
метр × длина), мм
Масса, г
8
Условия эксплуатации:
диапазон рабочих темпера-
тур, °С
Комплектность средства измерений
Наименование
Датчик вибрации
Соединительный кабель
Сертификат калибровки
Методика поверки
Количество
1 шт.
1 шт.
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется по документу МП 52430-13 «Преобразователи вибрации переменной ёмкости
микроэлектромеханические одноосевые серий 7500, 7521, 7600, 7700. Методика поверки»,
разработанному и утверждённому ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» 20.11.2012 г.
Основные средства поверки: поверочная виброустановка второго разряда по МИ 2070-
90.
Сведения о методиках (методах) измерений
Руководство по эксплуатации
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к преобразова-
телям вибрации переменной ёмкости микроэлектромеханическим одноосевым серий
7500, 7521, 7600В, 7700
Техническая документация фирмы «Dytran Instruments, Inc.».
Лист № 5
всего листов 5
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма «Dytran Instruments, Inc.», США
Адрес: 21592 Marilla Street Chatsworth, CA 91311, США
Заявитель
Фирма ООО «Сертифицированный Инжиниринговый Центр»
Адрес: 125373, г. Москва, Походный проезд, д. 4, корп. 1, офис 205
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»
Аттестат аккредитации Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008 г.
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Заместитель
Руководителя Федерального агент-
ства по техническому регулирова-
нию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«____» ___________2013 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.