Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV, ГРСИ 52316-12
Номер госреестра:
52316-12
Наименование СИ:
Микроскоп электронный сканирующий
Обозначение типа:
JSM-6490LV
Производитель:
Фирма "JEOL Ltd.", Япония
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ MP14700074
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 49397
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV
Назначение средства измерений
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV (далее по тексту – микроскоп)
предназначен для измерения масштабного коэффициента видеоизображения при помощи
получения изображения поверхности объекта с высоким пространственным разрешением, а
также для элементного анализа и элементного картирования при малых увеличениях.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на взаимодействии электронного пучка с
исследуемым веществом. Поверхность образца сканируется электронным лучом, и
образующиеся при этом обратнорассеянные электроны, несут информацию о топографии
поверхности, а также физических и химических свойствах образца. Эти электроны, несущие
вышеуказаннуюинформацию,летятсразличныхнаправленийидетектируются
полупроводниковыми элементами, расположенными симметрично относительно оптической
оси.Приэтом количественныеизменениядетектируемыхэлектроновв процессе
сканирования преобразуются в электрические сигналы. Два сигнала от детекторных
элементовусиливаютсяпредусилителем и поступаютв операционный усилитель.
Операционный усилитель дополнительно усиливает эти сигналы и одновременно производит
их сложение и вычитание. Суммарный сигнал используется в качестве видеосигнала для
формирования композиционного изображения, а разностный сигнал служит видеосигналом
для формирования топографического изображения. Детектирование обратнорассеянных
электронов, несущих информацию о неоднородности поверхности образца и распределении
на ней составных элементов, позволяет наблюдать изображение поверхности образца.
В состав микроскопа входят:
- система энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450
- электронно-оптическая система, которая позволяет получать изображения с
минимальным увеличении х8 при рабочем расстоянии (WD) 48 мм;
- 5-ти осевой моторизованный объектный столик;
- объектная камера, конструкция которой позволяет вместить образцы высотой до
80мм;
- электронный детектор;
- дисплейная система;
- операционная система;
- вакуумная система;
- устройства для защиты от падения вакуума, отключения воды, напряжения и
короткого замыкания.
Лист № 2
всего листов 5
Рисунок 2 – маркировка и пломбирование микроскопа электронного
сканирующего JSM-6490LV
Место нанесения маркировкиМесто пломбирования
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа электронного сканирующего JSM-6490LV
Лист № 3
всего листов 5
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено ав-
тономное программное обеспечение (ПО).
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и
служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из
управляющей программы INCA Energy 450.
Программное обеспечение INCA Energy 450 снабжено уникальной системой навига-
торов, которые направляют пользователя на всех этапах процесса микроанализа, начиная с
создания нового проекта и заканчивая созданием готового к печати отчета.
Система имеет три основных навигатора:
- Анализатор (позволяет проводить накопление спектра с участка образца, облучаемо-
го электронным пучком);
- Point & ID (позволяет проводить накопление с участков образца, отмеченных на
изображении, облучаемых сфокусированным электронным пучком в режиме сканирования);
- Картирование (позволяет проводить накопление спектра с выделенного участка об-
разца, отмеченного на изображении, в режиме сканирования, с возможностью получения кар-
ты распределения по химическим элементам).
Результаты измерений заносятся в протокол, генерируемый программой, и хранятся
на жестком диске компьютера.
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется
по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами
протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой
памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой
осуществляется в процессе производства. Доступ к микроконтроллеру исключён конструкци-
ей аппаратной части микроскопа.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
Наимено-Идентификационное на-Номер версии Цифровой идентификаторАлгоритм вы-
вание ПО именование ПО (идентифика-ПО (контрольная сумма числения циф-
ционный но-исполняемого кода)рового иденти-
мер) ПО фикатора ПО
INCA En- The Microanalysis Suite Is-4.08.0017419736A2691245673MD5
ergy 450 sue 17a P/N 51-MACD08.06 F485D525FCA30DA
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
МетрологическиеитехническиехарактеристикиМикроскопаэлектронного
сканирующего JSM-6490LV приведены в таблице 2.
Таблица 2
Наименование характеристикиЗначение характеристики
Разрешающая способность при ускоряющем напряжении 30 кВ, нм
в режиме высокого вакуума3
в режиме низкого вакуума4
Перемещение объекта по осям Х, Y, Z, мм
Ось X-125
Ось Y-100
Ось Z:
диапазон эксцентричных перемещений WD 5 - 80
диапазон фокусировки WD 5 - 48
Лист № 4
всего листов 5
Значение характеристики
от -10 до +90
360
1,07
±0,1
0,3 - 30
8 - 300000
100 ± 10
50/60
3
750×960×1480
1150×900×700
460×175×255
270×200×200
354×384×851
400
170
23
10
41
Наименование характеристики
Диапазон наклона объекта (Т),…º
Поворот объекта (R),…º
Масштабный коэффициент видеоизображения (m), нм/пиксель, не
более
Пределы допускаемой основной относительной погрешности изме-
рения масштабного коэффициента видеоизображения, %
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ
Увеличение (кратность), крат
Электропитание осуществляется от трехфазной сети переменного
тока
с напряжением, В
частотой, Гц
Потребляемая мощность, кВт, не более
Габаритные размеры основных составных частей, мм, не более
блок электронно-оптической колонны
операционный блок
масляно-ротационный насос
виброизолятор
циркуляционный водоохладитель
Масса основных составных частей, кг, не более
блок электронно-оптической колонны
операционный блок
масляно-ротационный насос
виброизолятор
циркуляционный водоохладитель
Условия эксплуатации:
Температура окружающей среды, ºС
Относительная влажность, %
15 - 25
60
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации
методом печати.
Комплектность средства измерений
Перечень основного и дополнительного оборудования приведен в таблице 3.
Таблица 3
НаименованиеКоличество, шт.
Микроскоп электронный сканирующий JSM-6490LV 1
Система энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450 1
Блок электронно-оптической колоны1
Блок управления1
Персональный компьютер1
Программное обеспечение1
Масляно-ротационный насос1
Виброизолятор1
Циркуляционный водоохладитель1
Набор инструментов1
Комплект принадлежностей для установки и транспортировки1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки1
Лист № 5
всего листов 5
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп электронный сканирующий JSM6490LV.
Методика поверки № МП 73.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 15 марта
2011 г
Основные средства поверки:
Рельефная мера ширины и периода нанометрового диапазона специальная МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Значение величины проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на
плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) – 400 нм;
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера (a) не
более ± 1 нм.
Сведения о методиках (методах) измерений
«СканирующийэлектронныймикроскопJSM-6490LVссистемой
энергодисперсионного микроанализа INCA Energy 450. Руководство по эксплуатации», раздел
6 «Работа с микроскопом».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
электронному сканирующему JSM-6490LV
ГОСТ Р 8.631-2007 «Государственная система обеспечения единства измерений.
Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки»
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям
Изготовитель
JEOL Ltd, Япония
1-2 Musashino 3-chome, Akishima-Shi, Tokyo,196-8558
Тел.: 042-542-2187
Заявитель
ГосударственныйнаучныйцентрРоссийскойФедерации-федеральное
государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт
авиационных материалов» (ГНЦ ФГУП «ВИАМ»)
Адрес: Россия, г. Москва, 105005, ул. Радио д.17
Телефон: (495) 263-87-25, Факс: (495) 267-86-09
E-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат аккредитации № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Ф.В. Булыгин
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
М. П.
«___» ___________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 81342-21 | Микроскоп электронный сканирующий | Quattro S | "Thermo Fisher Scientific Brno s.r.o.", Чешская Республика | 1 год | Перейти |
| 64204-16 | Микроскоп конфокальный лазерный | LEXT OLS 4100 | Фирма "OLYMPUS Corporation", Япония | 1 год | Перейти |
| 35858-07 | Микроскоп исследовательский для тестирования материалов | Leica DM IRM | Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 22084-01 | Тахеометр электронный | Geodimeter 640M | Фирма "Spectra Precision AB", Швеция | 1 год | Перейти |
| 44976-10 | Микроскоп электронно-ионный растровый | Quanta 200 3D | Фирма "FEI Company", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений