Приложение к свидетельству № 49371
об утверждении типа средств измерений
Лист 1
Всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометры оптические ЛОМИ - 2
Назначение средства измерений
Интерферометры оптические ЛОМИ - 2 (далее интерферометры) предназначены
для измерения размеров и перемещений в нанометровом диапазоне при проведении
исследовательских работ, контрольных операций, испытаниях, поверке и калибровке
средств воспроизведения перемещений нанометрового диапазона.
Описание средства измерений
Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 (рис. 1) выполнен по схеме интерферометра
Майкельсона. В процессе измерения высотных размеров и перемещений происходит
регистрация серий интерференционных картин с помощью цифровой камеры со скоростью
25 кадров в секунду. Результат измерений вычисляется при смене каждого кадра по
множествуточекинтерференционнойкартиныспомощьюспециализированного
программного обеспечения Interferometer и отображается на экране персонального
компьютера (ПК). При измерении амплитуды импульсов перемещения на экране ПК
отображается временная диаграмма импульсов перемещения в реальном масштабе времени
с указанием амплитудного значения.
Рис. 1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2
Лист 2
Всего листов 3
Программное обеспечение
Интерферометр оптическийЛОМИ - 2 оснащен программным обеспечением
Interferometer версии V 1.0.1.25, предназначенным для обработки результатов измерений.
Вычислительный алгоритм Interferometer расположен в заранее скомпилированных
бинарных файлах и не может быть модифицирован. ПО Interferometer блокирует
редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или
редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
НаименованиеИдентификационНомер версииЦифровойАлгоритм
программногоное наименование(идентифика-идентификаторвычисления
обеспеченияпрограммногоционный номер)программногоцифрового
обеспечения программногообеспеченияидентификатор
обеспечения(контрольнаяа
суммапрограммного
исполняемогообеспечения
кода)
InterferometerInterferometer.exeV 1.0.1.259AC0CD5C346AMD5
AEC9D08A9B90
7B5DA0C9
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечения интерферометра оптического ЛОМИ - 2
соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
от 1 до 100
± 0,3
1,0
171
125
55
852
5
3
Измерение размеров и перемещений в диапазоне, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения перемещений, нм
Максимальное измеряемое перемещение, м
Габаритные размеры, мм
длина
ширина
высота
Длина волны источника излучения, нм
Мощность, мВт
Класс опасности по ГОСТ Р МЭК 60825-1-2009
Условия применения:
Температура окружающей среды,
°
С
Относительная влажность, не более %
Масса, кг
20 ± 3
80
0,7
Знак утверждения типа
Утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации
типографским методом и методом наклейки на корпус интерферометра.
Комплектность средства измерений
Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и
переноски:
1. Интерферометр оптический ЛОМИ - 2 – 1шт;
Лист 3
Всего листов 3
2. Электронный блок питания полупроводникового лазера – 2 шт;
3. Блок питания фотоприемного устройствам – 1шт;
4. Кабели соединительные – 1 комплект;
5. Диск с программным обеспечением Interferometer – 1шт;
6. Руководство по эксплуатации;
7. Методика поверки.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 52292-12 «Интерферометры оптические
ЛОМИ – 2. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ ФГУП
«ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.
Основноеповерочноеоборудование:мерадинамическоговертикального
перемещения ДКВ-01 (Госреестр № 48278-11).
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения о методах измерений содержатся в разделе 4 РЭ «Интерферометры
оптические ЛОМИ - 2. Руководство по эксплуатации».
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
интерферометрам оптическим ЛОМИ - 2
1. ТУ ГК. 004-2011 «Оптические интерферометры ЛОМИ - 2. Технические
условия».
2. МИ 2060-90 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений
длины в диапазоне 1·10
-6
…50 м и длин волн в диапазоне 0,2…50 мкм».
Рекомендации по области применения
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
Изготовитель
ЗАО «Техносистема Н»
Адрес: 101000, г. Москва, ул. Покровка, д.14/2, стр. 1
Тел./факс. (495) 673-26-22
E-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП
«ВНИИМС»
Аттестат аккредитации (Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008 г).
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
«___»___________ 2012 г.
м.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
