Untitled document
Приложение к свидетельству № 49144
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические РАМ-30µ
Назначение средства измерений
Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические РАМ-30µ предназначены для
измерения содержания элементов в точках фокусирования рентгеновских лучей на поверхно-
сти исследуемого образца.
Рис.1. Микрозонд-микроскоп рентгеновский аналитический РАМ-30µ
Описание средства измерений
Принцип действия микрозондов-микроскопов рентгеновских аналитических основан
на регистрации интенсивности вторичного рентгеновского излучения образца, возбуждаемого
излучением рентгеновской трубки.
На изучаемый образец направляется рентгеновское излучение, сфокусированное в пят-
но (зонд) диаметром от 50 мкм до 1 мм. Спектр рентгеновской флуоресценции регистрируется
энергодисперсионным детектором. Отдельный канал измеряет интенсивность рентгеновского
излучения проходящего через образец. Сканирование поверхности исследуемого образца
производится путем перемещения в горизонтальной плоскости объекта, укрепленного на
предметном столе, измерительная система, при этом, остается неподвижной. Горизонтальное
перемещение предметного стола возможно по двум осям в пределах ±75 мм, измерительная
система может перемещаться вертикально в пределах 50 мм.
Прибор оборудован цифровыми видеокамерой и двумя микроскопами. Цифровая
камера и микроскопы используются только для выделения зоны измерения в изучаемом
образце в процессе его установки. Камера позволяет вывести на экран компьютера
изображение с площади 30
×
30 мм.
Для более точного выбора интересующей области, в процессе предварительных
исследований, используется цифровой микроскоп, еще один микроскоп позволяет определить
положение зонда в процессе юстировки. В качестве источника рентгеновского излучения
используется микрофокусная рентгеновская трубка, материал анода – молибден.
Внешний вид микрозондов-микроскопов рентгеновских аналитических РАМ-30µ при-
веден на рисунке 1.
Лист № 2
всего листов 4
Наименование
программного
обеспечения
Идентификаци-
онное наимено-
вание программ-
ного обеспече-
ния
micro_proc_dt.dll
MD5
Программное обеспечение
Микрозонды-микроскопы рентгеновские аналитические оснащены автономным ПО «X-
RAY MICRO», которое управляет работой
приборов
и отражает, обрабатывает и хранит по-
лученные данные.
Алгоритм вы-
числения циф-
рового иден-
тификатора
программного
обеспечения
X-RAY
MICRO
Номер версии
(идентифика-
ционный но-
мер) про-
граммного
обеспечения
1.0.0.0 или вы-
ше
Цифровой идентификатор
программного обеспече-
ния (контрольная сумма
метрологической значи-
мой части ПО для версии
1.0.0.0)
40277423685bb0edb3230a
0d834992cf
К метрологически значимой части ПО относится компонент micro_proc_dt.dll, кото-
рый выполняет следующие функции: управление прибором, считывание, хранение, обработка
результатов измерений, редактирование и хранение базы методов измерения и стандартных
образцов, определение и хранение калибровочных коэффициентов энергетической шкалы.
Уровень защиты ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответству-
ет категории С по МИ 3286-2010. Влияние ПО на метрологические характеристики учтено
при нормировании последних.
Метрологические и технические характеристики
175
1,0
от +10 до +35
- диапазон относительной влажности окружающего воздуха,
% при t=25
о
С
не более 80
От Na (K-серия) до U (L-серия)
0,5
3,0
3,0
2,0
4095
микрофокусная
500
220
+22
-33
1,5
5
2000
700х620х660
70
500х250х250
30
Диапазон определяемых элементов
Энергетическое разрешение энергодисперсионного детектора
на линии Cu Kα, не более
Контрастность аналитического канала*, не менее:
•на линии Si Кα (при вакуумированной измерительной
камере); измеряется, если в комплект входит вакуумная стан-
ция
• на линии Cu Кα
• на линии Zn Кα
Контрастность рентгенографического канала**
Относительное СКО выходного сигнала аналитического кана-
ла***, %, не более:
Число уровней дискретизации, каналов
Тип рентгеновской трубки (РТ)
Максимальная мощность рентгеновской трубки, В
´
А:
Напряжение питания переменного тока частотой (50±1 Гц), В
Потребляемая мощность, включая вакуумный пост
(без компьютера и принтера), кВ×А, не более
Средний срок службы, лет
Наработка на отказ, ч, не менее
Габаритные размеры основного блока (Д×Ш×В), мм, не более
Масса основного блока, кг, не более
Размеры вакуумного поста (Д×Ш×В), мм, не более:
Масса вакуумного поста, кг, не более
Условия эксплуатации:
- диапазон температуры окружающего воздуха,
о
С
- диапазон атмосферного давления, кПа
от 84 до 106
Лист № 3
всего листов 4
* Отношение интенсивности в максимуме линии и нормированному на концентрацию элемента, к фону изме-
ренному на участке спектра рядом с аналитической линией. В качестве контрольного образца используется ГСО
7247-96 индекс 2152. Возможно использование стандартного образца (ГСО) с близкими содержаниями компо-
нентов SI, Cu, Zn.
** Контрастность определяется как отношение интенсивностей, измеренных на щупах щелемера толщиной
(0,05/0,1) мм.
*** По линии Cu Кα при использовании в качестве контрольного образца ГСО 7247-96 индекс 2152.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации ме-
тодом компьютерной графики и на левую стенку корпуса спектрометра в виде наклейки.
Обозначение
1
РМ.01.40.000.СБ
1
РФК.01.85.000.СБ
1
1
1
Комплектность средства измерений
№№Наименование
(шт.)
Кол-во
Примечание
Базовый блок (микрозонд-
микроскоп)
2Вакуумный пост
Опция, заимствовано от
РФК. 01.00.000.
3
1Опция
Рабочее место оператора, включа-
ющее компьютерный стол и кресло
4Пакет программ
1Компакт-диск
Комплект
Калибровочный СЦ-1
5Персональный компьютер
6Принтер
7Калибровочный образец
8Комплект ЗИП
1
1
1
1
9Комплект монтажных частей
По согласованию с За-
казчиком
10 Методика поверки
МП-242-1411-
2012
11 Руководство по эксплуатации
12 Паспорт
1
1
Поверка
осуществляется по документу «МП-242-1411-2012. Микрозонды-микроскопы рентгеновские
аналитические РАМ-30µ. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ
им. Д.И.Менделеева» 25.07.2012 г.
Основные средства поверки: стандартный образец состава сплавов медно-цинковых
ГСО 7247-96, индекс СО 2152 или аналогичный по составу и содержанию Cu, Zn и Si; ком-
плект щупов №1, класс 2.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методика измерений изложена в документе «Микрозонды-микроскопы рентгеновские
аналитические РАМ-30µ. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микрозондам-
микроскопам рентгеновским аналитическим РАМ-30µ
Технические условия ТУ 4276-010-01360812-2011.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
При осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды и оценке со-
ответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов ус-
тановленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Лист № 4
всего листов 4
Изготовитель
ЗАО «Научные приборы»
Адрес: 190103, Россия, г. Санкт-Петербург, Рижский пр., дом 26.
Тел.: (812) 251-28-50 Факс: (812) 251-73-63, эл.почта:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева», рег.№ 30001-10.
Адрес:190005, Санкт-Петербург, Московский пр., 19. Тел.: (812) 251-76-01.
Факс: (812) 713-01-14, эл.почта:
Заместитель
Руководителя Федерального агентства
по техническому регулированию и метрологии
Ф.В.Булыгин
«___»_________2012 г.
М.П.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.