Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
52087-12
Наименование СИ:
Профилометр оптический
Обозначение типа:
TMS-100
Производитель:
Фирма "Polytec GmbH", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 0127586
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 49134
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Профилометр оптический TMS-100
Назначение средства измерений
Профилометр оптический TMS-100 (далее – профилометр) предназначен для
бесконтактных измерений высоты профиля поверхности плоских шероховатых и/или
отражающих объектов, а также для измерения расстояния между двумя или более плоскими
поверхностями, разнесенными по высоте до 70 мм.
Описание средства измерений
Принцип действия профилометра основан на интерференции белого света,
отраженногоотобъектаиопорногозеркала.Профилометрявляетсявертикально
сканирующим интерферометром белого света. Оптическая часть профилометра выполнена по
схеме интерферометра Майкельсона с использованием широкого параллельного пучка света и
телецентрической оптической системы для
построения изображения объекта.
В предметное
плечо интерферометра устанавливается исследуемый объект. Только для тех точек объекта,
для которых оптическая длина пути излучения совпадает с оптической длиной пути в
опорном плече интерферометра, создается контрастная интерференционная картина. Для
остальных точек объекта контраст полос резко падает, т.к. используется источник света с
малой длиной когерентности (источник белого света). Далее вся оптическая система
профилометра перемещается в вертикальном направлении z, перпендикулярном плоскости (x,
y) расположения образца, и последовательно плоскость за плоскостью сканирует объект по
высоте. Так как в профилометре используются параллельные пучки света и телецентрическая
оптическая система с малой числовой апертурой, то он может измерять объекты только с
небольшими градиентами профиля поверхности. Однако за счет прецизионной системы
перемещения интерферометра по вертикали профилометр позволяет измерять высоту
объектов типа «ступеньки» с высокой точностью и в большом динамическом диапазоне.
Информация, зарегистрированная видеокамерой, в оцифрованном виде поступает в
персональный компьютер (ПЭВМ), где с помощью программы TMS производится ее
автоматическая обработка. Результаты измерений в виде двумерных (или трехмерных)
профилейисследуемыхобъектов,псевдоцветовыхкартитекстовойинформации
отображаются на мониторе компьютера.
Видеоизображениеобъектаотображаетсянаэкранежидкокристаллического
монитора в режиме реального времени, что позволяет настроить область измерения
непосредственно на данном видеоизображении. Все настройки выполняются в программе
TMS, установленной на персональном компьютере.
Конструктивнопрофилометрвыполненизтрехэлементов:интерферометра
(оптическая система профилометра), персонального или промышленного компьютера (в
зависимости от комплекта поставки) и жидкокристаллического монитора. Основным
элементом профилометра является интерферометр, выполненный в виде стационарного
настольного прибора, подключаемого к персональному компьютеру. В зависимости от
предметного столика, которым комплектуется интерферометр возможны две конфигурации
прибора: стандартная (предметный столик не имеет подвижек и занимает всю область
наблюдения)иконфигурацияс системой ХУ-позиционирования (применяется
двухкоординатный предметный столик, с направляющими вдоль осей х
и у), что позволяет
выполнять измерения более крупных объектов с последующей программной склейкой
полученных результатов измерений. Управление прибором осуществляется с помощью
программного обеспечения, установленного в персональный компьютер.
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 1 – Внешний вид профилометра оптического TMS-100
1 - Предупреждающая метка прибора; 2 - Сетевые тумблеры; 3 - Сетевой разъем (розетка для стандартного
шнура питания со встроенными предохранителями); 4 - Идентификационная метка (На идентификационной
метке кроме прочей информации находится серийный номер прибора); 5 - Интерфейс USB (Universal Serial Bus,
type B); 6 - Интерфейс IEEE-1394 CAMERA (подключение FireWire).
Рисунок 2 – Профилометр вид сзади
Программное обеспечение
Дляуправленияпрофилометромиспользуетсяоригинальноепрограммное
обеспечение TMS, разработанное для операционной системы Microsoft Windows XP (Vista).
Программное обеспечение является защищенным: системный блок персонального
компьютера оборудован закрывающейся на замок панелью, при входе в программное
обеспечение необходимо ввести логин и пароль. Никакие изменения кода программы
невозможны. Обновления программного обеспечения производятся производителем путем
выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям. Программное обеспечение
является открытой системой. Программное обеспечение соответствует EN ISO 13485 и FDA
QSR и содержит алгоритм расчета профиля поверхности по данным, измеренным
профилометром, изменить алгоритм может только производитель.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1:
Место нанесения маркировки
Место пломбирования
Лист № 3
Всего листов 5
Topography
Measurement
System
TMS Software
2.1
0x03b43cae
CRC-32
Таблица 1
Наименование
программного
обеспечения
Идентификацио
нное
наименование
Программного
обеспечения
Номер версии
(идентификаци
онный номер)
программного
обеспечения
Цифровой
идентификатор
программного
обеспечения
(контрольная
сумма
исполняемого
кода)
Алгоритм
вычисления
идентификатор
программного
обеспечения
Идентификация ПО осуществляется проверкой соответствия серийных номеров
аппаратной части
программного обеспечения
и программного обеспечения, установленного на
персональный компьютер, при включении прибора.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к
метрологически значимой части ПО ограничен наличием пароля.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует
уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики профилометров приведены в таблице 2.
Таблица 2
Значение
0 - 70
0,5
4,0
7,5
38 × 28
37 × 28
± 58
± 36
525
580 × 340 × 372
30
40
(100 - 240) ± 10 %
50/60
Наименование характеристики прибора
Диапазон измерения линейных размеров по высоте вдоль оси Z, мм
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров по высоте вдоль оси Z, мкм:
0÷0,005 мм;
0,005÷0,05 мм;
0,05÷70 мм
Диапазоны измерения линейных размеров в поперечном сечении XY,
мм
- изображение регистрируется камерой scA 640
- изображение регистрируется камерой scA 1000
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных
размеров в поперечном сечении XY, мкм
- изображение регистрируется камерой scA 640
- изображение регистрируется камерой scA 1000
Рабочая длина волны, нм
Габаритные размеры интерферометра, мм, не более
Масса интерферометра, кг, не более
Потребляемая мощность, Вт, не более
Напряжение питания, В
при частоте, Гц
Условия эксплуатации:
- диапазон температур окружающей среды, °С
- диапазон относительной влажности воздуха, %
- диапазон атмосферного давления, кПа
5 - 35
35 - 85
75 - 106
Лист № 4
Всего листов 5
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Комплектность средства измерений
Наименование
Таблица 3
Интерферометр TMS-100
Количество,
шт
1
Компьютер (настольный или промышленный)1
Устройства управления и ввода информации (манипулятор мышь,1
клавиатура)
ЖК монитор1
сетевой кабель для подключения монитора1
сетевой кабель2
Программное обеспечениеTMS1
Электронный ключ (Dongle)1
Кабель USB1
Кабель IEEE-1394 FireWire1
Планка M44
Испытательный объект Polytec1
Торцевой ключ (размер 2 мм)1
Руководство по эксплуатации1
Методика поверки1
Поверка
осуществляется по документу «Профилометры оптические TMS-100. Методика поверки МП
42.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 24 февраля 2012 г.
Основные средства поверки:
1 Меры длины штриховые, класс точности 5 по ГОСТ 12069-90.
- Метрологические характеристики:
- Номинальная длина 60мм
- Допускаемое отклонение от номинального значения меры 22,0 мкм
2 Меры trial концевые плоскопараллельные, класс точности 1 по ГОСТ 9038-90
Номинальные значения
длины концевых мер, мм
Св. 0,9 до 10
Св. 10 до 25
Св. 25 до 50
Допускаемые отклонения
длины от номинального
значения, мкм
± 0,20
± 0,30
± 0,40
3 Вторичный эталон ВЭТ 113-2-09 (Рабочий эталон в области измерения параметров
шероховатости поверхности в составе трех мер высоты неровности и меры периода и глубины
профиля поверхности).
Метрологические характеристики:
- Номинальное значение высоты ступеньки 1,781 мкм
- Расширенная неопределенность аттестованного значения высоты ступеньки 0,011
мкм
Лист № 5
Всего листов 5
Сведения о методиках (методах) измерений
«Профилометр оптический TMS-100. Руководство по эксплуатации» глава 4
«Выполнение измерений» и «Система измерения топографии (TMS) Версия 2.1. Руководство
по программному обеспечению» глава 4 «Выполнение измерений».
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
профилометрам оптическим TMS-100
Техническая документация фирмы “Polytec GmbH”, Германия
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма “Polytec GmbH”, Германия
Polytec Platz 1-7,
76337 Waldbronn, Germany
Тел.: +49 (0) 7243 604-0 Факс: +49 (0) 7243 69944
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Новатест» (ООО «Новатест»)
Адрес: 141401, Московская область, г. Химки, Ленинский проспект, д. 1, корп. 2
Тел./Факс: +7 (495) 788-55-23, (495) 788-55-24
e-mail:
Испытательный центр
Государственныйцентриспытанийсредствизмеренийфедерального
государственногоунитарногопредприятия«Всероссийский научно-исследовательский
институт оптико-физических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат
аккредитациигосударственного центраиспытаний(испытательной, измерительной
лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Заместитель Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«»
2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 25192-03 | Рефлектометр оптический | AQ7210 | Фирма "ANDO Electric Co. Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 25590-03 | Тестер оптический | ОТ-2-3 | Институт информационных технологий (ИИТ), Беларусь, г.Минск | 1 год | Перейти |
| 72095-18 | Измерители отклонений от прямолинейности | Лазерная струна ЛС-1 | АО "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" (ГОИ), г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 28807-05 | Анализатор спектра оптический | MS9710C | Фирма "Anritsu Corporation", Япония | 1 год | Перейти |
| 70421-18 | Анализатор волоконно-оптический распределения температуры и механических напряжений | fibrisTerre fTB 2505 | Фирма "FibrisTerre Systems GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений