Приложение к свидетельству № 49079
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Тестер UltraFlex 810-72-00
Назначение средства измерений
Тестер UltraFlex 810-72-00 (далее – тестер) предназначен для воспроизведения и
измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных
импульсовиприменяетсядлявысокопроизводительногофункциональногои
параметрического контроля интегральных микросхем (ИМС) и кристаллов в составе
полупроводниковойпластиныс числомвыводовдо256 ирабочейчастотой
последовательности функционального контроля до 500 МГц.
Описание средства измерений
Принцип действия тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих
АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тесто-
вую последовательность функционального контроля (ФК), формируемую тестером.
Тестер обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС и
полупроводниковые кристаллы на каждом канале в режимах:
- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента
начала и окончания импульса;
- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и
состояния.
ТестеробеспечиваетконтрольожидаемогосостояниянавыводахИМСи
полупроводниковых кристаллов на каждом канале с поканально-независимым заданием
момента контроля. Переключение режима может производиться в каждом такте контроля
поканально-независимо.
Тестер представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого
входят источники и измерители электрических сигналов, манипулятор, охлаждающее устрой-
ство и управляющая ПЭВМ (рис. 1). Конструктивно тестер выполнен в виде стойки с присое-
диненной тестовой головой, перемещаемой манипулятором и управляемой с помощью пульта.
Подстыковочные разъемы расположены на панелях основной стойки и внешней головы.
Внешний вид тестера приведен на рисунке 2.
Рисунок 1 - Состав тестера UltraFlex 810-72-00
Лист № 2
всего листов 6
Рисунок 2 – Общий вид тестера
а) Место для размещения наклеек;
б) Место для пломбировки от несанкционированного доступа.
Наименование ПО
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «UltraFlex 810-72-00» предназначено только для ра-
боты
с тестером и
не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной
платформы этого тестера.
Влияние метрологически значимой части ПО на метрологические характеристики
тестера не выходит за пределы согласованного допуска.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны
в таблице 1.
Таблица 1
Лицензионное ПО IG-
XL для управления тес-
тером
Идентифика-
ционное на-
именование
ПО
401.vxe
Номер версии
(идентифика-
ционный но-
мер) ПО
IN-400-00
Цифровой идентифи-
катор ПО (контроль-
ная сумма исполняе-
мого кода)
E988C8FEA88B15D0
7C7430D5D373A
Алгоритм
вычисления
идентифи-
катора ПО
ГОСТ Р
34.11-94
Метрологически значимая часть ПО тестера и измеренные данные достаточно защи-
щены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от
непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «А» по МИ 3286-
2010.
АБ
Лист № 3
всего листов 6
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики тестера приведены в табли-
цах 2 - 7.
Тестер обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала ФК с параметрами
в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2
Параметр
Диапазон задаваемых напряжений (V
IL
, V
IH
), В
Дискретность установки напряжения, мВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжения,
мВ (в диапазоне изменения уровня от 0,5 В до 5 В без нагрузки)
Значение
от минус 1 до плюс 6
1
± (0,001∙U
уст
+20 мВ),
где U
уст
– установлен-
ное значение
100
от минус 1 до плюс 6
± 20
до 500
Максимальный выходной ток на один канал, мА
Диапазон измеряемых напряжений, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешностиизмерений напряжения, мВ
Частота следования импульсов, МГц
Пределы допускаемой относительной погрешности задаваемой частоты
следования импульсов, %
Длительность фронта импульса, пс, не более
± 0,1
500
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного
тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.
Таблица 3
Значение
Параметр
Диапазон задаваемого/измеряемого напряжения постоянного тока, В:
- (при силе тока более 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА)
- (при силе тока менее 20 мА, диапазон измерений силы тока 50 мА)
Дискретность установки напряжения постоянного тока, мВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряже-
ния постоянного тока, мВ
Дискретность измерений напряжения постоянного тока, мВ
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряже-
ния постоянного тока, мВ
от минус 0,1 до плюс 4,5
от минус 1,0 до плюс 6,0
1,0
± (0,002∙U
уст
+ 10 мВ),
где U
уст
– установленное
значение, В
1,0
± (0,002∙U
изм
+ 10 мВ),
где U
изм
– измеренное зна-
чение, В
≤ 20 мкА
≤ 0,8 мкА
≤ 0,08 мкА
Дискретность задаваемой силы постоянного тока:
- диапазон ± 50 мА
- диапазон ± 2 мА
- диапазон ± 0,2 мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности задаваемой силы по-
стоянного тока:
- диапазон ± 50 мА
- диапазон ± 2 мА
- диапазон ± 0,2 мА
- диапазон ± 0,02 мА
± (0,005∙I
уст
+ 1000,0 мкА),
± (0,005∙I
уст
+ 10,0 мкА),
± (0,005∙I
уст
+ 1,0 мкА),
± (0,005∙I
уст
+ 0,2 мкА),
где I
уст
– установленное
значение, мА
Дискретность измерений силы постоянного тока:
- диапазон ± 50 мА
- диапазон ± 2 мА
- диапазон ± 0,2 мА
- диапазон ± 0,02 мА
- диапазон ± 0,002 мА
≤ 6 мкА
≤ 0,24 мкА
≤ 0,024 мкА
≤ 0,0024 мкА
≤ 0,001 мкА
Лист № 4
всего листов 6
Значение
Параметр
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы по-
стоянного тока:
- диапазон ± 50 мА
- диапазон ± 2 мА
- диапазон ± 0,02 мА
- диапазон ± 0,002 мА
- диапазон ± 0,0002 мА
± (0,005∙I
изм
+ 500,0 мкА)
± (0,005∙I
изм
+ 10,0 мкА)
± (0,005∙I
изм
+ 1,0 мкА)
± (0,005∙I
изм
+ 0,2 мкА)
± (0,005∙I
изм
+ 0,09 мкА),
где I
изм
– измеренное зна-
чение, мА
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного
тока источниками питания (№ 1– 4) в соответствии с таблицей 4.
Таблица 4
Значение
0 - 0,5; 0 - 1,0; 0 - 2,0; 0 - 5,0;
0 - 10,0; 0 - 20,0; 0 - 30,0
Параметр
Диапазоны задаваемого/измеряемого напряжения постоян-
ного тока, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
напряжения постоянного тока:
- диапазон (0 - 0,5) В
- диапазон (0 - 1,0) В
- диапазон (0 - 2,0) В
- диапазон (0 - 5,0) В
- диапазон (0 - 10,0) В
- диапазон (0 - 20,0) В
- диапазон (0 - 30,0) В
± (0,0005∙U
уст
+ 0,9 мВ)
± (0,0005∙U
уст
+ 1,0 мВ)
± (0,0005∙U
уст
+ 1,2 мВ)
± (0,0005∙U
уст
+ 1,6 мВ)
± (0,0005∙U
уст
+ 2,6 мВ)
± (0,0005∙U
уст
+ 5,0 мВ)
± (0,0005∙U
уст
+ 8,0 мВ),
где U
уст
– установленное зна-
чение, В
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
напряжения постоянного тока:
- диапазон (0 - 0,5) В
- диапазон (0 - 1,0) В
- диапазон (0 - 2,0) В
- диапазон (0 - 5,0) В
- диапазон (0 - 10,0) В
- диапазон (0 - 20,0) В
- диапазон (0 - 30,0) В
± (0,0005∙U
изм
+ 0,9 мВ)
± (0,0005∙U
изм
+ 1,0 мВ)
± (0,0005∙U
изм
+ 1,2 мВ)
± (0,0005∙U
изм
+ 2,0 мВ)
± (0,0005∙U
изм
+ 4,0 мВ)
± (0,0005∙U
изм
+ 7,0 мВ)
± (0,0005∙U
изм
+ 10,0 мВ),
где U
изм
– измеренное значе-
ние, В
0 - 0,02; 0 - 0,2;
0 - 2,0; 0 - 20,0; 0 - 200,0
Диапазоны задаваемой/измеряемой силы постоянного тока,
мА
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки
силы постоянного тока:
- диапазон (0 - 0,02) мА
- диапазон (0 - 0,2) мА
- диапазон (0 - 2,0) мА
- диапазон (0 - 20,0) мА
- диапазон (0 - 200,0) мА
± (0,001∙I
уст
+ 0,03 мкА)
± (0,001∙I
уст
+ 0,3 мкА)
± (0,001∙I
уст
+ 3,0 мкА)
± (0,001∙I
уст
+ 30,0 мкА)
± (0,001∙I
уст
+ 300,0 мкА),
где I
уст
– установленное значе-
ние, мА
Лист № 5
всего листов 6
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений
силы постоянного тока:
- диапазон (0 - 0,02) мА
- диапазон (0 - 0,2) мА
- диапазон (0 - 2,0) мА
- диапазон (0 - 20,0) мА
- диапазон (0 - 200,0) мА
± (0,001∙I
изм
+ 0,018 мкА)
± (0,001∙I
изм
+ 0,18 мкА)
± (0,001∙I
изм
+1,8 мкА)
± (0,001∙I
изм
+18,0 мкА)
± (0,001∙I
изм
+180,0 мкА),
где I
изм
– измеренное значение,
мА
Таблица 5 - Габаритные размеры и масса составных частей тестера
Составные части
Масса, кг
Основная стойка
Тестовая голова
Манипулятор
Система охлаждения
Рабочая станция (ПЭВМ)
Габаритные размеры
(длина х ширина х высота), мм
1600 х 1000x800
450 х 710 х 710
1600 х 420 х 800
1140 х 650 х 1050
138 х 539 х 447
570
290
510
380
17,7
Параметр
Таблица 6 - Характеристики напряжения питания тестера
Максимальное
значение
480
10
63
Напряжение сети переменного тока, В
Отклонения напряжения сети, %
Частота напряжения сети, Гц
Потребляемая мощность, кВт-А
Минимальное зна-
чение
200
-15
47
40
Таблица 7 - Условия эксплуатации тестера
Рабочий диапазон температур окружающей среды, ºС
Относительная влажность воздуха при температуре 30
°
С, %
Атмосферное давление, кПа
Средний срок службы, лет
Наработка на отказ, ч
от 15 до 30
от 50 до 80
от 97 до 105
10
4000
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель стойки в виде наклейки и на ти-
тульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки включает:
- тестер UltraFlex 810-72-00 (в составе: тестовая стойка, манипулятор, тестовая голова) – 1
комплект;
- рабочая станция (ПЭВМ) – 1 комплект;
- блок охлаждения - 1 комплект;
- комплект эксплуатационной документации («Тестер UltraFlex 810-72-00. Паспорт.
АЕСН.442241.002ПС»; «Тестер UltraFlex 810-72-00. Руководство по эксплуатации.
АЕСН.442241.002 РЭ») – 1 комплект;
- Методика поверки – 1 шт.
Поверка
О
существляется по документу «Инструкция. Тестер UltraFlex 810-72-00. Методика поверки.
АЕСН.442241.002 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 14.08.2012 г.
Лист № 6
всего листов 6
Основные средства поверки:
- мультиметр цифровой KEITHLEY 2010 (регистрационный номер 25787-08) (диапазон
измерений напряжения постоянного тока 100 мВ – 1000 В, пределы допускаемой относитель-
ной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± 0,004 %; диапазон
измерений
силы постоянного тока от 10 мА до
3А, пределы допускаемой относительной погрешности
измерений силы постоянного тока ± 0,12 %);
- частотомер
электронно-счетный ЧЗ-63 (регистрационный номер
9084-90), диапазон
измеряемых частот импульсных сигналов от 1 Гц до 200 МГц с пределами допускаемой по-
грешности измерений частоты
±
5·10
-7
±
1 ед.сч.;
- осциллограф цифровой TDS-2014B (регистрационный номер 24018-06), диапазон
измерений (0 - 100) МГц с пределами допускаемой относительной погрешности измерений 1
%.
Сведения о методиках (методах) измерений
Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к тестеру Ul-
traFlex 810-72-00
Тестер UltraFlex 810-72-00. АЕСН.442241.002 РЭ. Руководство по эксплуатации.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма Teradyne Inc., США, 600 Riverpark Drive, North Reading, МA 01864, USA
+1/978370-2700
Заявитель
ЗАО «Зеленоградский нанотехнологический центр» (ЗАО «ЗНТЦ»)
Адрес: 124498, г. Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д. 5. Тел. 8-499-720-69-44
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общест-
во «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ
ОАО «НИЦПВ»)
Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел./Факс (495) 935-97-77, E-mail:
Аттестат аккредитации государственного центра испытаний средств измерений
№ 30036-10 от 10.06.2010 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.П.
«____» ________________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
