ГРСИ 51907-12: Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Поверка

Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru

ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru

Заказать
поверку данных СИ
в аккредитованной лаборатории

Заказать
поверку

Смотреть ГРСИ
51908-12

Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ, ГРСИ 51907-12

Смотреть ГРСИ
51906-12

Номер госреестра:

51907-12

Наименование СИ:

Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона

Обозначение типа:

МПГ

Производитель:

ЗАО "Техносистема Н", г.Москва

Межповерочный интервал:

1 год

Сведения о типе СИ:

Срок свидетельства

Срок свидетельства:

27.11.2017

Описание типа:

Скачать
описание типа СИ

Методика поверки:

Поверка<br>Аккредитованная лаборатория<br>8(812)209-15-19, info@saprd.ru

Поверка
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru

К сожалению, комментарии пока что отсутствуют. Вы можете быть первым. Оставить комментарий:

Описание типа средства измерения: Читать в отдельном окне

Untitled document

Приложение к свидетельству № 48896

об утверждении типа средств измерений

Лист № 1

всего листов 3

ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ

Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ

Назначение средства измерений

Меры горизонтального перемещения

нанометрового диапазона МПГ (далее – меры

перемещений) предназначены для воспроизведения перемещений в латеральной плоскости

при испытаниях, поверке и калибровке растровых измерительных микроскопов, сканирующих

зондовых микроскопов, вертикальных сканирующих интерферометров.

Описание средства измерений

В основе принципа действия меры перемещений лежит управляемая электрическим

напряжением деформация исполнительного пьезоэлемента, выполненного из пьезокристалли-

ческого материала, характеризуемого пренебрежительно малым гистерезисом и ползучестью, в

горизонтальном направлении. При подаче управляющего напряжения на пъезоэлемент, от-

счетная поверхность меры перемещается в горизонтальном направлении.

Конструктивно мера перемещений выполнена в

виде корпуса, внутри которого уста-

новлен исполнительный пьезоэлемент, на лицевой

поверхности которого установлена рель-

ефная решетка, перемещающаяся в горизонтальном направлении. Для отстройки от внешних

влияющих факторов (температурный дрейф, низкочастотные колебания,

ползучесть элемен-

тов конструкции и др.) управление перемещением меры осуществляется амплитудно – моду-

лированным сигналом в виде прямоугольных импульсов напряжения, что позволяет отсчиты-

вать перемещения по результатам измерения амплитуды переднего или заднего

фронта им-

пульса перемещения. Генерацию электрических управляющих сигналов с регулируемой ам-

плитудой, частотой и формой обеспечивает электронная система управления (ЭСУ-06.2).

Внешний вид мер перемещения и ЭСУ-06.2 представлен на рисунке 1.

Программное обеспечение

Мера перемещения МПГ оснащена программным обеспечением DAC Generator версии

V1.0.1.13, предназначенным для подачи на меру импульсов напряжения с ЭСУ-06.2. Вычис-

лительный алгоритм DAC Generator расположен в заранее скомпилированных бинарных фай-

лах и не может быть модифицирован. ПО DAC Generator блокирует редактирование для поль-

зователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.

Рисунок 1 – Общий вид меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона

МПГ и электронной системы управления.

Лист № 2

всего листов 3

Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице:

Наименование

программного

обеспечения

DAC Generator

Идентифика-

ционное на-

именование

программного

обеспечения

DAC

Generator.exe

Номер версии

(идентификаци-

онный номер)

программного

обеспечения

V 1.0.1.13

Цифровой идентифи-

катор программного

обеспечения (кон-

трольная сумма ис-

полняемого кода)

1A22CC0ED72AEFE8

DCA51093F6EF02B6

Алгоритм вычис-

ления цифрового

идентификатора

программного

обеспечения

MD5

Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования

или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.

Защита программного обеспечения меры перемещения МПГ соответствует уровню

«С» по МИ 3286-2010.

Метрологические и технические характеристики

0,1

от 0 до 200

-3

0,2

1.0

20±3

100±4

0,135

Диапазон перемещений, нм

Чувствительность, нм/В, не менее

Уровень собственных шумов, не более, нм

Разрешающая способность, не более, нм

Пределы абсолютной погрешности воспроизведения перемещений, нм

Сопротивление изоляции, не менее, МОм

Условия применения:

Температура окружающей среды, ºС

Изменение температуры окружающей среды во время проведения измере-

ний, ºС/ч, не более

Относительная влажность, %, не более

Атмосферное давление, кПа

Средний срок службы, лет

Масса, кг

Габаритные размеры мер перемещения, мм

диаметр

высота

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист руководства по эксплуатации ти-

пографским методом и методом наклейки на корпус пластикового герметичного контейнера.

Комплектность средства измерений

Поставляется в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:

1. Мера горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ;

2. Электронная система управления ЭСУ-06.2;

3. Кабели соединительные;

4. Программное обеспечение DAC Generator;

5. Оснастка для проведения калибровки и поверки меры;

6. Руководство по эксплуатации;

7. Методика поверки.

Поверка

осуществляется в соответствии с документом МП 51907-12 «Меры горизонтального переме-

щения нанометрового диапазона МПГ. Методика поверки», разработанным и утвержденным

ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в марте 2012 г. и включенной в комплект поставки.

Лист № 3

всего листов 3

Основное поверочное оборудование: прибор для измерений шероховатости поверхно-

сти с характеристиками не хуже:

• разрешение – 0,5 нм;

• вертикальное увеличение – 10

;

• предел случайной погрешности – 0,3 %.

Сведения о методиках (методах) измерений

Сведения о методах измерений содержатся в документе РЭ ГК.003-10. «Меры гори-

зонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ. Руководство по эксплуатации».

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам гори-

зонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ

ТУ ГК. 003-10 «Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ.

Технические условия».

Рекомендации по области применения в сфере государственного регулирования обеспе-

чения единства измерений

Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.

Изготовитель

ЗАО «Техносистема Н»

Адрес: 101000, г. Москва, ул. Покровка, д.14/2, стр. 1

Тел./факс. (495) 673-26-22, эл.почта:

nanofactory@mail.ru

Испытательный центр

Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»

Аттестат аккредитации (Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008г).

Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46

Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.

E-mail:

office@vniims.ru

, адрес в Интернет:

www.vniims.ru

Заместитель Руководителя Федерального

агентства по техническому регулированию

и метрологииФ.В. Булыгин

М.П. «____» _____________ 2012 г.

Готовы поверить данное средство измерений.

Поверка средств измерений.

ООО СУПРР 8(812)209-15-19, info@saprd.ru

Похожие средства измерения:

ГРСИ	Наименование СИ	Тип СИ	Производитель	МПИ	Ссылка
1536-61	Линия измерительная сантиметрового диапазона	Р1-3 (ИКЛ-111)	Нет данных	Нет данных	Перейти
30361-05	Меры отношения напряжений	Н4-8	ОАО "НПК "Ритм", г.Краснодар	3 года	Перейти
173-49	Меры длины складные металлические	МСМ	Предприятие "УТОГ", Украина, г.Киев	Нет данных	Перейти
58290-14	Преобразователи перемещения токовихревые	WK-142К	Фирма "Shinkawa Sensor Technology, Inc.", Япония	1 год	Перейти
83969-21	Преобразователи перемещения токовихревые	BN-3300XL	Фирма "Bently Nevada, LLC", США	2 года	Перейти

Поверка средств измерений

ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru

Поверка средств измерений

Заказать поверкуМеры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГГРСИ 51907-12

Заказать поверку
Меры горизонтального перемещения нанометрового диапазона МПГ
ГРСИ 51907-12