Приложение к свидетельству № 48400
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100
Назначение средства измерений
Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 (далее - микроскоп) предназна-
чен для измерений линейных размеров деталей структуры тонкопленочных объектов.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом,
ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется
конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект парал-
лельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры
или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, располо-
женной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в
ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответ-
ствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункцио-
нальную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна;
светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий
стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной
образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форваку-
умным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрес-
сор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; рабочая станция микроскопа на базе
специализированного компьютера; система замкнутого водяного охлаждения; программное
обеспечение для управления микроскопом; комплект запчастей и расходных материалов.
Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и три блока электрон-
ных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый из них со-
ставлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в ко-
торую путем шлюзования вводится объектодержатель с объектом. Объективная линза допол-
нена управляемой диафрагмой. Блок, формирующий изображение, содержит промежуточные
линзы, позволяющие, получать картины электронной дифракции. Блок проекционных линз
обеспечивает требуемое увеличение изображений.
На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой
выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптиче-
ский бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на
экране и фокусировку.
Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на ба-
зе специализированного компьютера.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При
максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной до-
зы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности
колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Лист № 2
всего листов 4
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего JEM-2100
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и
внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
НаименованиеИдентификаци- НомерЦифровой иденти- Алгоритм вычисле-
ПОонное наимено- версии фикатор ПО (кон-ния цифрового
вание ПОПОтрольная сумма)идентификатора ПО
Программа управленияTEM Basic Sys- 2.8.0 71D14355FFFAA96 ГОСТ Р 34.11-94
процессом измерений иtem V 2.8.0 5D100F75272C1378
обработки результатов VEM0434-090 ACDCCDBC3A237
измерений D2A23939D708C72
44D32
Лист № 3
всего листов 4
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
Значение
от 0,003 до 50
±18
±11
±6
от 50 до 1500000
от 80 до 200
220
+22
-33
10
2440х2250х1570
1900
Наименование характеристики
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линей-
ных размеров, %:
- в диапазоне от 0,003 до 0,005 мкм
- в диапазоне от 0,005 до 0,015 мкм
- в диапазоне от 0,015 до 50 мкм
Диапазон регулировки увеличения, крат
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В
Потребляемая мощность, кВА
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм
Масса, кг
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
°
С
- относительная влажность воздуха, %, не более
- атмосферное давление, кПа
20
±
5
60
84
¸
107
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую ко-
лонну микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя
типографским способом.
Комплектность средства измерений
В комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100,
комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 51413-12 «Микроскоп электронный просвечивающий
JEM-2100. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в
сентябре 2012 г.
Средства поверки: СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокри-
сталлического кремния (ГСО 10030-2011).
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Микроскоп электронный просвечивающий JEM-2100 фирмы
«JEOL», Япония»
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
электронному просвечивающему JEM-2100
Техническая документация фирмы–изготовителя «JEOL», Япония.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства из-
мерений.
Лист № 4
всего листов 4
Изготовитель
Фирма «JEOL», Япония.
Адрес: 1-2, Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo 196-8558, Japan.
Телефон: Tel. +81-42-543-1111. Факс: +81-42-546-3353.
Заявитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств по-
верхности и вакуума».
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./Факс: (495) 935-97-77. E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«____»__________2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
