Приложение к свидетельству № 48066
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
Назначение средства измерений
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV, (далее по тексту -
микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных
структур.
Описание средства измерений
Принцип работы микроскопа основан на освещении объекта через объектив
микроскопа излучением видимого или ультрафиолетового диапазона длин волн и проведением
измерений структуры его поверхности в отраженном свете.
Оптическая часть микроскопа содержит канал освещения объекта и канал измерений.
Канал измерений предназначен для визуального наблюдения (с помощью окуляра), а также для
измерения и документирования с помощью цифровой видеокамеры или цифровой фотокамеры.
Канал освещения предназначен для освещения объекта. Интенсивность освещения поверхности
объекта контроля регулируется потенциометром. Изображение с цифровой фотокамеры
вводится в ПЭВМ через USB – порт или через устройство цифрового ввода видеосигнала
(УЦВВ) в режиме реального времени.
Оптическое изображение проецируется на видеокамере. С помощью программного
обеспечения, учитывая масштабный коэффициент размера цифрового изображения к размеру
реального объекта, определяется линейный размер твердотельных микроструктур.
В состав микроскопа входят персональный компьютер, программное обеспечение. В
микроскопе реализованы следующие режимы оптической микроскопии:
-
микроскопия в видимом диапазоне длин волн;
-
микроскопия в режиме глубокого ультрафиолета.
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2 – Маркировка и пломбирование микроскопа оптического ультрафиолетового
диапазона INM 300 DUV
Программное обеспечение
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV оснащен
программным обеспечением High Performance Image Control.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Марка изготовителя и
наименование прибора
Заводской номер прибора,
место пломбирования
Лист № 3
Всего листов 5
Наименование
ПО
ImageScope
Таблица 1
Идентификац
ионное
наименование
ПО
Номер версии
(идентификацион
ный номер)
ПО
Цифровой идентификатор ПО
(контрольная сумма
исполняемого кода)
High
Performance
Image Control
HiPic 32
7.1.0
D8220560DF13E1C6AE52DA
AC03CE8EA9
Алгоритм
вычисления
цифрового
идентификато
ра ПО
MD5
ImageScope M
1.0.1
E60FA5E92F13F275C5E2F452
3EF93BE4
MD5
Изменение ПО возможно только с помощью специальных технических средств
сервисными инженерами фирмы-изготовителя. Пользователь долступа к ПО не имеет.
ПО защищено USB-ключом.
Защита программного обеспечения микроскопа оптического ультрафиолетового
диапазона INM 300 DUV соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Наименование характеристики
Значение
характеристики
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 5х, мкм
по оси Х
по оси Y
3 - 1290
3 - 969
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 10х, мкм
по оси Х
по оси Y
2 - 645
2 - 494
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 20х, мкм
по оси Х
по оси Y
2 - 323
2 - 242
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 50х, мкм
по оси Х
по оси Y
0,2 - 130
0,2 - 97
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х, мкм
по оси Х
по оси Y
0,5 - 43,7
0,5 - 32,8
Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х DUV, мкм
по оси Х
по оси Y
0,1 - 28,4
0,1 - 22,7
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных
размеров по осям Х и Y, мкм
для объектива 5х
для объектива 10х
для объектива 20х
для объектива 50х
для объектива 150х
для объектива 150х DUV
± 2
± 1
± 1
± 0,1
± 0,05
± 0,03
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.
Таблица 2
Лист № 4
Всего листов 5
СКО измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм, не более
для объектива 5х
для объектива 10х
для объектива 20х
для объектива 50х
для объектива 150х
для объектива 150х DUV
0,7
0,3
0,3
0,03
0,0012
0,001
Электропитание осуществляется от сети переменного тока
с напряжением, В
частотой, Гц
220 ± 22
50 ± 1
Потребляемая мощность, Вт, не более
600
Габаритные размеры микроскопа (Д×Ш×В), мм, не более
Масса, кг, не более
950×650×550
85
Условия эксплуатации:
Температура окружающей среды,
0
С
Максимальная относительная влажность воздуха при температуре 25
0
С,
%
Атмосферное давление, кПа
20 ± 5
80
101,3± 4
Знак утверждения типа
наносится на корпус микроскопа методом наклейки и на титульный лист руководства по
эксплуатации методом печати.
1
1
Комплектность средства измерений
Таблица 3
Наименование
Микроскоп INM 300 DUV
Количество, шт.
1
1
2
встроенные
оптические
Персональный компьютер
Монитор
Элементы контроля: клавиатура Vistec INM 300 DUV
функциональные клавиши, трекбол
Комплект оптических элементов: объективы, призмы,
фильтры, светоделители
Упаковка
Руководство по эксплуатации
Методика поверки МП 62.Д4-12
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300
DUV. Методика поверки МП 62.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 16 июля
2012 г.
Основные средства поверки:
1 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К
Основные метрологические характеристики:
Среднее значение шага 2,001 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага
периодической структуры ± 0,002 мкм.
2 Мера графитовая S106.
Основные метрологические характеристики:
Лист № 5
Всего листов 5
Номинальное значение шага 0,463 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности
шага периодической структуры ± 0,020 мкм.
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Руководство по
эксплуатации», раздел 2.3 «Подготовка к работе» и 2.4 «Порядок работы».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
оптическому ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
1 Техническая документация фирмы - изготовителя.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям
Изготовитель
Vistec Semiconductor Systems GmbH, Германия
Kubacher Weg 4 D-35781 Weilburg, Germany
Phone +49 (0) 64 71-910-2426, Fax +49(0)6471-910-2325
E-Mail:
Заявитель
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятиефедеральныйнаучно-
производственный центр "Научно-исследовательский институт измерительных систем им. Ю.Е.
Седакова" (ФГУП «ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова»)
Адрес: 603950, Россия, Нижний Новгород, ГСП-486
Телефон (831) 465-49-90 Факс (831) 466-87-52, 466-67-69
E-mail:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений федерального государственного
унитарногопредприятия«Всероссийскийнаучно-исследовательскийинститутоптико-
физических измерений»(ГЦИСИФГУП«ВНИИОФИ»),аттестатаккредитации
государственного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств
измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
Ф.В.Булыгин
М. П.«___» ___________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
