Приложение к свидетельству № 47224
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп электронный растровый S-4800
Назначениесредстваизмерений
Микроскоп электронный растровый S-4800 (далее - микроскоп) предназначен для из-
мерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Описание средства измерений
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункцио-
нальную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны),
камеры объектов с механизмом перемещения объектов, двух детекторов вторичных электро-
нов, детектора отраженных электронов, детектора прошедших электронов (для режима «на-
просвет»), вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости
монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистри-
рованных электронов соответствующим детектором, при сканировании сфокусированного
электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к
размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
Микроскоп обеспечивает работу в режимах регистрации вторичных и отраженных
электронов и в режиме «напросвет».
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При
максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной до-
зы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности
колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового S-4800
Лист № 2
всего листов 3
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и
внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
НаименованиеИдентификаци-НомерЦифровой идентифи-Алгоритм вы-
ПОонное наимено- версии ПО катор ПО (контроль- числения циф-
вание ПОная сумма)рового иденти-
фикатора ПО
Программа управле-S-4800 Scanning03.030142742361B2079CBF ГОСТ Р 34.11-
ния процессом изме-Electron Micro- 1B35EBDD7055A166C 94
рений и обработки ре- scope855EF41C884D8C8BF
зультатов измерений 0B3366E85AF4
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
Наименование характеристикиЗначение
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при
15кВ (образец – кремний), нм, не более10
Диапазон измерений линейных размеров, мкм
0,05
¸
1000
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных
размеров, %:
- в диапазоне от 0,05 до 0,1 мкм ±10
- в диапазоне от 0,1 до 0,3 мкм ±6
- в диапазоне от 0,3 до 1000 мкм ±4
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В220
+22
-33
Потребляемая мощность, кВА 4
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм:
- стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ840х966х1660
- видеоконтрольный блок 1000х960х1200
Масса, кг 860
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
°
С20
±
5
- относительная влажность воздуха, %, не более 60
- атмосферное давление, кПа
84
¸
107
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систе-
му (колонну) прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя ти-
пографским способом.
Комплектность средства измерений
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый S-4800, комплект
ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измери-
тельные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Лист № 3
всего листов 3
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Микроскоп электронный растровый S-4800 фирмы «HI-
TACHI», Япония»
Нормативные документы и технические документы, устанавливающие требования к
микроскопу электронному растровому S-4800
Техническое описание «Микроскоп электронный растровый S-4800 фирмы «HI-
TACHI», Япония»
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства из-
мерений.
Изготовитель
Фирма «HITACHI», Япония.
Адрес: 5-1 Koraku 2-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 112-8563, Japan.
Телефон: Tel. +(03) 3830-8050.
Заявитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств по-
верхности и вакуума» (ОАО «НИЦПВ»)
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»__________2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
