Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010, ГРСИ 50249-12
Номер госреестра:
50249-12
Наименование СИ:
Мера длины 3D субмикронного диапазона
Обозначение типа:
NGR 11010
Производитель:
Фирма "Veeco Instruments Inc.", США
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ VM4599543
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 46982
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Назначение средства измерений
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 предназначена для поверки и
калибровки атомно-силовых микроскопов.
Описание средства измерений
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010 (далее - мера) представляет
собой квадратную кремниевую монокристаллическую пластину размером не более 10х10 мм,
поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости. Мера
состоит из ячеек размером 5×5 мкм, с расстоянием между ячейками 5 мкм.
Рисунок 1 – Внешний вид Меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Рисунок 2 – Маркировка Меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Марка изготовителя и
наименование меры
Заводской номер меры
Лист № 2
всего листов 3
Рисунок 3 – Структура поверхности меры длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в таблице 1.
Таблица 1
Наименование характеристикиЗначение
Номинальное значение глубины ячейки, мкм 0,098
Пределы доверительной границы погрешности измерения глубины ячейки при ± 0,001
Р = 0,95; мкм
Номинальное значение шага ячейки, мкм10,0
Пределы доверительной границы погрешности измерения шага ячейки при Р = ± 0,05
0,95; мкм
Размеры ячейки, мкм5×5
Масса меры с оправой, кг 0,0015
Габаритные размеры меры без оправы (Д×Ш×В), мм 10×10×0,5
Условия эксплуатации:
а) на воздухе
температура окружающего воздуха,
°
С20
±
3
относительная влажность окружающего воздуха, % 65 ± 15
атмосферное давление, кПа
100
±
4
б) в вакууме
температура держателя образца,
°
С20
±
3
значение давления остаточных газов в камере образцов микроскопа, Па 10
-4
– 270
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации
(паспорта) методом печати.
Комплектность средства измерений
Состав комплекта меры представлен в таблице 2.
Таблица 2
Наименование
Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010
Футляр
Руководство по эксплуатации (паспорт)
Методика поверки № МП 44.Д4-11
Количество, шт.
1
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу: «Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010».
Методика поверки № МП 44.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 3 октября
2011 г.
Лист № 3
всего листов 3
Основные средства поверки:
Микроскоп атомно–силовой Innova, фирмы “Veeco Instruments Inc.”, США
Основные метрологические характеристики:
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY от 0,001 до 100 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по
осям X и Y: ± 1 %
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z от 0,0001 до 7,000 мкм
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по
оси Z: ± 5 %
Сведения о методиках (методах) измерений
«Мера длины 3D субмикронного диапазона NGR 11010. Руководство по эксплуатации
(паспорт)», раздел 7 «Порядок работы».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере длины
3D субмикронного диапазона NGR 11010
Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по обеспечению единства измерений.
Изготовитель
«Veeco Instruments Inc.», США
112 Robin Hill Road Santa Barbara CA 93117 USA
Attn.: Service Center
Phone: (805) 967-2700 Fax: (805) 967-7717
Заявитель
ГосударственныйнаучныйцентрРоссийскойФедерации-федеральное
государственное унитарное предприятие «Исследовательский центр имени М.В.Келдыша»
(ГНЦ ФГУП «Центр Келдыша»)
Адрес: Россия, 125438, г. Москва, Онежская ул., 8/10
Телефон: 7-495-456-80-83, Факс: 7-495-456-8228
E-mail:
Испытательный центр
Государственныйцентриспытанийсредствизмеренийфедерального
государственногоунитарногопредприятия«Всероссийский научно-исследовательский
институт оптико-физических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат
аккредитациигосударственного центраиспытаний(испытательной, измерительной
лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, д. 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии
Е.Р. Петросян
М. П.
«___» ___________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 59320-14 | Рабочий эталон единиц длины и ослабления в световоде | Нет данных | ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва | 1 год | Перейти |
| 12142-90 | Колонки топливораздаточные | НОС-07 | Фирма "Мера-ЗАП", Польша | 1 год | Перейти |
| 59951-15 | Весы электронные | МЕРА-ВТП-I | ООО "Мера-ТСП", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 34753-13 | Измерители КСВН панорамные | Р2-135 | АО "НПК "Мера", г.Краснодар | 1 год | Перейти |
| 76362-19 | Установки измерительные | МЕРА-ММ.(SPD) | АО "ГМС Нефтемаш", г.Тюмень | 4 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений