Приложение к свидетельству № 46850
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп атомно – силовой Veeco Dimension 3100
Назначение средства измерений
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100 (далее по тексту - микроскоп)
предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на сканировании исследуемой поверхности
зондами и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
В состав микроскопа Veeco Dimension 3100 входят персональный компьютер,
контроллер,измерительнаяголовка,наборсканеров,программное обеспечение.В
микроскопе Veeco Dimension 3100 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой
микроскопии:
-
полуконтактная атомно-силовая микроскопия,
-
контактная атомно-силовая микроскопия.
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа атомно–силового Veeco Dimension 3100
Лист № 2
Всего листов 5
Рисунок 2 – маркировка и пломбирование микроскопа атомно–силового
Veeco Dimension 3100
Программное обеспечение
Все действия с микроскопом проводятся с помощью ПК, на котором установлено
автономное программное обеспечение (ПО) «femtoscan online».
Управление работой микроскопом, визуализация экспериментальных данных, а
также обработка результатов измерений проводится с помощью программного продукта
«femtoscan online».
Интерфейсная часть программного обеспечения микроскопа запускается на ПК и
служит для отображения, обработки и сохранения результатов измерений; она состоит из
управляющих программ, файлов драйвера для работы через порт USB. Управляющая
программа работает в удобном диалоговом режиме. В программе предусмотрен ввод данных
о параметрах образца и дисперсанта (температура, коэффициент преломления и пр.), а также
устанавливаетсярежимизмерений.Результатыизмеренийзаносятсявпротокол,
генерируемый программой, и хранятся на жестком диске компьютера.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1
Наименование
ПО
femtoscan
Идентификаци
онное
наименование
ПО
femtoscan
online
Номер версии
(идентификаци
онный номер)
ПО
2.3
Цифровой
идентификатор ПО
(контрольная сумма
исполняемого кода)
9B82BA090D15D25B5
A6A0D697F685FC4
Алгоритм
вычисления
цифрового
идентификатора ПО
MD5
Марка изготовителя и
наименование прибора
Заводской номер прибора,
место пломбирования
Лист № 3
Всего листов 5
Обмен данными между микроскопом и персональным компьютером осуществляется
по порту USB.
Искажение данных при передаче через интерфейс связи исключается параметрами
протокола.
Метрологически значимая часть ПО микроскопа размещается в энергонезависимой
памяти микроконтроллера, расположенной в аппаратной части микроскопа, запись которой
осуществляетсявпроцессепроизводства.Доступкмикроконтроллеруисключён
конструкцией аппаратной части микроскопа.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.
Наименование характеристики
Значение
характеристики
±0,06
Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности
измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z), мкм
±0,02
СКО измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм, не более
0,05
СКО измерений высоты шаговой структуры (линейных размеров по оси Z),
мкм, не более
0,002
Таблица 2
2 - 90
0,02 - 0,60
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм
Пределы допускаемой систематической составляющей погрешности
измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Напряжение питания переменного тока, В
Потребляемая мощность, Вт, не более
Габаритные размеры контроллера, мм, не более
Габаритные размеры микроскопа, мм, не более
Масса, кг, не более
230
600
585×191×585
818×865×1270
85
Знак утверждения типа
наносится на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации
методом печати.
Комплектность средства измерений
Таблица 3
Наименование
Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100
Контроллер микроскопа
Персональный компьютер
Монитор
Кабель USB для соединения с ПК
Количество, шт.
1
1
2
2
2
Лист № 4
Всего листов 5
Комплект кабелей для подключения к сети электропитания2
Пакет прикладного программного обеспечения (диск)2
Виброзащищенный стол1
Сканер с рабочим диапазоном 100 мкм1
Сканер с рабочим диапазоном 5 мкм1
Набор кантилеверов для полуконтактного режима работы1
Набор кантилеверов для контактного режима работы1
Запасной предохранитель4
Упаковка1
Руководство по эксплуатации 1
Методика поверки № МП 31.Д4-11 1
Поверка
осуществляется по документу: «Микроскоп атомно-силовой Veeco Dimension 3100. Методика
поверки № МП 31.Д4-11», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 10 октября 2011 г.
Основные средства поверки:
Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Основные метрологические характеристики:
Таблица 4
Наименование характеристики
Передача размера единицы длины в диапазоне, м
Номинальное значение шага шаговой структуры меры, мкм
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры,
мкм
Значение
характеристики
10
-9
- 10
-4
2,00
± 0,05
Сведения о методиках (методах) измерений
«Микроскоп атомно–силовой Veeco Dimension 3100. Руководство по эксплуатации»,
раздел 2 «Подготовка к работе и порядок работы».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
атомно–силовому Veeco Dimension 3100
Техническая документация фирмы «Veeco Instruments Inc.», США
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям
Изготовитель
Фирма «Veeco Instruments Inc.», США
112 Robin Hill Road Santa Barbara CA 93117 USA
Attn.: Service Center
Phone: (805) 967-2700 Fax: (805) 967-7717
Лист № 5
Всего листов 5
Заявитель
ГосударственныйнаучныйцентрРоссийскойФедерации-федеральное
государственное унитарное предприятие «Исследовательский центр имени М.В.Келдыша»
(ГНЦ ФГУП «Центр Келдыша»)
Адрес: Россия, 125438, г. Москва, Онежская ул., 8/10
Телефон: 7-495-456-80-83
Факс: 7-495-456-8228
E-mail:
Испытательный центр
Государственныйцентриспытанийсредствизмеренийфедерального
государственногоунитарногопредприятия«Всероссийский научно-исследовательский
институт оптико-физических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ»), аттестат
аккредитациигосударственного центраиспытаний(испытательной, измерительной
лаборатории) средств измерений № 30003-08 от 30.12.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
Е.Р. Петросян
М. П.
«___» ___________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
