Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1, ГРСИ 49101-12
Номер госреестра:
49101-12
Наименование СИ:
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов
Обозначение типа:
ПМН-1
Производитель:
ФГБОУ высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 001
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 45554
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Мера рельефная нанометрового диапазона c периодическим массивом нанообъ-
ектов ПМН – 1.
Назначение средства измерений
Мера рельефная нанометрового диапазона с периодическим массивом нанообъектов
ПМН-1 (далее – мера) предназначена для передачи размера единицы длины в диапазоне от
0,2·10
-6
до 10
-4
м и применяется при калибровке перемещений столика объектов растрового
электронного микроскопа.
Описание средства измерений
Мера ПМН-1 представляет собой совокупность пяти одинаковых групп периодических
массивов нанообъектов на поверхности кремниевой монокристаллической пластины диамет-
ром 50 мм. Одна группа расположена в центре пластины, остальные четыре группы располо-
жены симметрично относительно первой в вершинах квадрата со стороной 800 мкм. Размеры
каждой группы: 0,1 мм x 0,1 мм. Группы соединяются между собой дорожками шириной 5
мкм и глубиной 0,5 мкм. Внутри каждой группы сформирована рельефная шаговая структура
из выступов с размерами 100 нм x 100 нм x 100 нм, которые образуют двумерный периодиче-
ский массив нанообъектов, каждый пятый выступ в строке отсутствует, а в каждой следую-
щей строке отсутствующий выступ смещен на один шаг (период).
Схематическое изображение меры ПМН-1 представлено на рисунке 1.
Лист № 2
всего листов 3
Рис.1 Схематическое изображение меры ПМН-1.
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
Наименование характеристикиЗначение
Номинальное значение среднего шага T
x
по оси X периодического массива на- 200,1
нообъектов, нм
Номинальное значение среднего шага T
y
по оси Y периодического массива199,7
нанообъектов, нм
Допускаемое отклонение от номинального значения среднего шага T
x
(T
y
), нм
±
1,0
Среднее квадратическое отклонение S
x
(S
y
) значений шага по оси X (Y) перио- 1,0
дического массива нанообъектов, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения параметров S
x
±0,5
(S
y
) , нм
Номинальные размеры нанообъектов, нм100х100х100
Размеры периодического массива нанообъектов, мкм 100х100
Рабочие условия эксплуатации:
- температура держателя образца, ºС20±3
- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па
10
-4
¸
270
Масса без оправы, кг 0,0023
Габаритные размеры без оправы (диаметр х толщина), мм 50х0,5
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским спосо-
бом.
Комплектность средства измерений
В комплект поставки входят: мера рельефная нанометрового диапазона с периодиче-
ским массивом нанообъектов ПМН-1, футляр, паспорт.
Лист № 3
всего листов 3
Поверка
осуществляется по документу МП 49101-12 «Мера рельефная нанометрового диапазона с
периодическим массивом нанообъектов ПМН–1. Методика поверки», утвержденному руково-
дителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.
Средства поверки:
- мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К;
- микроскоп электронно-ионный растровый Helios NanoLab 650.
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы, устанавливающие требования к мере рельефной нанометро-
вого диапазона с периодическим массивом нанообъектов ПМН-1
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государст-
венная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин
волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства из-
мерений.
Изготовитель
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессио-
нального образования «Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Адрес: 124498, г. Москва, Зеленоград, проезд 4806, дом 5.
Телефон: (499) 731-4441. Факс: (499) 710-2233. Е-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»__________2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 70670-18 | Генераторы сигналов | Г4-220А | АО "НПК "Мера", г.Краснодар | 2 года | Перейти |
| 1390-60 | Волномеры средней точности дециметрового диапазона | ВСТ-ДМ | П/я А-3074, г.Казань | Нет данных | Перейти |
| 66113-16 | Стенды поверочные для лидарной метеосистемы инфракрасного диапазона | Нет данных | ООО "НПП "Лазерные системы", г.С.-Петербург | 2 года | Перейти |
| 13909-94 | Весы настольные для определения массы и стоимости продуктов | ВР-01МС-2/5, ВР-01МС-5, ВР-01МС-2-6 | ТОО "Мера-сервис", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 44969-10 | Мера рельефная с наночастицами олова | S1937 | Фирма "Agar Scientific, Ltd.", Великобритания | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений