Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Приборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников SemiCon-1, ГРСИ 48987-12
Номер госреестра:
48987-12
Наименование СИ:
Приборы неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников
Обозначение типа:
SemiCon-1
Производитель:
ФГБ образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ), г.Томск
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
08.02.2017
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 45406
об утверждении типа средств измерений
лист № 1
всего листов 5
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Приборынеразрушающегоконтроляэлектрофизическихпараметров
широкозонных полупроводников «SemiCon – 1»
Назначение средства измерений
Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных
полупроводников «SemiCon – 1» (далее - Прибор) предназначен для экспрессного
бесконтактноголокальногоизмеренияудельногосопротивления,временижизни
неравновесных носителей заряда (далее - ННЗ) и определения типа проводимости в пластинах
и толстых шайбах поли- и монокристаллического кремния, германия, арсенида галлия в
лабораторных условиях.
Описание средства измерений
Измерение удельного сопротивления и времени жизни ННЗ полупроводников в приборе
производится бесконтактным СВЧ резонаторным методом. Принцип действия метода основан
на регистрации потерь СВЧ мощности, вносимых свободными и неравновесными носителями
заряда исследуемого образца в измерительный СВЧрезонатор с внешним кольцевым
отверстием, включенным на проход. Тип проводимости определяется по знаку изгиба
энергетическихзон кремния методом поверхностной фото-ЭДС с помощью емкостного
кольцевого датчика.
Измерение всех параметров полупроводникового образца на приборе осуществляется в
автоматизированном режиме. Все операции по настройке, заданию режимов, вычислению
выполняет персональный компьютер (ПК), соединенный с прибором «SemiCon– 1» по
протоколу USB 2.0 посредством адаптера и прилагаемым программным обеспечением ПО
«Байкал».
Обозначение прибора при заказе .
Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных
полупроводников «SemiCon-1»» ТУ 4276 – 019 – 02069318 – 2011.
Поустойчивостикклиматическимимеханическимвоздействиямпри
транспортировании и хранении прибор должен соответствовать требованиям группы 2
ГОСТ 22261-94.
На рисунке 1 представлена фотография общего вида прибора неразрушающего контроля
электрофизических параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1» с указанием
мест пломбирования.
лист № 2
всего листов 5
Рисунок 1 – Общий вид прибора неразрушающего контроля электрофизических
параметров широкозонных полупроводников «SemiCon – 1»
Программное обеспечение
Наименование программного обеспечения определяется визуально по наименованию
Главного окна программы, которому соответствует значение «Terminal».
Идентификационное наименование программного обеспечения определяется по имени
исполняемого модуля программы, которое соответствует значению «Terminal2.ехе ».
Номер версии определяется путем открытия вкладки «Help» главного окна программы. В
нем указан номер версии «2.2.0.158».
Программное обеспечение делится на ПО верхнего уровня (установленное на
компьютере) и ПО нижнего уровня (записано в управляющий микроконтроллер прибора). ПО
верхнего уровня не является метрологически значимым, так как его задача получить по
интерфейсу связи данные от прибора и отобразить эти данные в нужном виде. ПО нижнего
уровня защищено от изменения и может модифицироваться только предприятием
изготовителем при помощи специального оборудования.
Цифровойидентификаторпрограммногообеспечения(контрольнуюсумму
исполняемого кода) определяют для исполняемого модуля «Terminal2.ехе» при помощи
программы «md5summer.ехе». Файлу контрольной суммы исполняемого кода присваивают
имя «ПО_ Байкал», который с этого момента является цифровым идентификатором
программного обеспечения.
Оценка алгоритма вычисления цифрового идентификатора производится путем анализа
экспертных оценок и литературы.
Оценку влияния программного обеспечения на метрологические характеристики
средства измерений производить не требуется, так как ПО верхнего уровня не влияет на
метрологические характеристики прибора.
Уровни защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений – А, С по МИ 3286-2010.
Место
пломбирования
Место
пломбирования
лист № 3
всего листов 5
Идентификационные данные ПО приведены в таблице 1.
Таблица 1
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2.
Таблица 2
Наименование характеристикиТребуемое значение
Диапазон измерения
удельного сопротивления, Ом•см*
)
от 5∙10
-2
до 5∙10
4
Диапазон измерения времени жизни ННЗ, с от 1∙10
-6
до 1∙10
-3
Определения типа проводимости**
)
«n» / «p»
Диапазон удельного сопротивления измеряемых 5∙10
-1
– 1∙10
5
образцов для кремния при определении типа
проводимости, Ом·см
пределыдопускаемойотносительнойпогрешности
измерения удельного сопротивления, %
в диапазонах:
от 5·10
-2
до 10
-1
Ом·см±10
от10
3
до5·10
4
Ом·см±10
от 10
-1
до10
3
Ом·см ±5
пределыдопускаемойабсолютнойпогрешности
измерения температуры образцов кремния, ˚C±0,5
пределыдопускаемойотносительнойпогрешности
измерения времени жизни ННЗ, %±5
Время установления рабочего режима, мин20
Время непрерывной работы прибора, час 8
Питание прибора осуществляется от однофазной -
трехпроводной сети переменного тока:
частота, Гц 50±0,5
напряжение, В 220±22
потребляемая мощность, ВА, не более50
Масса, кг, не более17
Габаритные размеры, мм, не более 490×476×280
Сопротивление изоляции МОм, не менее 20,0
Средняя наработка до отказа,ч 6000
Средний срок службы, лет10
Наименование
программного
обеспечения
Идентификацио
нное
наименование
программного
обеспечения
«Байкал»
«Terminal2.ехе »
Номер версииЦифровой
(идентификационный идентификатор
номер) программного программного
обеспеченияобеспечения
(контрольная сумма
исполняемого кода)
«2.2.0.158»2D7DD66B
контрольная сумма
Алгоритм
вычисления
цифрового
идентификатор
а программного
обеспечения
Программа
(алгоритм):
WIN-SFV32
v1.0
лист № 4
всего листов 5
Рабочие условия применения:
- температура окружающего воздуха, ˚С
(20±5)
- относительная влажность воздуха, %,при 25 ˚С
от 40 до 80
- атмосферное давление, кПа (мм рт.ст.)
97 — 104(730 – 780)
-
отсутствие вибраций и ударов
*) Пространственное разрешение при измерении удельного сопротивления и времени жизни ННЗ
– диаметр 4 мм.
**
)
Пространственное разрешение определения типа проводимости – диаметр 2 мм.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на корпус фотохимическим способом.
В эксплуатационной документации на титульных листах изображение Знака наносится
печатным способом.
Комплектность средства измерений
Комплект поставки прибора приведен в таблице 3
Таблица 3
НаименованиеОбозначениеКол-воПримечание
ПЛЛГ.411721.001
1 шт.
1 Прибор неразрушающего
контроля «SemiCon-1»
2 ПК-IBM-совместимый
1 шт
1 шт.
3 Кабель-адаптер для
соединения ПК с прибором
4 Шнур питания
ПО «Байкал»
1 шт.
1
Si
3Измеренныена
сертифицированных
приборах по всем трем
параметрам
5 Программное обеспечение
на диске
6 Рабочие эталоны
монокристалллического крем-
ния с известным значением
удельного сопротивления,
времени жизни ННЗ и типом
проводимости
7 Руководство по эксплуатации
ПЛЛГ.411721.001 РЭ
1
8 Формуляр
ПЛЛГ.411721.001 ФО
1
Поверка
осуществляется по методике поверки, приведенной в разделе 4 документа «Прибор
неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников
«SemiCon – 1»
Руководство по эксплуатации
ПЛЛГ.411721.001 РЭ
», утвержденной ГЦИ СИ
СНИИМ 31 октября 2011 года.
Перечень основных средств поверки приведен в таблице 4.
Таблица 4
НаименованиеМетрологические характеристики
Мегаомметр ЭС0202/2-Г испытательное напряжение 1000 В
ПК-IBM-совместимый; ПО «Байкал»
Измерительтемпературымногоканальный
ПГ ±0,05
°
С
прецизионный « Термоизмеритель ТМ-12.4»
Комплектстандартныхобразцовудельного
Неоднородность (1,3-2,5) %.
сопротивления кремния СОП48-0572-176(1-17)-89
лист № 5
всего листов 5
Сведения о методиках (методах) измерений
Методизмеренийприведенвдокументе«Приборнеразрушающегоконтроля
электрофизических параметров широкозонных полупроводников
«SemiCon – 1»
Руководство по
эксплуатации
ПЛЛГ.411721.001 РЭ
».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к прибору
неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных полупроводников
«SemiCon – 1»
1 ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие
технические условия.
2ГОСТ12.2.007.0-75Системастандартовбезопасноститруда.Изделия
электротехнические. Общие требования безопасности.
3 ГОСТ 22622-77 Материалы полупроводниковые. Термины и определения основных
электрофизических параметров.
4 Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных
полупроводников
«SemiCon – 1» Технические условия
ТУ 4276 – 019 – 02069318 – 2011.
5 Прибор неразрушающего контроля электрофизических параметров широкозонных
полупроводников
«SemiCon – 1».
Руководство по эксплуатации ПЛЛГ. 411721.001 РЭ, раздел 4
Методика поверки.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодатальством Российской
Федерации обязательным требованиям.
высшего
Томский
Изготовитель
Федеральноегосударственноебюджетноеобразовательноеучреждение
профессиональногообразования «Национальныйисследовательский
государственный университет» (ТГУ)
Адрес: 634050 г. Томск, пр Ленина, 36,
Телефон (3822) 52-98-52. Факс (3822) 52-95-85
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «Сибирский государственный научно-исследовательский институт
метрологии», регистрационный номер 30007-09
Адрес: 630004 г.Новосибирск, пр.Димитрова, 4
Тел.8(383) 210-16-18 e-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»____________2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 24656-03 | Приборы универсальные полуавтоматические для измерения диаметров и длин роликов | 4155Л | ИПВФ "Робокон", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 38383-08 | Приборы для измерений давления | Geokon серий 4500, 4800 | Фирма "Geokon Incorporated", США | Первичная поверка при ввозе в РФ | Перейти |
| 3140-85 | Приборы для прогноза выбросоопасных зон в угольных пластах | ПГ-2МА | Завод "Углеприбор", Украина, г.Луганск | Нет данных | Перейти |
| 19199-00 | Приборы показывающие и регистрирующие | РП 100М | ЗАО "ПО Электроавтоматика", г.Йошкар-Ола | 1 год | Перейти |
| 11723-89 | Лаборатории передвижные неразрушающего контроля | ПЛНК-1 | Завод "Газавтоматика", г.Саратов | Нет данных | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений