Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300, ГРСИ 48831-12
Номер госреестра:
48831-12
Наименование СИ:
Микроскоп электронный просвечивающий
Обозначение типа:
TITAN 80-300
Производитель:
Фирма "FEI Ltd.", Нидерланды
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ D3133
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 45186
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300
Назначение средства измерений
Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300 (далее микроскоп) предна-
значен для измерений геометрических расстояний и размеров элементов микро- и ультра-
структуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в полимер, и сус-
пензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную пленку-
подложку).
Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследо-
ваниях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на получении увеличенного изображения
объекта с помощью пучка электронов, просвечивающих исследуемый объект. Так как объект
должен быть прозрачен для электронов, то исследоваться могут ультратонкие срезы, напы-
ленные в вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночасти-
цы. Система магнитных линз микроскопа управляет электронным пучком (аналогично работе
оптических линз в оптических микроскопах) и формирует электронно-микроскопическое изо-
бражение объекта на ПЗС-матрице или экране, покрытом слоем люминофора. Изображение
формируется из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы атомов про-
свечиваемого вещества, а также (в случае просвечивания кристаллического вещества) и от
ориентации кристаллографических осей относительно электронного пучка микроскопа.
Методы электронной дифракции реализуются trial регулирования токов магнитных
линз и введения в колонну микроскопа селекторных диафрагм. Эти методы дают информацию
о наличии или отсутствии кристаллической структуры у выбранного микроучастка образца, о
типе кристаллической решетки, а также позволяют рассчитать межплоскостные расстояния в
микрокристаллах путем сравнения полученных дифракционных картин (электронограмм) с
электронограммами тонкопленочных образцов с известным составоми кристаллической
структурой.
Дополнительные аналитические модули микроскопа – энергодисперсионый спектро-
метр характеристического рентгеновского излучения и спектрометр характеристических по-
терь энергии электронов – позволяют реализовать методы анализа локального элементного
состава исследуемых образцов.
Лист № 2
Всего листов 4
Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего TITAN 80-300
В состав микроскопа входит специализированное программное обеспечение, иденти-
фикационные данные которого приведены ниже.
НаименованиеИдентификационное№веЦифровой идентификаторпро- Алго-
программногонаименованиепро- рсииграммного обеспечения ритм
обеспеченияграммногообеспече- ПО(контрольная trial) вычис-
нияления
иденти-
фикато-
ра ПО
Пакет управ- EditingTool.dll c359a09fa92cca774b7e682b85c892eb
ления фотока- Numerical.dll 49a6e0b8da6060a8852d41d03fa40255
мерами и об-DMUtility.gtk5350a61e81fb25ba291b5217a49d0e47Про-
работки изо- 3.8.2 грамма
бражений md5sum
Digital Micro-
graph
Лист № 3
Всего листов 4
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений в соответствии с МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».
Диапазон измерения геометрических расстояний, мкм
Пределыдопускаемойпогрешностиизмерениягеометрических
расстояний при ускоряющем напряжении 200 кВ*:
в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, %
в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, %
в диапазоне (4·10
-4
..0,05) мкм при измерении абсолютных размеров
(L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм
± 3%
± 7%
+
22
380
-
38
10
консоль микроскопа + колонна
стойка ТЕМ/Асс
стойка питания микроскопа
генератор высокого напряжения
система охлаждения
1430х2140х235
700х800х1800
1200х600х1300
880х760х1990
680х660х860
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, ° C
- относительная влажность воздуха, %
(20 ± 0,2)
(65 ± 15)
Метрологические и технические характеристики
Таблица 1
4·10
-4
..100
± (2+0,07L)
от 50 до 1500 000
80..300
Диапазон регулировки увеличения, крат
Значения ускоряющего напряжения, кВ
Номинальное напряжение сети питания (трехфазной), В
Максимальная потребляемая мощность, кВ·А
Габаритные размеры основных блоков не более, мм
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность средства измерений
1. Микроскоп электронный просвечивающий TITAN 80-300
2. Комплект ЗИП и расходные материалы
3. Руководство по эксплуатации
4. Методика поверки
- 1экз.;
- 1 компл.;
- 1 шт.;
- 1 экз.
Поверка осуществляется по документу МП 48831-12 «Микроскоп электронный просвечи-
вающий TITAN 80-300. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в
октябре 2011 года.
Основными средствами поверки являются:
Мера длины рельефная МПУ278нм (Госреестр №47524-11)
Лист № 4
Всего листов 4
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
электронному просвечивающему TITAN 80-300
1. Техническая документация фиры-изготовителя
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений: выполнении работ по оценке соответствия промышленной
продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодатель-
ством Российской Федерации обязательным требованиям
Изготовитель
FEI Ltd., Нидерланды,
Achtseweg Noord 5,
Bldg 5651 GG Eindhoven
Заявитель
Российский научный центр «Курчатовский институт»,
123182, г. Москва, пл. Академика Курчатова, д. 1.
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС», аттестат аккредитации № 30004-08
119361, Москва, Г-361, ул. Озерная, 46.
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.
«»_____________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 55222-13 | Микроанализатор рентгеновский с детектором в составе электронного микроскопа | Aztech Advanced Inca Energy 350 (микроанализатор) Х-max 80 (детектор) Mira 3 LMU (микроскоп) | Фирма "Oxford", Великобритания | 1 год | Перейти |
| 48388-11 | Микроскоп электронно-ионный растровый | Helios NanoLab 650 | Фирма "FEI Company", США | 1 год | Перейти |
| 41096-09 | Микроскоп измерительный металлургический | ML-7000 | Фирма "MEIJI TECHNO CO. Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 62122-15 | Микроскоп электронный сканирующий c системами для энергодисперсионного микроанализа и анализа обратно-рассеянных электронов | Verios 460 XНR SEM | Фирма "FEI Company", США | 1 год | Перейти |
| 20402-00 | Вычислитель расхода жидкости электронный | MC-RTU | Фирма "Halliburton", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений