Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700, ГРСИ 48390-11
Номер госреестра:
48390-11
Наименование СИ:
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией
Обозначение типа:
INCA WAVE 700
Производитель:
Фирма "Oxford Instruments Analytical Limited", Великобритания
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 2905R071102W
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44657
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700
Назначение средства измерений
Спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA WAVE 700 (далее – при-
бор) предназначен для измерений длины волны и относительной интенсивности рентгенов-
ского излучения в составе растровых электронных микроскопов и электроннозондовых мик-
роанализаторов.
Описание средства измерений
Принцип действия прибора основан на явлении дифракции рентгеновского излучения
на кристаллах-анализаторах. Конструкция прибора обеспечивает расположение на круге Ро-
уланда области возбуждения рентгеновского излучения электронным зондом с энергией элек-
тронов, достаточной для генерации характеристического рентгеновского излучения микро-
объема образца, кристалла-анализатора и детектора рентгеновского излучения. Кинематиче-
ский механизм прибора позволяет синхронно перемещать по кругу Роуланда кристалл - ана-
лизатор на угол Θ, а детектор – на угол 2Θ, чем обеспечивается непрерывное изменение угла
скольжения исследуемого излучения относительно кристалла-анализатора при условии равен-
ства углов скольжения падающего и дифрагированного пучка. Данная схема регистрировать
спектр рентгеновского излучения.
Прибор состоит из механического блока спектрометра, механического порта-
интерфейса для установки на растровый электронный микроскоп или электроннозондовый
микроанализатор, стойки управления спектрометром и управляющей ПЭВМ.
Рисунок1. Общий вид спектрометра рентгеновского с волновой
дисперсией INCA WAVE 700
Лист № 2
всего листов 4
Наименование
ПО
INCA_WAVE1.2
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляется с помощью внешней ПЭВМ с использованием
специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных измене-
ний соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
Идентификаци- Номер Цифровой идентифи- Алгоритм вычисле-
онное наимено- версии катор ПО (контроль-ния цифрового
вание ПОПОная сумма)идентификатора ПО
Программа управления C677C99F65772Е00Е
процессом измерений иB2C7BF90D28D7967
обработки результатов 64A8B7CD3F87FD2Е
измерений, версия 773D01AЕ9ЕЕ9Е98
ГОСТ Р 34.11-94
Метрологические и технические характеристики
от 0,08087 до 0,26306
от 0,11436 до 0,37202
от 0,24827 до 0,80765
от 0,7313 до 2,379
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве
кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (220), нм
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве
кристалла-анализатора монокристалла фторида лития LiF (200), нм
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве
кристалла-анализатора-монокристалла петаэритринола PET, нм
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве
кристалла-анализатора-монокристалла оксифталата таллия TAP, нм
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве
кристалла-анализатора-синтетического многослойного материала LSM-от 1,7 до 5,6
060, нм
Диапазон регистрируемых длин волн при использовании в качестве
кристалла-анализатора- синтетического многослойного материалаот 5,8 до 19
LSM-200, нм
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характе-
ристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокри-± 0,00014
сталле фторида лития LiF (220), нм
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характе-
ристического рентгеновского излучения для линии CuKa на монокри-± 0,00005
сталле фторида лития LiF (200), нм
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характе-
ристического рентгеновского излучения для линии TiKa монокристал-± 0,00043
ле пентаэритринола (PET), нм
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характе-
ристического рентгеновского излучения для линии AlKa на монокри-± 0,0013
сталле оксифталата таллия (TAP), нм
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характе-
ристического рентгеновского излучения для линии CKa на синтетиче-± 0,003
ском многослойном материале LSM-060, нм
Пределы допускаемой погрешности измерений длины волны характе-
ристического рентгеновского излучения для линии BKa на синтетиче-± 0,01
ском многослойном материале LSM-200, нм
Лист № 3
всего листов 4
400
315
500
350
70
30
от 16 до 23
от 16 до 23
от 85 до 110
Значение
Наименование характеристики
Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития
LiF (220), не менее
Отношение пик/фон для линии CuKa на монокристалле фторида лития
LiF (200), не менее
Отношение пик/фон для линии TiKa монокристалле пентаэритринола
PET, не менее
Отношение пик/фон для линии OKa на монокристалле оксифталата
таллия TAP, не менее
Отношение пик/фон для линии CKa на синтетическом многослойном
материале LSM-060, не менее
Отношение пик/фон для линии BKa на синтетическом многослойном
материале LSM-200, не менее
Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты
распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра
этого распределения для отпаянного пропорционального счетчика
(SPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), %
Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты
распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра
этого распределения для проточного пропорционального счетчика
(FPC), линия FeKa, кристалл-анализатор LiF (200), %
Диапазон значений отношения полной ширины на половине высоты
распределения амплитуды импульсов по энергии к положению центра
этого распределения для проточного пропорционального счетчика
(FPC), линия CKa, кристалл-анализатор LSM-060, %
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
о
С
- атмосферное давление, кПа
- относительная влажность воздуха %
- напряжение сети питания, В
- частота сети питания, Гц
20 ± 3
101 ± 1,4
70
220 ± 10
50 ± 1
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на ионную пушку прибора и титульный лист технической доку-
ментации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность средства измерений
В комплект прибора входят: спектрометр рентгеновский с волновой дисперсией INCA
WAVE 700, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-
изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 48390-11 «Спектрометр рентгеновский с волновой дис-
персией INCA WAVE 700 фирмы «Oxford Instruments Analytical Limited», Великобритания. Ме-
тодика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в октябре 2011г.
Средства поверки:
- комплект стандартных образцов для микроанализа SPI Standards for Microanalysis 44 Metals
02751-AB фирмы «SPI Supplies/Structure Probe, Inc.», США;
- комплект стандартных образцов для микроанализа 15 Rare Earth Phosphate Standard Mount
02759-AB фирмы «SPI Supplies / Structure Probe, Inc.», США.
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора», раздел 4.
Лист № 4
всего листов 4
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к масс-
спектрометру вторично-ионному микрозондовому IMS-4f
Техническое описание «INCA WAVE. Руководство оператора».
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Применяется вне trial государственного регулирования обеспечения единства из-
мерений.
Изготовитель
Фирма Oxford Instruments Analytical Limited, Великобритания,
Halifax Road, High Wycombe Bucks, HP 12 SE, United Kingdom.
Телефон: 44 (0) 1494 442255. Факс: 44 (0) 1494 461033. E-mail:
Заявитель
Федеральное государственное предприятие «Научно-исследовательский институт
физических проблем имени Ф.В.Лукина»
Адрес: 124460, Москва, г. Зеленоград, проезд 4806, д. 6
Телефон: (499) 731-13-06. Факс: (499) 731-55-92. E-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»_________2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 20199-00 | Спектрометр аэрозольный лазерный | ЛАС-007 | ФГУП "НИФХИ (физико-химический) им.Л.Я.Карпова", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 18994-99 | Масс-спектрометр с квадрупольным масс-селективным детектором | VG Scientific | Фирма "VG Scientific", Великобритания | 1 год | Перейти |
| 21425-01 | Спектрометр гамма- и нейтронного излучения | СГНИ-01 | НТЦ ЯФИ, г.С.-Петербург | 3 года | Перейти |
| 18274-99 | Спектрометр атомно-абсорбционный | GBC-932 AB | Фирма "GBC Scientific Equipment Pty Ltd.", Австралия | 1 год | Перейти |
| 48290-11 | Спектрометр энергодисперсионный | INCA Energy 250 | Фирма "Oxford Instruments", Великобритания | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений