Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
48389-11
Наименование СИ:
Микроскоп оптический
Обозначение типа:
AxioImager m2M
Производитель:
Фирма "Carl Zeiss MicroImaging GmbH", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 3532000161
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44656
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп оптический AxioImager m2M
Назначение средства измерений
Микроскоп оптический AxioImager m2M (далее - прибор) предназначен для измерений
линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.
Описание средства измерений
Принцип действия прибора основан на явлении преломления световых лучей системой
оптических элементов и построения увеличенного изображения системой объектив-окуляр.
Объект изучения помещается под объектив, где он освещается с помощью источника искусст-
венного светового потока и системы зеркал (конденсора). Основным элементом оптического
микроскопа в данном случае является оптическая система, нижней частью которой является
объектив, оснащенный системой оптических линз. Различная кратность микроскопа достига-
ется установкой объективов необходимого увеличения в рабочее положение с помощью, ре-
вольверного устройства, верхняя часть которого заканчивается специальной насадкой, позво-
ляющей вести изучение объекта как при помощи глаза, так и с помощью цифровой камеры,
подающей изображение на ПЭВМ.
Прибор состоит из основания с встроенными осветителями и кронштейном с предмет-
ным столиком, окуляров, револьверного устройства и набора объективов к нему, двух камер с
ПЗС-матрицей (верхняя и боковая), источников питания током осветителей и рабочего стола с
управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1. Общий вид микроскопа оптического AxioImager m2M
.
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней
ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных измене-
ний соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Лист № 2
всего листов 3
Наименование
ционное на-
ПОсумма)
ления цифрового
4.8.3
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
Идентифика-
Номер Цифровой идентифи-
Алгоритм вычис-
ПОи
м
ен
ов
а
ни
е
версии катор ПО (контрольная
и
де
нт
иф
и
к
атора
ПОПО
Программа управления 233D2490AD2CC70501
процессом измерений иCarl Zeiss5D2D1B1D9DЕ5F9BD
обработки результатов AxioVision F89AЕF2A7D439F7469
измерений 1ЕA63DFAFDCF
ГОСТ Р 34.11-94
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2.
Таблица 2.
Наименование характеристикиЗначение
Диапазон увеличений, кратот 50 до 1000
Максимальное разрешение, мкм0,3
Диапазон измерений линейных размеров, мкмот 0,1 до 200
Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров, мкм:
в диапазоне от 1 до 10± 0,1
в диапазоне от 10 до 200± 1
Размеры исследуемых объектов, мкмот 500 до 75000
Потребляемая мощность, Вт190
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды,
о
С22 ± 3
- атмосферное давление, мм рт. ст.от 730 до 800
- относительная влажность воздуха, %, не более70
- напряжение сети питания, В220 ± 10
- частота сети питания, Гц50 ± 1
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на основание прибора и титульный лист технической документа-
ции фирмы-изготовителя.
Комплектность средства измерений
В комплект прибора входят: микроскоп оптический AxioImager m2M, комплект ЗИП,
ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 48389-11 «Микроскоп оптический AxioImager m2M
фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия. Методика поверки», утвержденному руко-
водителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в сентябре 2011 г.
Средство поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фир-
мы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия», раздел 6.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
оптическому AxioImager m2M
Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фир-
мы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия».
Лист № 3
всего листов 3
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства из-
мерений.
Изготовитель
Фирма Carl Zeiss MicroImaging GmbH,
37030, г. Готтинген, Германия.
Заявитель
Федеральное государственное унитарное предприятие «Центральное научно-
исследовательский институт химии и механики» (ФГУП «ЦНИИХМ»)
Адрес: 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, д. 16а.
Телефон (495) 611-51-29. Факс (499) 782-23-21. E-mail:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»_________2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 48389-11 | Микроскоп оптический | AxioImager m2M | Фирма "Carl Zeiss MicroImaging GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 24299-03 | Рефлектометр оптический | CMA4000i | Фирма "NetTest (New York) Inc.", США | 1 год | Перейти |
| 25448-03 | Микроскоп измерительный | TM-500 | Фирма "Mitutoyo Corporation", Япония | 1 год | Перейти |
| 44976-10 | Микроскоп электронно-ионный растровый | Quanta 200 3D | Фирма "FEI Company", США | 1 год | Перейти |
| 25542-03 | Микроскоп | VIDEOMET-III | Фирма "K.Walter", Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений