Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200A, ГРСИ 48291-11
Номер госреестра:
48291-11
Наименование СИ:
Микроскоп конфокальный сканирующий
Обозначение типа:
VCM-200A
Производитель:
Фирма "Veeco Instruments", Великобритания
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 221040
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44510
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А
Назначение средства измерений
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А (далее микроскоп) предназначен
для измерения профиля поверхности различных отражающих поверхностей в лабораториях
научно-исследовательских институтов, оптическом приборостроении и производстве.
Описание средства измерений
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А представляет собой конфокаль-
ный микроскоп тандемного типа. Конфокальная микроскопия – вид оптической микроскопии,
в которой изображение объекта формируется послойно за счет сканирования и пространст-
венной фильтрации прошедшего, отраженного или испускаемого объектом излучения. Ис-
пользование пространственной фильтрации позволяет увеличить разрешающую способность
и контраст по сравнению с обычным световым микроскопом.
В составе микроскопа имеется конфокальный сканирующий модуль позволяющий пе-
реносить изображения точек образца находящихся в фокальной плоскости объектива, отсекая
паразитный сигнал от остальных точек образца. Таким образом изменяя расстояние от объек-
тива до образца производится получение различных сечений образца вдоль вертикальной оси
с последующим построением трехмерного изображения исследуемого объекта путем объеди-
нения полученных сечений.
Рис. 1 – Внешний вид микроскопа VCM-200А
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением VCM-200A версии v3.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм VCM-200A расположены в заранее скомпи-
лированных бинарных файлах, которые не могут быть модифицированы. VCM-200A задает
пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирова-
ние для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы
или редактировать отчеты.
Лист № 2
всего листов 3
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
НаименованиеИдентификаци-Номер версииЦифровой иден-Алгоритм вычис-
программного онное наименова-(идентификаци- тификатор про-ления цифрового
обеспечения ние программного онный номер) граммного идентификатора
обеспеченияпрограммногообеспеченияпрограммного
обеспечения (контрольная обеспечения
trial испол-
няемого кода)
VCM-200AD2263A1FCEF3
VCM-200AHypernated-v3E920E75652585MD5
System (R) HS200 C29911B
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечениямикроскопа соответствует уровню «С» по МИ
3286-2010.
Знак утверждения типа
наносится на корпус прибора методом наклейки.
Комплектность средства измерений
Наименование
Микроскоп конфокальный сканирующий VCM-200А
Цифровая ПЗС-камера Pixelink
Компьютер
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Кол-воПримечание
1 шт.
1 шт
2 шт
1 экз.
1 экз
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48291-11 «Микроскоп конфо-
кальный сканирующий VCM 200A. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ
СИ ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенной в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: Мера ширины и периода МШПС-2.0К 7, Период шаго-
вой структуры: 2000±10 нм.
.
Метрологические и технические характеристики
Наименование параметраЗначение параметра
Линейное поле зрения в плоскости X и Y , мкмОбъектив 10х
Объектив 20х
Объектив 50х
Объектив 100х
773х587
336х292
146х117
72х58
Диапазон измерений по оси Z, мкм
Свыше 0 до 6
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерений линейныхразмеров по осям X и Y, мкм
±0,2
±0,07
Пределы допускаемой абсолютной погрешности
измерений линейныхразмеров по оси Z , мкм
Масса, кг
Питание, В
50
240 ± 5
Лист № 3
всего листов 3
Сведения о методиках (методах) измерений
Метод измерений изложен в документе «Микроскоп конфокальный сканирующийVCM-
200А. Руководство по эксплуатации» в разделе 2.4.
Нормативные и технические документы
1. ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений па-
раметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025…3000 мкм.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений:
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям
Нью-Йорк
(516)
11803
677-0200
Изготовитель
Фирма «Veeco Instruments», США
Плейнвью,
Телефон:
Факс: (516) 714-1200
Заявитель
ФГУП «ВНИИОФИ», г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46, Тел./факс:
(495) 495) 437 56 33/ 437 31 47.
адрес в Интернет:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»,
г.Москва
Аттестат аккредитации (Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008г).
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
«____»___________2011 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 35809-07 | Микроскоп с измерительной насадкой | Нет данных | ЗАО "Экран ФЭП", г.Новосибирск | 1 год | Перейти |
| 41096-09 | Микроскоп измерительный металлургический | ML-7000 | Фирма "MEIJI TECHNO CO. Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 78941-20 | Микроскоп электронно-ионный растровый | Scios | Фирма "FEI Ltd.", США | 1 год | Перейти |
| 41749-09 | Микроскоп сканирующий электронный | NanoSEM-3D | Фирма "Applied Materials, Inc.", США | 2 года | Перейти |
| 81568-21 | Микроскоп измерительный металлургический | ML-7000 | Фирма "MEIJI TECHNO CO., Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений