Приложение к свидетельству № 44508
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300
Назначение средства измерений
Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300 (далее микроскоп) предназначен для из-
меренийгеометрических параметров рельефа поверхности в лабораториях научно-
исследовательских институтов, оптическом приборостроении.
Описание средства измерений
Принцип работы микроскопа ближнепольного WITec alpha 300 заключается в сканиро-
вании поверхности образца источником оптического излучения с размерами, много меньши-
ми длины волны света, который находится на малом расстоянии от поверхности (в ближнем
поле излучения). Это позволяет преодолевать дифракционный предел, т.к. в данном случае
разрешение уже не зависит от длины волны.
Луч лазера через согласующий элемент попадает в полый кантилевер, на острие кото-
рого находится отверстие, служащее диафрагмой и имеющее размеры менее длины волны
света. Взаимное перемещение острия и образца в трех измерениях x, y, z осуществляется с
помощью пьезодвижителей. Прошедшие через образец или отраженные и рассеян-
ные фотоны улавливаются одним из микрообъективов и направляются в фотоумножитель. В
микроскопе ближнепольном WITec alpha 300 имеются вспомогательные узлы, позволяющие
осуществлять также функции сканирующего туннельного или атомно-силового микроскопов.
Благодаря этому, запись изображения осуществляется одновременно по двум каналам, один
из которых воспроизводит рельеф поверхности, а другой - локальное распределе-
ние показателя преломления в тончайшем приповерхностном слое. Возможность различения
оптического и топографического контрастов существенно упрощает интерпретацию изобра-
жения.
Рисунок 1 – Общий вид микроскопа ближнепольного WITec alpha 300
Программное обеспечение
Микроскоп оснащен программным обеспечением WITec Control версии v1.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм WITec Control расположены в заранее ском-
пилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы. WITec Control задает
пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирова-
Лист № 2
всего листов 3
ние для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы
или редактировать отчеты.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
НаименованиеИдентификацион-Номер версииЦифровой иденти-Алгоритм вы-
программногоное наименование(идентифика- фикатор программ- числения цифро-
обеспечения программногоционный но- ного обеспечения вого идентифи-
обеспечениямер) про-(контрольная суммакатора про-
граммногоисполняемого кода) граммного обес-
обеспечения печения
WITec ControlWITec Control.exe08ACE575F265BC6
v1FBAFD50E100AE60MD5
70
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Защита программного обеспечениямикроскопа соответствует уровню «С» по МИ
3286-2010.
±0,06
±0,035
65
Значение параметра
75х75
свыше 0 до 6
240 ±5
21 ±3
Метрологические и технические характеристики
Наименование параметра
Линейное поле зрения в плоскости XY, мкм
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм
СКО случайной составляющей погрешности измерений ли-
нейных размеров по осям X и Y, мкм
СКО случайной составляющей погрешности измерений ли-
нейных размеров по оси Z, мкм
Питание, В
Температура окружающего воздуха,
о
С
Относительная влажность воздуха (без конденсации), %,
не более
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации и на кор-
пус прибора методом наклеивания.
2 шт
Кол-во
1 шт.
3 шт
Комплектность средства измерений
Наименование
Микроскоп ближнепольный WITec alpha 300
ПЗС камеры
Лазеры возбуждающего излучения (возбуждающие ла-
зеры)
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
1 экз.
1 экз.
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48289-11 «Микроскоп ближне-
польный WITec alpha 300. Методика поверки», разработанным и утвержденным ГЦИ СИ
ФГУП «ВНИИМС» в сентябре 2011 г. и включенным в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: мера периода и высоты линейнаяTGQ1 (ГР
№41680-09, период шаговой структуры: 3000±10 нм, высота профиля меры: 20±2 нм), мера
периода и высоты линейная TGZ1, TGZ2, TGZ3 (ГР №41678-09, высоты выступов в шаговых
структурах TGZ1 - 20±2 нм, TGZ2 - 110±10 нм, TGZ3 - 520±20 нм).
Лист № 3
всего листов 3
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в документе «Микроскоп ближнепольный WITec alpha
300. Руководство по эксплуатации»
Нормативные и технические документы
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений па-
раметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025…3000 мкм.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений:
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям.
Изготовитель
Фирма WITec GbmH, Германия
Цинглерштрассе 70
89077 Ульм
Тел.: +49 731 - 3788 0070
Факс: +49 731 - 3788 0079
Заявитель
ФГУП «ВНИИОФИ», г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46, Тел./факс:
(495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»,
г. Москва
Аттестат аккредитации (Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008г).
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
«____»___________2011 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
