Приложение к свидетельству № 44502
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Интерферометр фотоэлектрический «Физо»
Назначение средства измерений
Интерферометр фотоэлектрический «Физо» (далее прибор) предназначен для измерений
отклонений от плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институ-
тах, оптическом приборостроении.
Описание средства измерений
Принципдействияприбораоснованнаявленииинтерференции.Пучок
электромагнитного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разде-
ляется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок обра-
зуется после отражения от эталонной поверхности, второй – после прохождения через кон-
тролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости матричного приемника создается интерферен-
ционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Для
автоматизации измерений на интерферометре фотоэлектрическом «Физо» используется спе-
циальный электронный блок управления, в котором реализован метод фазовых шагов для ав-
томатической расшифровки интерферограмм. Анализ интерференционных картин и опреде-
ление на его основе параметров формы контролируемой поверхности или отраженного от нее
волнового фронта выполняется по специальной программе с помощью ПК.
Рис. 1 – Внешний вид интерферометра фотоэлектрического «Физо»
Программное обеспечение
Прибор оснащен программным обеспечением WinPhast версии v1.
Весь исходный код и вычислительный алгоритм WinPhast расположены в заранее
скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы. WinPhast задает
пользовательские уровни. Пользователи административного уровня блокируют редактирова-
ние для пользователей низших уровней и не позволяют удалять, создавать новые элементы
или редактировать отчеты.
Лист № 2
всего листов 3
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице
НаименованиеИдентификаци- Номер версииЦифровой иденти- Алгоритм вычис-
программногоонное наимено- (идентификацион- фикатор про-ления цифрового
обеспечения вание программ- ный номер) про-граммного обеспе- идентификатора
ного обеспечения граммного обеспе- чения (защитныйпрограммного
ченияключ-заглушка) обеспечения
WinPhastWinPhast.exev1.6C8EF280CRC32
Программное обеспечение и его окружение являются неизменными. Средства для про-
граммирования отсутствуют. Операционная система, имеющая оболочку, доступную пользо-
вателю, отсутствует.
Уровень защиты программного обеспечения прибора оценивается как «С» согласно
МИ 3286-2010.
от 100 до 300
0,658
l
/120
0,1
Метрологические и технические характеристики
Диапазон измеряемых диаметров, мм
Trial волны излучения лазера
l
, мкм
СКО случайной составляющей погрешности измерений отклонений от пло-
скостности, не более
Относительное СКО случайной составляющей погрешности измерений от-
клонений от плоскостности, не более, %
Диапазон рабочих температур,
°
С
Относительная влажность воздуха, %, не более
20 ±3
65
Знак утверждения типа
наносится методом наклейки на корпус прибора.
Комплектность средства измерений
Наименование
Интерферометр фотоэлектрический «Физо»
Программное обеспечение для обработки интерферограмм
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Кол-воПримечание
1 шт.
1 шт
1 экз.
1 экз
Поверка
осуществляется в соответствии с документом по поверке МП 48285-11 «Интерферометр фото-
электрический «Физо». Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в
сентябре 2011 г. и включенным в комплект поставки.
Основное поверочное оборудование: эталонная мера плоскостности в составе ГЭТ 183-
2010.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в документе ИФМФШ.2011.001 П «Интерферометр фо-
тоэлектрический «Физо». Паспорт».
Нормативные и технические документы
Техническая документация фирмы-производителя.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений:
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений.
Лист № 3
всего листов 3
Изготовитель
ФГУП «НПО «Оптика» , 127055 г. Москва, ул. Новослободская д. 37
ФГУП «ВНИИОФИ» г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46, Тел./факс:
(495) 437-56-33/ 437 31 47.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Заявитель
ФГУП «ВНИИМС», г. Москва, Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46, Тел./факс:
(495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»,
г.Москва
Аттестат аккредитации (Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008г).
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
м.п.«_____» ____________ 2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
