Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di, ГРСИ 48284-11
Номер госреестра:
48284-11
Наименование СИ:
Микроскоп сканирующий зондовый
Обозначение типа:
НаноСкан-3Di
Производитель:
ФГУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов", г.Троицк
Межповерочный интервал:
2 года
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
зав.№ 1
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44501
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан – 3Di
Назначение средства измерений
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di предназначен для измерений гео-
метрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным раз-
решением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических
параметров в нанометровом диапазоне.
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-3Di применяется при проведении фун-
даментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
Описание средства измерений
Действие сканирующего зондового микроскопа НаноСкан-3Di основано на принципе
сканирования исследуемой поверхности зондом, регистрации параметров взаимодействия
зонда с поверхностью и восстановлении по результатам регистрации геометрии поверхности
образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств, создании
микрорельефа на поверхности исследуемого материала.
Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-3Di представляет собой стационарную
автоматизированную измерительную систему и состоит из рамы, измерительной головки,
управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, гетеродинного интерферометра и
персонального компьютера. В сканирующем зондовом микроскопе НаноСкан-3Di реализован
следующий режим сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управ-
ления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой
соответственно.
Рисунок 1 – Общий вид Микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Di
Лист № 2
всего листов 3
Программное обеспечение
ПО предназначено для обработки данных о перемещениях пьезостолика, полученных
с емкостного и интерференционного датчиков и последующего восстановления профилей ис-
следуемых поверхностей. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей програм-
мы NSDevCtrl.exe, служебных файлов NSMover.dll, NSDevComm.dll, Motor_vc.dll, index.ini,
DeviceSetup.ini, MoverSetup.ini, Signals.ini, Variables.ini и ViewerSetup.ini обеспечивающих
управление прибором, хранение настроек и обработку результатов. ПО работает под управ-
лением операционной системы Windows ХР.
Наименование
программного
обеспечения
Идентификационное
наименование
Программного
обеспечения
NanoScan Device
NSDevCtrl.exe
Номер версии
(идентификаци-
онный номер)
программного
обеспечения
1.0
Цифровой иденти-
фикатор программ-
ного обеспечения
(контрольная сумма
исполняемого кода)
CC88E236
Алгоритм вы-
числения
идентификатор
программного
обеспечения
CRC32
Идентификация ПО: осуществляется проверкой соответствия серийных номеров ап-
паратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на
персональный компьютер, при включении прибора.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты
от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: С.
Метрологические и технические характеристики
Значение
500х500х50 мкм
3 нм
0,2 нм
± 0,1%
Наименование характеристики
Диапазон сканирования
Разрешение при сканировании в плоскости
XY
Разрешение при сканировании по оси Z
Погрешность измерения линейных размеров
в плоскости XY (не хуже)
Погрешность измерения линейных размеров
по оси Z (не хуже):
± 0,1%
Знак утверждения типа
наносится и на раму прибора методом наклейки.
1
Микроскоп сканирующий зондовый «НаноСкан-3Di»
1
6
1
8
Набор рельефных мер типа TGZ (01,02)
1
Комплектность средства измерений
№ п/пНаименование комплектующей части поставкиКоличество
2
3
4
5
1
1
1
2
7
Гетеродинный интерферометр
Плата управляющей электроники
Соединительные кабели
Сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами
Программное обеспечение для управления прибором и об-
работки данных
Руководство по эксплуатации
1
Лист № 3
всего листов 3
Поверка
осуществляется в соответствии с документом МП 48284-11 «Микроскоп сканирующий зон-
довый НаноСкан-3Di. Методика поверки», утвержденной ВНИИМС в сентябре 2011 года и
входящей в комплект документации к прибору.
Основные средства поверки: рельефные меры TGZ01, (высота ступеньки 18,4 ± 1,0 нм,
период 3000,07±0,18 нм), TGZ02 (высота ступеньки 101,1 ± 1,6 нм период 3000,07±0,18 нм).
Сведения о методиках (методах) измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскоп сканирующий зондовый На-
ноСкан-3Di. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам
ГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений па-
раметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025…3000 мкм
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Вне сферы государственного регулирования
Изготовитель
ФГУ «Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов»,
Адрес: 142190 Московская область, город Троицк, улица Центральная, дом 7а, телефон:
8(499)2722314, эл. почта:
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС»,
г.Москва
Аттестат аккредитации (Госреестр № 30004-08 от 27.06.2008г).
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495) 437-55-77 / 437-56-66.
E-mail:
, адрес в Интернет:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»___________2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 52315-12 | Микроскоп электронный просвечивающий | JEM 200CX | Фирма "JEOL Ltd.", Япония | 1 год | Перейти |
| 69049-17 | Микроскоп электронный просвечивающий | TITAN 80-300 | Фирма "FEI Ltd.", США | 1 год | Перейти |
| 46349-10 | Микроскоп сканирующий зондовый | MultiMode V | Фирма "VEECO", США | 1 год | Перейти |
| 45021-10 | Микроскоп атомно-силовой | Innova | Фирма "Veeco Instruments Inc.", США | 1 год | Перейти |
| 35858-07 | Микроскоп исследовательский для тестирования материалов | Leica DM IRM | Фирма "Leica Microsystems Wetzlar GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений