Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д, ГРСИ 48172-11
Номер госреестра:
48172-11
Наименование СИ:
Микроскопы интерференционные автоматизированные
Обозначение типа:
МИА-Д
Производитель:
ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
на 20 шт. с зав.№ 001 … 020
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44402
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д
Назначение средства измерений
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-Д (далее – микроско-
пы) предназначены для измерений высоты профиля поверхности отражающего динамическо-
го объекта в микро- и нанодиапазоне.
Рисунок 1 – Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-Д
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры,
управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО
запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного излу-
чения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой мик-
роскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра
Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод
дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэле-
менте (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференцион-
ные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроен-
ной цифровой скоростной видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный
компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки
восстанавливается оптическая разность хода, на основе которой получаются данные о высоте
профиля поверхности. Микроскоп позволяет измерять параметры высоты профиля поверхно-
сти изменяющихся во времени (динамических) объектов с частотой 50Гц в диапазоне от 0,03
до 3мкм в латеральной плоскости и от от
l
/350 до
l
/4 по высоте. Результаты измерений в ви-де
двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и
текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управ-
ления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой
соответственно.
Лист № 2
всего листов 3
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управ-
ление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением
операционной системы Windows ХР.
Наименование
программного
обеспечения
Идентификационное
наименование
Программного
обеспечения
WinPhast
WinPhast.exe
Номер версии
(идентификаци-
онный номер)
программного
обеспечения
1.0
Цифровой иденти-
фикатор программ-
ного обеспечения
(контрольная сумма
исполняемого кода)
F554EB8D
Алгоритм вы-
числения
идентификатор
программного
обеспечения
CRC32
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты
от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ
3286-2010.
180
´
135
от 0,03 до 3
от
l
/350 до
l
/4
±
0,5
50
Метрологические и технические характеристики
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Диапазон измерения высоты профиля поверхности:
- для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10
°
, мкм
- для ступенек, в долях длины волны
l
не более
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных раз-
меров в плоскости XY, мкм
Предел частоты измерения, при которой допускаемая абсолютная погрешность
измерения высоты профиля поверхности составляет не более
l
/350, Гц
Источник излучения
Длина волны излучения, мкм
лазеры
0,473
0,532
0,650
50
±
1
220
±
22
250
340
´
370
´
380
30
Частота сети питания, Гц
Напряжение в сети питания, В
Потребляемая мощность, Вт, не более
Габаритные размеры (без предметного стола), мм
Масса, кг
Условия эксплуатации
– температура окружающей среды, ºС
– относительная влажность воздуха, не более, %
– атмосферное давление, кПа
20
±
0.5
60 (при 20º С)
от 84 до 106,7
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на кор-
пус прибора методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
1. Микроскоп МИА-Д1 шт.
2. Плата ввода изображения1 шт.
3. Блок освещения и управления1 шт.
4. Волоконно-оптический жгут1 шт.
5. ПЭВМ1 шт.
6. Программное обеспечение WinPhast1 шт.
Лист № 3
всего листов 3
7. Кабели
8. Руководство по эксплуатации
5 шт.
1 шт.
Поверка
осуществляется по документу МП 48172-11 «Микроскопы интерференционные автоматизи-
рованные МИА-Д. Методика поверки».
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО
(ГОСТ 7513-55), осциллограф цифровой Tektronix TDS 2012B (номер в госреестре 32618-06).
Сведения о методиках (методах) измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные ав-
томатизированные МИА-Д. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам интерферен-
ционным автоматизированным МИА-Д
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений па-
раметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025…3000 мкм».
МИ 2090-90. «Определение динамических характеристик линейных аналоговых
средств измерений с сосредоточенными параметрами. Общие положения».
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям
Изготовитель
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная д.46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47.
E-mail:
,
.
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений федерального государственного
унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метро-
логической службы» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС»), аттестат аккредитации государст-
венного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств из-
мерений № 30004-08 от 27.06.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-55-77; факс: (495) 437-56-66
E-mail:
,
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»___________2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 57986-14 | Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электроэнергии (АИИС КУЭ) ООО "НижегородЭнергоТрейд" (ЗАО ССК "Чебоксарский", ОАО "Завод Чувашкабель") | Нет данных | ООО "Автоматизированные системы в энергетике", г.Владимир | 4 года | Перейти |
| 22498-02 | Система измерительная контроля количества нефти | СИКН \"Геолог | ООО ОКБ "Автоматизированные системы и приборы", г.Рязань | 5 лет | Перейти |
| 75382-19 | Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электрической энергии (АИИС КУЭ) ООО "Энергопрогноз" (АО "Кировские коммунальные системы") | Нет данных | ООО "Автоматизированные системы в энергетике", г.Владимир | 4 года | Перейти |
| 12608-90 | Комплексы автоматизированные анализа электрокардиосигналов | АКА ЭКС-01 | ГП "Минский завод "Калибр", Беларусь, г.Минск | 1 год | Перейти |
| 9759-84 | Компараторы фазовые автоматизированные образцовые | Ч7-42, (ИВС-РМ) | П/я В-8582, Украина | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений