Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М, ГРСИ 48171-11
Номер госреестра:
48171-11
Наименование СИ:
Микроскопы интерференционные автоматизированные
Обозначение типа:
МИА-1М
Производитель:
ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
на 20 шт. с зав.№ 001 … 020
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44401
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М
Назначение средства измерений
Микроскопы интерференционные автоматизированные МИА-1М (далее – микроско-
пы) предназначены для измерения высоты профиля поверхности отражающих объектов в
микро- и нанодиапазоне.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на интерференции световых пучков лазерного
излучения, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Основой
микроскопа является микроинтерферометр МИИ-4М, построенный по схеме интерферометра
Линника. Для расширения диапазона и повышения точности измерений реализован метод
дискретного фазового сдвига при помощи управляемого от компьютера зеркала на пьезоэле-
менте (пьезозеркала), встроенного в опорное плечо микроинтерферометра. Интерференцион-
ные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроен-
ной цифровой видеокамеры, оцифровываются и передаются в персональный компьютер
(ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанав-
ливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков се-
чений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управ-
ления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой
соответственно.
Рисунок 1 – Общий вид Микроскопа интерференционного автоматизированного МИА-1М
Программное обеспечение
ПО предназначено для управления захватом изображений с помощью видеокамеры,
управления платой сдвига опорного зеркала и обработки записанных интерферограмм. ПО
запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы WinPhast.exe, служебных
Лист № 2
всего листов 3
файлов fftw3.dll, tpmath.dll, vslib3.dll, template.doc, phast.ini, giveio.sys, обеспечивающих управ-
ление камерой, управление LPT-портом, настройки, расчеты. ПО работает под управлением
операционной системы Windows ХР.
Наименование
программного
обеспечения
Идентификационное
наименование Про-
граммного обеспе-
чения
WinPhast
WinPhast.exe
Номер версии
(идентификаци-
онный номер)
программного
обеспечения
1.0
Цифровой иденти-
фикатор программ-
ного обеспечения
(контрольная сумма
исполняемого кода)
F554EB8D
Алгоритм вы-
числения
идентификатор
программного
обеспечения
CRC32
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования
или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты
от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» согласно МИ
3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица 1
Значение
175
´
130
от 0,03 до 3
от
l
/350 до
l
/4
±
l
/350
± 0,4
Наименование характеристики прибора
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм
Диапазон измерения высоты профиля поверхности:
- для профиля с наклоном относительно горизонтали не более 10
°
, мкм
- для ступенек, в долях длины волны
l
не более
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных
размеров по оси Z, мкм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных
размеров в плоскости XY, мкм
Числовая апертура микрообъектива
Источник излучения
- длина волны, мкм
- мощность, мВт
Частота сети питания, Гц
Напряжение в сети питания, В
Потребляемая мощность, не более Вт
Габаритные размеры, мм, не более
Масса, кг, не более
0,65
твердотельный лазер
0,473
20
50
±
1
220
±
22
250
340 × 370 × 380
30
Знак утверждения типа
наносится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на кор-
пус прибора методом наклеивания.
Комплектность средства измерений
1. Микроскоп МИА-1М1 шт.
2. Осветительный блок1 шт.
3. Волоконно-оптический жгут1 шт.
4. Компьютер1 шт.
5. Программное обеспечение WinPhast1 шт.
6. Соединительные кабели2 шт.
7. Руководство по эксплуатации1 шт.
Лист № 3
всего листов 3
Поверка
осуществляется по документу МП 48171-11 «Микроскопы интерференционные автоматизи-
рованные МИА-1М. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в мае
2011 г.
Основные средства поверки: ВЭТ 113-2-09 (ГОСТ 8.296-78); объект-микрометр ОМО
(ГОСТ 7513-55).
Межповерочный интервал – 1год.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскопы интерференционные ав-
томатизированные МИА-1М. Руководство по эксплуатации».
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопам интерферен-
ционным автоматизированным МИА-1М
ГОСТ 8.296-78. «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений па-
раметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025…3000 мкм»
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям
Изготовитель
Федеральноегосударственноеунитарноепредприятие«Всероссийскийнаучно-
исследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная д.46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47.
E-mail:
,
.
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений федерального государственного
унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт метроло-
гической службы» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС»), аттестат аккредитации государствен-
ного центра испытаний (испытательной, измерительной лаборатории) средств измере-
ний № 30004-08 от 27.06.2008 г.
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-55-77; факс: (495) 437-56-66
E-mail:
,
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»___________2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 14712-99 | Системы коммерческого учета электроэнергии автоматизированные | АСКУЭ-С | АО ЦДУ ЕЭС РФ, г.Москва | 3 года | Перейти |
| 79438-20 | Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электрической энергии (АИИС КУЭ) ООО "Энергопрогноз" по объектам ООО "Горводоканал" (г. Пенза) | Общество с ограниченной ответственностью "Автоматизированные системы в энергетике" (ООО "АСЭ"), г. Владимир | 4 года | Перейти | |
| 19047-99 | Системы автоматизированные контроля, учета и управления электроэнергии | МикроСКАДА | ООО "АББ Реле-Чебоксары", г.Чебоксары | 6 лет | Перейти |
| 46371-11 | Системы термолюминесцентные дозиметрические автоматизированные | Harshaw мод. 6600, 6600 LITE, 6600 PLUS | Фирма "Thermo Fisher Scientific", США | 2 года | Перейти |
| 17564-09 | Системы коммерческого учета энергопотребления автоматизированные | SEP2 | Фирма "Iskraemeco", Словения | 4 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений