Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Спектрометры микрорентгенофлуоресцентные M4 TORNADO, ГРСИ 48163-11
Номер госреестра:
48163-11
Наименование СИ:
Спектрометры микрорентгенофлуоресцентные
Обозначение типа:
M4 TORNADO
Производитель:
Фирма "Bruker Nano GmbH", Германия
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
31.08.2021
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44359
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 5
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Спектрометры микрорентгенофлуоресцентные M4 TORNADO
Назначение средства измерений
Спектрометры микрорентгенофлуоресцентные M4 TORNADO предназначены для ло-
кального элементный микроанализ состава различных объектов: микроэлектронных плат,
произведений искусства, ювелирных изделий, покрытий, пород, почв, порошков, металлов и
сплавов, биологических объектов и т.д.
Описание средства измерений
Спектрометр микрорентгенофлуоресцентный M4 TORNADO представляет собой
стационарный многоцелевой, автоматизированный прибор, обеспечивающий измерение, об-
работку и регистрацию выходной информации.
Спектрометр состоит из непосредственно самого спектрометра в котором размещаются:
перемещающийся по трем координатам (X,Y,Z) столик, рентгеновская трубка, SDD детектор,
рентгеновская оптика, видеокамера, датчик предотвращений столкновения; электронный
блок и отдельно установленные - вакуумный насос и компьютер (рисунок 1).
Исследуемый объект облучается в зависимости от использованной рентгеновской опти-
ки коллимируемым рентгеновским лучом от 25 до 1000 мкм. Это высокоэнергетическое излу-
чение возбуждает специфическое для элемента рентгеновское флуоресцентное излучение в
пробе. Интенсивность излучения, регистрируемая детектором - это мера количества соответ-
ствующего элемента в пробе.
Охлаждаемый полупроводниковый детектор принимает это характерное рентгеновское
излучение и превращает его в импульсы тока, которые усиливаются в предварительном усили-
теле и оцифровываются. Цифровые сигналы передаются из процессора обработки сигналов че-
рез последовательный интерфейс на компьютер измерительной системы и запоминаются в
нем.
На мониторе компьютера измерительной системы поставляемые детектором последова-
тельности импульсов представляются спектру в зависимости энергия-интенсивность. Про-
грамма рассчитывает с учетом энергии возбуждения, эффективности детектора и спектрально-
го распределения интенсивности линий спектра флуоресценции относительный состав элемен-
тов пробы.
С помощью трех-координатной системы управления столик образца может позициониро-
ваться. Программа позволяет проводить измерения вдоль заданной линии (линейное сканиро-
вание) или по поверхности (картирование) с отображением качественно и количественно эле-
ментного состава выбранных элементов.
Рисунок 1 - Общий вид спектрометра микрорентгенофлуоресцентного M4 TORNADO
Лист № 2
всего листов 5
Спектрометр M4 TORNADO оснащен микрофокусирующей трубкой с коллимирующей
оптической системой. В зависимости от типоразмера коллиматора рентгеновский луч на пробе
имеет диаметр между 25 мкм и 1000 мкм.
В спектрометре может быть установлена дополнительная вторая рентгеновская трубка из
следующих материалов: молибден, медь, серебро, вольфрам.
В спектрометре может быть установлен дополнительный второй детектор, он полностью
аналогичен основному детектору. Дополнительный детектор устанавливают для увеличения
скорости счета.
Испускаемое пробой характерное рентгеновское излучение попадает в полупроводнико-
вый детектор, который работает по принципу дрейфовой камеры (SDD).
В активном объеме детектора каждый квант рентгеновского луча производит облако но-
сителя заряда, которое направляется внутренним полем высокого напряжения в электрод и
производит там импульс заряда.
Пространство между поверхностью пробы и бериллиевым входным окном детектора мо-
жет откачиваться с помощью вакуумного насоса. Тем самым поглощение флуоресцентного
рентгеновского излучения с малой энергией сильно сокращается в проходе для лучей детекти-
рования. Чувствительность анализа для элементов от Na до Cl может быть отчетливо повыше-
на этим мероприятием.
Применение прибора для количественного элементного анализа состава веществ в сфере
государственного регулирования обеспечения единства измерений допускается только по ме-
тодикам выполнения измерений, аттестованным в установленном порядке.
Защита прибора от несанкционированного вскрытия обеспечивается с помощью специ-
альных винтов фиксирующих заднюю съемную панель. Инструмент для съема винтов нахо-
дится только у сертифицированных инженеров (инженеров компании производителя и инже-
неров официального представительства компании производителя).
Рисунок 2 - Изображение специальных защитных винтов на задней панели прибора.
Программное обеспечение
Для спектрометров микрорентгенофлуоросцентных M4 TORNADO используется программ-
ное обеспечение M4 TORNADO. Данное программное обеспечении имеет следующие воз-
можности:
- установка условий измерения: параметров рентгеновской трубки, времени измерения и т.д.
- установка режимов измерения: измерение в точке, в нескольких точках, измерение
суммарного спектра по геометрической области (круг, эллипс, прямоугольник). Измерение по
линии, картирование с накоплением полного спектра в каждой точке.
- отображение и обработка спектров. Включает автоматическую и ручную идентифика-
цию спектров; автоопределение пиков, разрешение пиков, масштабирование, сложение спек-
тров. В том числе наложение более 20 спектров, выделение пиков элементов и т.д.
- количественный элементный анализ без использования стандартных образцов. Вклю-
чает не только анализ по отдельным элементам, но и по заданным соединениям.
- дополнительные возможности: получение одно-элементной или многоэлементной кар-
ты распределения по выбранным пользователем элементам; получение цветокодированной
карты концентраций для одного элемента; получение цветокодированной карты концентраций
Лист № 3
всего листов 5
для нескольких элементов; получение троичной диаграммы; получение цветокодированного
распределения по фазам
- редактор отчетов – формирование отчетов о проделанных измерениях, включая спек-
тры анализируемых образцов (с выделением областей интереса), рассчитанные концентрации,
рассчитанные погрешности определения концентраций.
Для определения содержания элементов в анализируемом образце оператор должен ис-
пользовать следующую последовательность действий: позиционирование образца (с визуаль-
ным наблюдением через видеокамеру общего вида, с 10 и 100 кратным увеличением), выбор
места измерения (в точке, в нескольких точках, по линии, по прямоугольной области), изме-
рение, количественный анализ на основе полученного спектра.
Наименование Идентификационное Номер версии (иден- Цифровой Алгоритм вы-
программного наименование про- тификационный но- идентификатор числения циф-
обеспеченияграммного обеспе-мер) программногопрограммногорового иденти-
чения продукта продукта фикатора
M 4 TOR-M 4 TORNADO1.043ADBA11CRC32
NADO
Влияние встроенного программного обеспечения спектрометра микрорентгенофлуо-
ресцентного M4 TORNADO учтено при нормировании метрологических характеристик.
Спектрометры микрорентгенофлуоресцентные M4 TORNADO имеет защиту про-
граммного обеспечения от преднамеренных или непреднамеренных изменений. Уровень за-
щиты «С» по МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики
Основные характеристики спектрометров микрорентгенофлуоросцентных M4 TORNADO
с допускаемыми отклонениями приведены в таблице 1.
Значение
от Na (11) до U (92)
твердые, жидкие
от 20 млн
-1
до 100%
30
0,5
0,1
1,20
145 +/-5%
Таблица 1
Параметр
Диапазон определяемых элементов
Исследуемые образцы
Диапазон измерений (предел обнаружения)
Пределы допускаемой относительной погрешности, % отн., в диапазо-
не, (время измерения 60 с), в диапазоне:
- менее 2%
- от 2 до 40%
- от 40 до 100%
Нестабильность показаний за 48 ч, %
Энергетическое разрешение (приведенное к K-alpha линии Мn (5,9
КэВ), эВ, при скорости счета 1000 имп/с,
Рентгеновская трубка
50 кВ, 600 мкА
30 Вт
SDD
25-1000
300 000
30
220 (+10/-15) %
15
Детектор
Диаметр коллиматора, мкм
Максимальная скорость счета, имп/с, не менее
Активная область измеряющего элемента, мм
2
Напряжение питания переменного тока частотой (50±1) Гц, В
Время подготовки к работе, мин
Потребляемая мощность, В·А
Спектрометр
Вакуумный насос
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм (без вакуумного насоса и компьютера)
Масса, кг (без вакуумного насоса и компьютера)
500
500
815 x 680 x 580
130
Лист № 4
всего листов 5
Условия эксплуатации:
- диапазон температуры окружающего воздуха,
о
С
- оптимальный диапазон,
о
С
17-33
22-28
20-80
84-106,7
5-40
минус 15 – 60
5-85
- диапазон относительной влажности окружающего воздуха, %, при
t=25 °C
- диапазон атмосферного давления. кПа
Условия хранения и транспортирования
- диапазон температуры окружающего воздуха при , хранении,
о
С
-
диапазон температуры окружающего воздуха при транспортировании,
о
С
- диапазон относительной влажности окружающего воздуха, %, при
t=25 °C
Срок службы, лет
- рентгеновская трубка
- высоковольтный генератор
- детектор
- электроника
5
10
3
7
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится с помощью компьютерной графики на титульный лист Ру-
ководства по эксплуатации и на корпус прибора в виде наклейки.
Комплектность средства измерений
Микрорентгенофлуоресцентный спектрометр M4 TORNADO, включает в себя:
- рентгеновский генератор;
- рентгеновскую трубку;
- управляющую электронику;
- SDD детектор;
- видеокамеру;
- X-Y-Z столик образца;
Набор стандартных образцов
Соединительные кабели
Вакуумный насос
Компьютер
- системный блок
- монитор
Пакет программного обеспечения
Комплект запасных частей
Руководство по эксплуатации
Методика поверки
Поверка
осуществляется по документу МП 48163-11 «Спектрометры микрорентгенофлуоросцентные
M4 TORNADO фирмы «Bruker Nano GmbH», Германия. Методика поверки», утвержденному
ГЦИ СИ ОАО ФНТЦ «Инверсия» в июне 2011 г. Основные средства поверки стандартные об-
разцы: ГСО 8876-2007, ГСО 9463-2009, ГСО 6500-92, ГСО 2947-90П … 2951-90П, ГСО 3038-
93П … 3046-93П.
Сведения о методиках (методах) измерений
Методики измерений приведены в Руководстве по эксплуатации.
Лист № 5
всего листов 5
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к Спектромет-
рам микрорентгенофлуоросцентным M4 TORNADO
1. ГОСТ Р 52931-2008 Приборы контроля и регулирования технологических процессов.
2. МИ 2639-01 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений массо-
вой доли компонентов в веществах и материалах.
3. Техническая документация изготовителя.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
- при осуществлении торговли и товарообменных операций
- при осуществлении деятельности в области охраны окружающей среды.
Изготовитель
Фирма «Bruker Nano GmbH», Германия
Schwarzschildstrasse 12, D-12489,
Berlin, Germany,
тел.: +4930670990,
вебсайт:
Заявитель
ООО «Брукер»,
Москва, Россия, 119334,
Ленинский проспект 47,
тел.:+74955029006,
вебсайт:
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО ФНТЦ «Инверсия»,
Аттестат аккредитации № 30076-08 от 27.08.2008 г.
107031, г.Москва, ул. Рождественка, д.27, тел/факс (495) 608-45-56,
E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р.Петросян
М.П.« _____ » ____________2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 59454-14 | Масс-спектрометры | API 3200, 3200 QTRAP | Фирма "AB SCIEX", Сингапур | 1 год | Перейти |
| 32102-10 | Фурье-спектрометры | VERTEX 80 мод. VERTEX 80 и VERTEX 80v | Фирма "Bruker Optik GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 80857-20 | Масс-спектрометры | QTRAP 6500+ | Фирма "AB Sciex Pte. Ltd.", Сингапур | 1 год | Перейти |
| 35481-07 | Спектрометры атомно-абсорбционные | А-2 | ООО "НПО Интерфотофизика", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 14345-94 | Фурье-спектрометры инфракрасные | FT-IR мод. 8210Е, 8220 | Фирма "Nicolet Instrument Corporation", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений