Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
48115-11
Наименование СИ:
Комплекты мер высоты
Обозначение типа:
СТЕПП-ИФП-1
Производитель:
Учреждение РАН Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН), г.Новосибирск
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
31.10.2016
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 44289
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1
Назначение средства измерений
Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1 (далее – Комплекты) относятся к классу мер на-
нометрового диапазона и предназначены для хранения и передачи единицы длины в диапазо-не
измерений (0,31 – 31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерфе-
ренционных микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание средства измерений
Комплект представляет собой пластину кремния с шестью разными по высоте в диапазоне
(0,31 – 31) нм выделенными участками (далее - мерами). Меры состоят из определенного чис-ла
ориентированных в направлении кристаллографической плоскости (111) моноатомных
ступеней кремния одинаковой высоты. Единица длины, воспроизводимая мерой, измеряется
между поверхностями свободными от моноатомных ступеней размерами не менее 1x5 мкм
2
. В
зависимости от особенностей микроскопов Комплект может применяться либо наклеенным на
стеклянный пьедестал, либо без него.
Рисунок 1 - Общий вид комплектов мер высоты СТЕПП-ИФП-1
Место нанесения Знака утверждения типа
Лист № 2
всего листов 3
Метрологические и технические характеристики
Таблица 1
Количество мер в Комплекте, шт6
Номинальные значения высот мер Комплекта в интервале, нм 0,31 ± 0,1
1 ± 0,31
3 ± 0,7
5 ± 1
20 ± 1
30 ± 3
Абсолютная погрешность измерений высоты мер при доверитель-
ной вероятности 0,95 , нм, не более, в диапазоне:
от 0,31 до 20 нм±(0,02+29L), где L в мкм
свыше 20 до 31 нм±0,6
Параллельность свободных от моноатомных ступеней поверхно-
стей размерами не менее 1x5 мкм
2
, ограничивающих меру, нм/мкм,
+
3
не более0,02
Габаритные размеры, мм, не более:
- Комплекта без пьедестала2x10x0,4
- пьедестала 10x10x1,5
- футляра 75х60х12
Масса Комплекта без пьедестала, кг, не более 0,00001
Масса Комплекта с пьедесталом, кг, не более 0,001
Комплекты эксплуатируются в следующих климатических условиях по гр. Д3 ГОСТ Р 52931
со следующими уточнениями:
- температура окружающего воздуха, °С(2
0
-
3
)
- верхний предел относительной влажности при 20 °С без образова-
ния конденсата, %
- атмосферное давление, кПа
+
5
80
(100
-
15
)
3 ИСО
- класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1, не более
При эксплуатации Комплектов в вакууме:
- температура держателя образца, °С
+
3
- значение давления остаточных газов в камере микроскопа, Па
Средний срок службы, лет, не менее
Средняя наработка на отказ, ч, не менее
20
-
3
От 1·10
-8
до 270
7
4000
Знак утверждения типа
наносится на этикетку на футляре, на титульный лист паспорта и руководства по экс-
плуатации типографским способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 2
Обозначение Наименование
ИФП3293-01 Стеклянный пьедестал для крепления Комплекта
-Футляр
ИФП3293 ПС Паспорт
ИФП3293 РЭ Руководство по эксплуатации
ИФП3293МП Методика поверки
Кол-во Примечание
1
1
1
1
1
Поверка
осуществляется по документу ИФП3293МП «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Мето-
дика поверки», утвержденному ФГУП «СНИИМ» в сентябре 2011 г.
Лист № 3
всего листов 3
Эталоны, применяемые при поверке: мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГОСРЕЕСТР
СИ 41678-09), погрешность измерений ± 0,0005 мкм при доверительной вероятности 0,95;
Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra Vita (ГОСРЕЕСТР СИ 28664-10).
Сведения о методиках (методах) измерений
ИФП3120РЭ Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Руководство по эксплуатации
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к Комплектам
мер высоты СТЕПП-ИФП-1
ИФП СО РАН.01.011ТУ «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Технические условия»;
«Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки».
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
При выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федера-
ции обязательным требованиям.
Изготовитель
УчреждениеРоссийскойакадемиинаукИнститутфизикиполупроводников
им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН)
пр. Академика Лаврентьева, д.13, г. Новосибирск, 630090, тел./факс (383) 333-39-50/
333-27-71, E-mail:
,
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений СНИИМ (ГЦИ СИ СНИИМ),
юридический адрес: 630004, г. Новосибирск, пр. Димитрова, 4;
тел.(383) 210-08-14, факс (383) 210-13-60;
электронная почта:
;
номер аттестата аккредитации: 30007-09
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«__» _____________ 2011г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 11603-88 | Комплекты индикаторные сервисные унифицированные | Сервис-Б160 | ХО "Электрон", Болгария | 1 год | Перейти |
| 29269-16 | Измерители высоты облаков | ДВО-2 | ООО "Экспериментально-Производственные Мастерские Гидрометеорологического и Геофизического Оборудования" (ЭПМГГО), г.С.-Петербург | 1 год | Перейти |
| 1401-60 | Комплекты измерительные | К-50 | Нет данных | Нет данных | Перейти |
| 75219-19 | Комплекты измерительные | Testo 440 | Фирма "Testo SE & Co. KGaA", Германия | 1 год | Перейти |
| 40806-09 | Комплекты аналитические | Testo 360 | Фирма "Testo AG", Германия | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений