Приложение к свидетельству № 44262
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопэлектронныйпросвечивающийсаналитическимимодулями
JEM-2100
Назначение средства измерений
Микроскоп электронный просвечивающий с аналитическими модулями JEM-2100
(далее микроскоп) предназначен для измерений геометрических расстояний и размеров эле-
ментов микро- и ультраструктуры, а также для анализа локального элементного состава и
кристаллической структуры тонкопленочных образцов (ультратонких срезов ткани, залитой в
полимер, и суспензий микрочастиц (вплоть до наноразмерных), нанесенных на полимерную
пленку-подложку).
Микроскоп применяется в материаловедении, биологических, медицинских исследо-
ваниях, а также при оценке биобезопасности продукции наноиндустрии и нанотехнологий.
Описание средства измерений
Принцип действия микроскопа основан на формировании пучка электронов с энерги-
ей до 200 кэВ для непосредственного просвечивания объекта. В качестве объектов, прозрач-
ных для электронов с такой энергией, могут исследоваться ультратонкие срезы, напыленные в
вакууме реплики, нанесенные на прозрачную для электронов подложку наночастицы и др.
Система магнитных линз микроскопа формирует электронно-микроскопическое изображение
объекта в проходящих электронах. Контраст на изображении, т.е. его неравномерная осве-
щенность,возникает из-за того, что рассеяние проходящих электронов зависит от массы
атомов просвечиваемого вещества, а также, в случае просвечивания кристаллического веще-
ства, и от ориентации кристаллографических осей относительно электронного луча микро-
скопа. Соответствующие неоднородности объекта становятся видимыми на электронно-
микроскопическом изображении благодаря тому, что электроны, рассеянные на большие уг-
лы, задерживаются апертурной диафрагмой и не участвуют в формировании окончательного
изображения.
Методы электронной дифракции реализуются путем регулирования токов магнитных
линз и введения в колонну микроскопа селекторных диафрагм. Эти методы дают информацию
о наличии или отсутствии кристаллической структуры у выбранного микроучастка образца, о
типе кристаллической решетки, а также позволяют рассчитать межплоскостные расстояния в
микрокристаллах путем сравнения полученных дифракционных картин (электронограмм) с
электронограммами тонкопленочных образцов с известным составоми кристаллической
структурой.
Дополнительные аналитические модули микроскопа – энергодисперсионый спектро-
метр характеристического рентгеновского излучения и спектрометр характеристических по-
терь энергии электронов – позволяют реализовать методы анализа локального элементного
состава исследуемых образцов.
Лист № 2
всего листов 4
Рис. 1. Общий вид микроскопа электронного просвечивающего с аналитическими модулями
JEM-2100
2.20
Програм-
ма
md5sum
В состав микроскопа входит специализированное программное обеспечение, иденти-
фикационные данные которого приведены ниже.
НаименованиеИдентификационное№Цифровойидентификаторпро-
Алгоритм
программногонаименованиепро- вер-граммного обеспечения (контроль-
вычисле-
обеспеченияграммного обеспечения сииная сумма)
ния иден-
ПО
тификато-
ра ПО
3
5
1
Trial управле-
ния
Микроскопом
TEM Controller
(TEMCON)
2
ATF.exe
BComp.exe
BrightnessZoom.exe
CsCcCalc.exe
EFCalibration.exe
FKeyServer.exe
HCID.exe
HeStageVacSystem.exe
HolderSetup.exe
jeolTEM.exe
JeolTEMScripting.exe
MDS.exe
OmUnit.exe
TemperatureMonitor.exe
4
2daccc047fe84da1dc62e78b4748028d
cdc2f71075e409475c06737c606d6c5f
c228bcdd16cc0e2408cfa138ce4664c0
87f51eb160e06829e971aa3af55e70d3
93b9bafbc5b2462a6270e460b114cbc6
8e6f060221dd44bfed124938b35a4efe
38202556cc883e3a63a3e2beea5687e3
d047e5ba1c2df31e1827681e92134d15
ec7f8b5074f5784a8c9a22b03f4b9298
01bf12370bb2c8334ed4f51f51ba5080
3978c48552bc34d1a9e65b89974505ef
c8835e5db60e70f8e99922e94effef84
15daab4f6581d77c7b4711d3bc3d881f
f58a2de807496b04c9a32ec0d13ba9bb
Лист № 3
всего листов 4
2.01.6
97.0
1234
5
Пакет управле- GMS.dll e322108fbe73ef9de0d746dd3bf8635c
ния фотокаме-libimalloc.dllbc18c393df4b576fcc3ec8f42cf7c5eb
рами и спек-libiomp5md.dll136b913bccea2245ccbc355f31cffd9d
трометромmkl_core.dllc7a6deeb0553ee49f4ffe7f4d7fd8fd9
электронныхmkl_def.dll6f42bf8d719293897bb0a743dd552790
потерьmkl_intel_thread.dll3b15586b0d6ec0dcd8413bffa23a84b5Програм-
Gatan Micro-mkl_msg.dll6ade946f2718e26971b29940e38509e2 ма
scope Suitmkl_p4.dll8273d4c8645ee8af313105b8a00858a8 md5sum
(GMS)mkl_p4m.dllf90905673c86e1be69c01b67c097b432
mkl_p4m3.dll40775192bc09e0e536327f5477006c12
mkl_p4p.dll7f00c0c68ae9a873543b30d935006b5b
msvcr71.dll86f1895ae8c5e8b17d99ece768a70732
DigitalMicrograph.exea9d2d27859d9161f6d1f420f0e0729fa
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений в соответствии с МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».
± 3%
± 7%
стенд с колонной,
блок питания
блок насосов
от 4·10
-4
до 100
± (2+0,07L)
от 50 до 1 500 000
От B до Pu
25
от 80..200
Метрологические и технические характеристики
Таблица 1
Диапазон измерений геометрических расстояний, мкм
Пределы допускаемой погрешности измерения геометрических расстоя-
ний при ускоряющем напряжении 200 кВ*:
в диапазоне (1..100) мкм при измерении абсолютных размеров, %
в диапазоне (0,05..1) мкм при измерении абсолютных размеров, %
в диапазоне (4·10
-4
..0,05) мкм при измерении абсолютных размеров
(L-размер кадра, выраженный в нанометрах), нм
Диапазон регулировки увеличения, крат
Анализируемые химические элементы (по порядку следования в перио-
дической системе химических элементов им. Д.И. Менделеева)
Локальность элементного анализа методами энергодисперсионной спек-
троскопии и спектроскопии характеристическихпотерь электронов, нм
Значения ускоряющего напряжения, кВ
Номинальное напряжение сети питания (однофазной), В
+
10
230
-
30
10
Максимальная потребляемая мощность, кВ·А
Габаритные размеры основных блоков не более, мм
1570х2250х2440
800х570х1750
210х430х510
2800х2800х3000
Общий размер в собранном состоянии, мм
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, ° C
- относительная влажность воздуха, %
(20 ± 5)
(40 ± 20)
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность средства измерений
1. Микроскоп электронный просвечивающий
с аналитическими модулями JEM-2100
2. Комплект ЗИП и расходные материалы
3. Руководство по эксплуатации
4. Методика поверки
- 1экз.;
- 1 компл.;
- 1 шт.;
- 1 экз.
Лист № 4
всего листов 4
Поверка
осуществляется по документу МП 48091-11 «Микроскоп электронный просвечивающий с
аналитическими модулями JEM-2100. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП
«ВНИИМС» в октябре 2011 года.
Основными средствами поверки являются:
Мера длины рельефная МПУ278нм с характеристиками, приведенными в таблице 2.
Таблица 2
НаименованиеЗначение
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм 0,278
Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры
, мкм ± 0,002
Масса меры не более, г 0,1
Габаритный размер меры (Диаметр × Толщина), мм 3,0 х 0,3
Размер рабочей области меры (Диаметр), мм 1,0
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу
электронному просвечивающему JEM-2100
Техническая документация фирмы-изготовителя
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений:
- при выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и про-
дукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям
Изготовитель
JEOL Ltd., Япония
1-2, Musashino 3-chome
Akishima Tokyo 196-8558, Japan
Заявитель
Государственное учебно-научное учреждение Биологический факультет Московско-
го государственного университета имени М.В.Ломоносова
119234, г. Москва, Ленинские горы, д.1, стр. 12
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС», аттестат аккредитации № 30004-08
119361, Москва, Г-361, ул. Озерная, 46.
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.
«»_____________ 2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
