Приложение к свидетельству № 43840
об утверждении типа средств измерений
лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Мера длины рельефная МДР-278 нм
Назначение средства измерений
Мера длины рельефная МДР-278 нм предназначены для
хранения единицы длины в
нанометровом диапазоне для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам
измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Описание средства измерений
Мера представляет собой сильно уплощенный диск, на рабочей поверхности которого
сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На
рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях
растрового электронного микроскопа. Геометрически микрорельеф является совокупностью
одинаковых между собой шаговых структур с синусоидальной геометрической формой
поперечного сечения. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление
золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в
качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-278 нм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают
изображение поверхности меры с помощью поверяемого (калибруемого) средства измерений.
Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений шагу
периодической структуры приписывается значение, приведенное в паспорте на использованную
меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры
микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению
меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические
характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомно-
силового сканирующего микроскопа.
