Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Номер госреестра:
47524-11
Наименование СИ:
Меры длины рельефные
Обозначение типа:
МПУ278нм
Производитель:
ФГУП "ВНИИМС", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Заводской номер
Заводской номер:
на 6 шт. с зав.№ 001 … 006
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № trial
об
утверждении типа средств измерений
лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Мера длины рельефная МПУ278нм
Назначение средства измерений
Мера длины рельефная МПУ278нм предназначена для хранения
единицы длины для ее
передачи микроскопам электронным просвечивающим и другим средствам измерений малой длины.
Описание средства измерений
Мера представляет собой совокупность элементов рельефа – периодических выступов –
на углеродной реплике, с нормированным шагом в латеральной плоскости по оси X (рисунок
1). Шаг является физической величиной, хранимой данной мерой и передаваемой от нее к
микроскопам электронным просвечивающим.
Рисунок 1 - Фото меры trial рельефной МПУ278нм для просвечивающей электронной
микроскопии в футляре (1а), отдельно (1б)
Подложка (медная сетка) имеет форму круга диаметра 3 мм и толщиной 0,3 мм.
Реплика выполнена из углерода, выступы оттенены платиной методом напыления, диаметр
рабочей области – 1 мм. Кадр рабочей поверхности меры наблюдаемый в атомно-силовой
микроскоп, приведен на рис. 2.
Рисунок 2 - Мера длины рельефная МПУ278нм, кадр 5 х 1 мкм
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают
изображение поверхности меры с помощью поверяемого (калибруемого) средства измерений.
Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений шагу
лист № 1
всего листов 3
периодической структуры приписывается значение, приведенное в паспорте на использованную
меру.
Метрологические и технические характеристики
Наименование
Значение
Шаг периодической структуры, мкм
0,278
± 0,002
0,1
3,0 х 0,3
1,0
Предел допускаемой основной погрешности шага периодической структуры
, мкм
Масса меры должна быть не более, г
Габаритный размер меры (Диаметр × Толщина), мм
Размер рабочей области меры (Диаметр), мм
Срок службы, лет
7
Рабочие условия: температура держателя образца 20±3 °С
Диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа 10
-4
÷ 270 Па
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Комплектность средства измерений
Мера длины рельефная МПУ278нм1 шт.
Футляр1 шт.
Паспорт1 экз.
Методика поверки1 экз.
Поверка осуществляется по документу «Мера длины рельефная МПУ 278нм. Методика
поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения
шага структуры от номинального значения не более ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом
допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при
номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере длины
рельефной МПУ278нм
1. Мера длины рельефная МПУ278нм. Паспорт.
Рекомендации по областям примененияв сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнение работ и (или) оказание услуг по обеспечению единства измерений
лист № 1
всего листов 3
Изготовитель
ФГУП «ВНИИМС»,
119361, Москва, Г-361, ул. Озерная, 46.
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС», аттестат аккредитации № 30004-08
119361, Москва, Г-361, ул. Озерная, 46.
В.Н. Крутиков
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологии
М.п.
«»_____________ 2011 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 49402-12 | Меры для поверки установок автоматизированных бесконтактных | Calipri - Ferberg CW-40 | Фирма "nextSENSE Mess- und Prufsysteme GmbH", Австрия | 2 года | Перейти |
| 64189-16 | Рабочие эталоны единиц длины и ослабления в световоде | Нет данных | ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва | 1 год | Перейти |
| 26439-04 | Рабочие эталоны единиц длины и ослабления в световоде | Нет данных | ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва | 1 год | Перейти |
| 33947-07 | Меры электрической емкости 3-го разряда. ИМ-имитаторы метрологические | Нет данных | ОАО "РКК "Энергия" им.С.П.Королева", г.Королев | 1 год | Перейти |
| 35125-07 | Системы измерительные длины и массы труб | АКСКМТ | ООО ЦНТУ "Экоцентр", г.Таганрог | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений