Untitled document
Приложение к свидетельству № 41138
об утверждении типа средств измерений
лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Масс-спектрометры квадрупольные КМС-01/250
Назначение средства измерений
Масс-спектрометры квадрупольные КМС-01/250 (далее – масс-спектрометры) пред-
назначены для химического и изотопного анализа газовой среды в высоковакуумных и
сверхвысоковакуумных системах, а также при подключении средств откачки - для контроля
сторонних газовых смесей.
Описание средства измерений
Квадрупольный масс-спектрометр относится к анализаторам динамического типа.
Разделение ионов по удельным зарядам состоит в том, что при прохождении ионов через
область постоянного и переменного электрических полей часть ионов может иметь огра-
ниченную амплитуду колебаний, в то время как амплитуда колебаний другой части неог-
раниченно возрастает со временем. Ионы с ограниченной амплитудой попадают на детек-
тор, и их количество (или ток ионов) регистрируется. Сканирование по массам ионов осу-
ществляется линейно изменяющимися напряжениями на электродах анализатора.
Масс-спектрометр включает: анализатор (источник ионов, блок электродов, двойную
детекторную систему, цоколь с электрическими вакуумными вводами и фланец разъемного
вакуумного соединения по ГОСТ 26526-85, вакуумную аналитическую камеру), блок пи-
тания, высокочастотный генератор, устройство регистрации (усилитель импульсов или
опционально усилители постоянного тока для работы ВЭУ в токовом режиме и для детек-
тирования коллектором ионов).
Управление масс-спектрометром осуществляется от ПК с помощью специализиро-
ванного программного обеспечения.
Рис. 1. Фотография внешнего вида масс-спектрометра квадрупольного КМС-01/250
Лист № 2
Всего листов 4
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
Идентификационные данные (признаки)Значение
Идентификационное наименование ПО MS250_GM_03_20_01
Номер версии (идентификационный номер ПО) 03.20.01
Цифровой идентификатор ПОcba9b7d4a55d9a0b20d689ddbe5802c4
Другие идентификационные данные (если имеются) нет
Масс-спектрометр КМС-01/250 отображает на экране монитора ПК следующую ин-
формацию:
- текущие параметры с возможностью масштабирования любого отрезка диапазона
масс, интенсивностей и концентраций;
- обзорный масс-спектр - полный диапазон регистрируемых масс (от 1 до 250 а.е.м);
- произвольный отрезок массовых чисел (от 0,5 до 250 а.е.м.);
- оконный режим по заданным массовым пикам (число произвольно задаваемых окон
от 1 до 250);
- график зависимости концентрации от времени (объемной или массовой) выбранных
веществ относительно пика базового вещества, концентрация которого достоверно из-
вестна;
- график зависимости концентрации от времени (объемной или массовой) выбранных
веществ относительно суммы их интенсивностей;
- архивированные результаты измерений;
- значений питающих напряжений масс-спектрометра с возможностью их изменения.
Уровень защиты встроенного программного обеспечения от непреднамеренных и
преднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 – средний
Влияние программного обеспечения газоанализаторов учтено при нормировании
метрологических характеристик.
Метрологические и технические характеристики
Разрешающая способность на уровне 10 % интенсивности ли-
ний масс-спектра, не менее
1·М,
где М - массовое число
регистрируемого пика
7,5·10
-12
± 2
1
250
10
-2
200
700
Порог чувствительности по аргону, Па, не более
Предел допускаемого значения среднего квадратичного от-
клонения (СКО) случайной составляющей относительной по-
грешности, %
Нижний предел диапазона массовых чисел, а.е.м., не более
Верхний предел диапазона массовых чисел, а.е.м., не менее
Верхний предел рабочего давления в области источника ионов
анализатора масс-спектрометра, Па
Потребляемая мощность, В·А, не более:
- без термостатирования анализатора
- с термостатированием анализатора
Габаритные размеры, мм, не более
- вакуумная часть масс-спектрометра
- блок электроники
Масса, кг, не более (бет вакуумного насоса, запасных частей,
инструмента и принадлежностей)
260хD115
300х300х240
20
Лист № 3
Всего листов 4
Условия эксплуатации:
- температура окружающего воздуха, °С
- относительная влажность, %, не более
- атмосферное давление, кПа
- напряжение питающей сети переменного тока, В
- частота питающей сети переменного тока, Гц
от 10 до 35
80
от 85 до 106,7
220 ± 22
50 ± 1
Знак утверждения типа
наносится на лицевую панель ВЧ генератора и на титульный лист руководства по экс-
плуатации масс-спектрометра.
Комплектность средства измерений
Масс-спектрометр КМС-01/250 поставляется в комплекте.
Генератор высокой частоты (ГВЧ) ШИБР.434946.003.
Программно-управляемый многоканальный блок питания (БП КФМ) ГАЮР
436238.094.
Усилитель импульсов (УИ) ШИБР.434915.003.
Анализатор.
Комплект соединительных кабелей.
Программное обеспечение.
Техническое описание и руководство по эксплуатации.
В вариантном исполнении масс-спектрометра возможна поставка вакуумного насоса,
усилитель для работы с ВЭУ в токовом режиме УПТ1, усилитель для работы с коллектором
ионов УПТ2, клапан форвакуумной откачки, натекатель-регулятор. Точная комплектация
масс-спектрометра КМС-01/250 указывается в договоре поставки.
Поверка
осуществляетсяподокументуПриложение4Руководствапоэксплуатации
ШИБР413514.003 РЭ "Масс-спектрометры квадрупольные КМС-01/250. Методика повер-
ки", утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМС" 25 октября 2010 г.
Основные средства поверки:
- ГСО-ПГС, выпускаемые в баллонах под давлением по ТУ 2114-014-20810646-2014:
ГСО 10530-2014, ГСО 10531-2014, ГСО 10532-2014;
- воздух ПНГ (ТУ6-21-5- 82) ТУ6-21-5-02.
Сведения о методиках (методах) измерений
нет.
Нормативныеитехническиедокументы,устанавливающиетребованияк
масс-спектрометрам квадрупольным КМС-01/250
ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические
условия.
ШИБР.413514.003 ТУ. "Масс-спектрометр квадрупольный КМС-01/250. Технические ус-
ловия".
Лист № 4
Всего листов 4
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью "Шибболет" (ООО "Шибболет")
ИНН 6230002959
Адрес: 390023, г. Рязань, проезд Яблочкова д. 5, корпус 19
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью "Маркет Гейт" (ООО "Маркет Гейт")
ИНН 7735539881
Юр. адрес: 124460, г. Москва, Зеленоград, корп.1205, н.п. 1,
Фак.адрес:124460, г. Москва, Зеленоград, 2-й Западный проезд, д.1, стр.1, оф.324,326
Испытательный центр
Федеральное государственноеунитарное предприятие "Всероссийский науч-
но-исследовательский институт метрологической службы" (ФГУП "ВНИИМС")
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77/437-56-66
E- mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП "ВНИИМС" по проведению испытаний средств изме-
рений в целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологии
С.С. Голубев
М.п."_____" ___________ 2015 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.