Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3, ГРСИ 41678-09
Номер госреестра:
41678-09
Наименование СИ:
Меры периода и высоты линейные
Обозначение типа:
TGZ1, TGZ2, TGZ3
Производитель:
ЗАО "Нанотехнология МДТ", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
12.11.2019
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 36633
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3
Назначение средства измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (далее – меры) относятся к
классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера
единицы длины в диапазоне от 10
-9
до 10
-4
м и поверки (калибровки) оптических ближнего
поля, растровых электронных, сканирующих атомно-силовых микроскопов и других средств
измерений малой длины.
Описание средства измерений
Меры представляет собой совокупность шаговых структур на поверхности
квадратной кремниевой монокристаллической пластины с размерами квадрата со стороной
не более 5 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической
плоскости (100). Мера состоит из одинаковых шаговых структур с прямоугольной
геометрической формой элемента рельефа шаговой структуры
Внешний меры представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид меры периода и высоты линейной TGZ1, TGZ2, TGZ3.
Метрологические и технические характеристики
приведены в таблице 1.
Наименование
± 0,01
Номинальное значение периода структуры меры, мкм
Таблица 1
Значение
3,00
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой
структуры, не более, мкм
Номинальное значение высоты выступов в рельефе шаговых структур,
нм
Мера TGZ1
20
110
Лист № 2
Всего листов 3
20 ± 3
65 ± 15
(100 ±4)·10
3
520
± 2
± 10
± 20
Мера TGZ2
Мера TGZ3
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения
высоты выступов в рельефе шаговых структур не trial, нм
Мера TGZ1
Мера TGZ2
Мера TGZ3
Условия эксплуатации:
а) При работе на воздухе
- температура окружающего воздуха, °С
- относительная влажность, %
- атмосферное давление, Па
б) При работе в вакуумных условиях
- диапазон значений остаточного давления в камере образцов
микроскопа, Па
- температура держателя образца,
о
С
от 1·10
-4
до 270
20 ± 3
Масса меры не более, г
Габаритные размеры меры, мм
Размеры рабочей области меры, мм
5
5,0×5,0×0,5
3,0×3,0
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист паспорта и на футляр.
Комплектность средства измерений
Мера TGZ- 1шт.;
Специальный футляр - 1 шт.;
Руководство по эксплуатации (паспорт)- 1шт.
Поверка
осуществляется в соответствии с методикой, изложенной в разделе 4 Руководства по
эксплуатации 3932-013-40349675-2009 РЭ и согласованной ФГУП «ВНИИМС 06.08.2009 г.
Основное средство поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой
Solver Pro (Госреестр № 28666-10).
Сведения о методиках (методах) измерений
Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3. Руководство по
эксплуатации.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мерам
периода и высоты линейным TGZ1, TGZ2, TGZ3
Технические условия 3932-013-40349675-2009 ТУ и руководство по эксплуатации
(паспорт) 3932-013-40349675-2009 РЭ.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
- при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов
обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о
техническом регулировании.
Лист № 3
Всего листов 3
Изготовитель
Закрытое акционерное общество «Нанотехнология МДТ» (ЗАО «НТ-МДТ»)
Trial: 124482, Москва, Зеленоград, корп.100, E-mail:
, Телефон: 499-735-03-05,
Факс: 499-735-64-10
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель Руководителя Федерального
агентства по техническому регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
«____» ____________ 2014 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 62419-15 | Измерители высоты водяного столба | Н70 | ООО "СЕВ. Р. ДИЗАЙН", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 9638-84 | Меры электрического сопротивления постоянного тока цифроуправляемые | Р3045 | Завод "ЗИП", г.Краснодар | 1 год | Перейти |
| 53783-13 | Меры проволочные | Объект-микрометр АТ-05 | ООО Фирма "БМК-ИНВЕСТ", г.Москва | 3 года | Перейти |
| 9916-85 | Меры длины концевые плоскопараллельные наборы 17, 18 и 19 | 162, 171, 172 | Завод "Калибр", г.Москва | Нет данных | Перейти |
| 9202-83 | Измерители высоты нижней границы облаков дистанционные | ДИ-ВНГО-1 | Нет данных | Нет данных | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений