Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д, ГРСИ 41675-09
Номер госреестра:
41675-09
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие зондовые
Обозначение типа:
НаноСкан-3Д
Производитель:
ФГБНУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ТИСНУМ), г.Москва, г.Троицк
Межповерочный интервал:
2 года
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
01.11.2024
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д
Назначение средства измерений
МикроскопысканирующиезондовыеНаноСкан-3Д(далее–микроскопы)
предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с
нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на
поверхность исследуемого образца в отдельных точках, а также для измерений
геометрическиххарактеристикотпечатков в заданныхточкахповерхностипосле
индентирования с измеренной силой.
Описание средства измерений
Действие сканирующих зондовых микроскопов НаноСкан-3Д основано на принципе
сканирования исследуемой поверхности зондом. При этом осуществляется регистрация
параметров взаимодействия зонда с поверхностью. Это позволяет получить математическое
описание геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и
электрических свойств. Микроскоп может работать в режиме нанотвердомера, создавая
искусственный микрорельеф на поверхности исследуемого материала путем воздействия
алмазного индентора на поверхность, а также динамического (высокочастотного)
воздействиязонданаповерхность.Особенностиискусственногомикрорельефа,
возникающего под действием нормированных сил, позволяют определить ряд механических
свойств образца, включая микротвердость.
СканирующиезондовыемикроскопыНаноСкан-3Дпредставляютсобой
стационарнуюавтоматизированнуюизмерительнуюсистему и состоятизрамы,
измерительной головки,управляющейэлектроники, набора датчиков-кантилеверов,
персонального компьютера. Внешний вид микроскопа представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Д. Стрелкой
показано место нанесения знака утверждения типа.
Приложение к свидетельству № trial/1
об утверждении типа средств измерений
Лист № 2
Всего листов 4
В сканирующих зондовых микроскопах НаноСкан-3Д реализованы следующие
режимы сканирующей зондовой микроскопии и измерений механических свойств
материалов:
- полуконтактная АСМ;
- метод силовой спектроскопии;
- метод инструментального наноиндентирования.;
- индентирование /склерометрия (измерения механических свойств путем анализа
топографии остаточных отпечатков и царапин).
Программное обеспечение
Программное обеспечение микроскопов встроено в защищённую от записи память
микроконтроллера, что исключает возможность его несанкционированных настройки и
вмешательства, приводящего к искажению результатов измерений. Идентификационные
данные программного обеспечения микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица1–Идентификационныеданныепрограммногообеспечениямикроскопов
сканирующих зондовых НаноСкан-3Д
v.35
v.18
A811250792ACD83A10C
C288D9029D89F
MD5
Наименование
программного
обеспечения
№
верс
ии
ПО
Цифровой
идентификатор
программного
обеспечения
(контрольная сумма)
Алгоритм
вычисления
идентификатор
а ПО
ПО для СЗМ
«НаноСкан-3D»
Идентификацио
нное
наименование
программного
обеспечения
NanoScan Device
Control
NanoScan
Viewer
436FE6C2384EB79C1038
557AD4402A69
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений по МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».
Метрологические и технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены
в таблицах 2 – 3.
Таблица 6 – Измерение электрического сопротивления
Измеряемый параметр Диапазон измерений, Пределы основной
не менее допускаемой погрешности
измерений
Измерения геометрической длины От 0,02 до 90 мкм± (0,01 L + 5 нм)
по осям X и Y
Измерения геометрической длины От 0,004 до 9 мкм± (0,01 L + 4 нм)
по оси Z
Воспроизведение силыОт 0 до 150 мН± (0,01 F + 30 мкН)
прикладываемой нагрузки
L – измеряемое значение длины, F – воспроизводимое значение силы
Лист № 3
Всего листов 4
Размеры образца, мм
100х100; h=80
Таблица 3 – Основные технические характеристики
Наименование характеристикиЗначение
Максимальная масса образца, кг
Масса основного блока, кг (не более)
2
60
Напряжение питания, В
От 180 до 240
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на лицевую панель в соответствии с рисунком 1, а
также типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Комплектность средства измерений
В комплект поставки входят:
микроскоп
плата управляющей электроники
соединительный кабель
сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами
программное обеспечение на CD диске
набор рельефных мер типа TDG01, TGZ1, TGZ2
руководство по эксплуатации
методика поверки
- 1шт.;
- 1 шт.;
- 1 шт.;
- 2 шт.;
- 1 шт.;
- 1 компл.;
- 1шт.;
- 1 экз.
Поверка
проводится в соответствии с документом МП 41675-09 «Микроскопы сканирующие
зондовые НаноСкан-3Д. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в июне
2009 г.
Основные средства поверки:
- мера периода линейная TDG01, воспроизводит длину (278 ± 1) нм;
- мера периода и высоты линейная TGZ1, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и
высоту (20 ± 2) нм;
- мера периода и высоты линейная TGZ2, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и
высоту (110 ± 10) нм.
Сведения о методиках (методах) измерений
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Руководство пользователя.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующим зондовым НаноСкан-3Д
Технические условия ТУ 1706-015-48786949-08.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
– при выполнении работ по оценке соответствия продукции и иных объектов
обязательным требованиям в соответствии с законодательством Российской Федерации о
техническом регулировании.
Лист № 4
Всего листов 4
Изготовитель
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Технологический институт
сверхтвердых и новых углеродных материалов» (ФГБНУ ТИСНУМ).
Адрес: 142190, г. Москва, г. Троицк, ул. Центральная, д. 7а.
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииФ.В. Булыгин
«____» ____________ 2014 г.
М.п.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 62841-15 | Микроскопы сканирующие электронные | SNE-3000MB, SNE-3200M, SNE-4500M | Компания "SEC Co., Ltd.", Корея | 1 год | Перейти |
| 78538-20 | Микроскопы измерительные оптические | STM7 | Фирма "OLYMPUS Corporation", Япония | 1 год | Перейти |
| 57711-14 | Микроскопы видеоизмерительные | MM1 Garant | Компания "Hoffmann GmbH Qualitatswerkzeuge", Германия | 2 года | Перейти |
| 15432-96 | Измерители инфракрасные сканирующие | Thermoprofile 3LT, 6LT, 6HT | Фирма "AGEMA Infrared Systems AB", Швеция | 2 года | Перейти |
| 35695-07 | Микроскопы инструментальные | ИМЦЛ 150х75(1),А | АО "Швабе - Оборона и Защита", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений