Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ-1000, ГРСИ 39221-08
Номер госреестра:
39221-08
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие зондовые
Обозначение типа:
СмартСПМ-1000
Производитель:
ООО "АИСТ-НТ", г.Москва
Межповерочный интервал:
2 года
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
05.12.2018
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 33510
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 2
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ-1000
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 предназначены для измере-
ний геометрических параметров топографии поверхности с субнанометровым пространст-
венным разрешением на воздухе и в жидких средах.
Микроскопы сканирующие зондовые СмартСПМ - 1000 могут использоваться при
проведении фундаментальных и прикладных научных исследований.
Описание средства измерений
Действие сканирующих зондовых микроскопов СмартСПМ - 1000 основано на
принципе сканирования исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических
величин
f
i
(х,у) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
Сканирующие зондовые микроскопы СмартСПМ - 1000 состоят из персонального
компьютера, электронного блока управления, измерительной головки, набора держателей
кантилевера и набора держателей образца. В сканирующих зондовых микроскопах
СмартСПМ - 1000 реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
полуконтактная АСМ; бесконтактная АСМ; контактная АСМ; метод латеральных сил; МСМ
и методика зонда Кельвина; сканирующая емкостная микроскопия; электросиловая микро-
скопия.
Метрологические и технические характеристики
0
¸
90
0
¸
12
± 0,5
Диапазон измерений по осям X и Y, мкм
Диапазон измерений по оси Z, мкм
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измере-
ний линейных размеров по осям X и Y, %
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измере-
ний линейных размеров по оси Z, %
Тип сканирования
Размеры образца, мм
Нелинейность по осям X и Y, %
Нелинейность по оси Z, %
Резонансная частота по XY (без нагрузки), кГц
Резонансная частота по Z (без нагрузки), кГц
Масса, кг
Напряжение питания, В
Частота напряжения питания, Гц
± 0,5
неподвижный
зонд
Æ
=40; h=l 5
0,03
0,03
7
15
25
220
50
Знак утверждения типа
наносится на Руководство по эксплуатации прибора типографским методом, на нижнюю па-
нель процессорного блока методом наклейки.
Комплектность средства измерений
Поставляются в комплекте с принадлежностями в упаковке для хранения и переноски:
НЕ001Головка СЗМ1
S001XYZ пьезосканер с емкостными датчиками обратной связи1
АР001Автоматизированная система подвода к образцу1
Лист № 2
Всего листов 2
Al110Модульный, расширяемый цифровой контроллер1
РС001Персональный компьютер в сборе1
SW001Программное обеспечение, совместимое с Windows ХР1
PS001Набор кантилеверов1
Калибровочная мера малой длины - дифракционная решетка про-
изводства "Holograte", 1000 - 3600 штрихов на мм, или аналогич-1
ная мера
Калибровочная мера малой высоты ступени - решетка "TGZ03"
производства "MikroMash", номинальная высота 500 нм, или ана-1
логичная мера
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены вруководстве по эксплуатации на микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ-1000.
Поверка
осуществляетсяпо документу МП 39221-08 «Микроскопы сканирующие зондовые
СмартСПМ - 1000. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в ок-
тябре 2008 г.
Основные средства поверки: эталонные меры шероховатости по ГОСТ 8.296-78.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующим зондовым СмартСПМ-1000
Технические условия ТУ 1706-001-98300415-08
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
- для применения вне сферы государственного регулирования обеспечения единства
измерений.
Изготовитель
ООО «АИСТ-НТ», г. Москва, Зеленоград
адрес: 124460, Москва, Зеленоград, 2-й Западный проезд, д. 1, стр. 1
телефон: (499) 995-09-54; эл. почта:
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-
исследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail:
,
Аттестат аккредитации ФГУП «ВНИИМС» по проведению испытаний средств измерений в
целях утверждения типа № 30004-13 от 26.07.2013 г.
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по
техническому регулированию
и метрологииФ.В. Булыгин
М.п.«______»____________2013 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 8138-81 | Микроскопы унифицированные | УМИ-2Ц | Приборостроительный завод им.В.И.Ленина, г.Новосибирск | Нет данных | Перейти |
| 37834-08 | Микроскопы сканирующие зондовые | Solver P47 | Фирма "NT-MDT", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 4184-83 | Микроскопы инструментальные | ИМЦ 150х50 Б | Приборостроительный завод, г.Новосибирск | Нет данных | Перейти |
| 67119-17 | Микроскопы измерительные | MarVision серий MM 200, MM 220, MM 420, MM 420 CNC | Фирма "Mahr GmbH", Германия | 1 год | Перейти |
| 65206-16 | Калориметры дифференциальные сканирующие | DSC4000, DSC6000, DSC8000, DSC8500 | Фирма "PerkinElmer, Inc.", США | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений