Приложение к свидетельству № 65141
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 4
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР»
Назначение средства измерений
Измерители удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» (далее по тексту - прибор)
предназначенный для измерения удельного электрического сопротивления пластин и слитков
монокристаллического кремния четырехзондовым методом в автоматическом режиме с
управлением от персонального компьютера.
Описание средства измерения
Принцип действия прибора основан на пропускании через исследуемый образец кремния
постоянного тока известной величины и измерений возникающей разности потенциалов.
Постоянный ток пропускают через образец между внешними зондами четырехзондовой
головки и измеряют возникающую разность потенциалов между внутренними. Удельное
электрическое сопротивление (УЭС) вычисляется из значений заданного тока и измеренной
разности потенциалов с применением поправочных коэффициентов на температуру образца,
диаметр и толщину пластины.
Прибор состоит из следующих основных функциональных элементов: четырехзондовой
головки с линейным расположением зондов; двухисточников питания (один для
измерительной схемы, другой для питания шаговых двигателей), микроконтроллера; аналого-
цифрового преобразователя (АЦП); аналоговых эквивалентов (АЭ); калиброванного источника
тока; измерительного усилителя; датчика температуры; подвижного измерительного столика;
неподвижного основания прибора; шаговых двигателей; схемы управления шаговыми
двигателями; датчика углового вращения измерительного столика; датчика рабочего положения
четырехзондовой головки.
Общий вид измерителя удельного сопротивления кремния «РОМЕТР» представлен на
рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид прибора
Лист № 2
Всего листов 4
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения
знака поверки представлены на рисунке 2.
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа,
обозначение места нанесения знака поверки
Программное обеспечение
Программное обеспечение предназначено для управления прибором; обработки
информации, полученной от измерительных устройств в процессе проведения измерений.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки)
Идентификационное наименование ПО
Номер версии (идентификационный номер) ПО
Значение
ПО «РОМЕТР»
v12.c.xxx *
*- где v12.. - версия ПО; с - серийный номер СИ; ххх - версия сборки ПО.
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Диапазон измерения удельного электрического сопротивления, Ом×см
от 0,001 до
10000
Пределы допускаемой основной относительной погрешности измерения, %, не более:
- для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,001 до 0,01
Ом×см
±3
- для удельных электрических сопротивлений в диапазоне от 0,011 до
10000Ом×см
±2
- для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,001 до 0,01 Ом
±1,5
- для резистивных эквивалентов в диапазоне значений от 0,1 до 10000 Ом
±0,7
Место нанесения
знака поверки
Место
пломбировки
пломбой или
Лист № 3
Всего листов 4
Продолжение таблицы 2
Пределы допускаемой дополнительной погрешности от изменения
температуры окружающей среды в диапазоне рабочих температур не
превышает половины соответствующей основной относительной погрешности
Отклонение расстояний между линейно расположенными зондами
четырехзондовой головки от паспортных значений не более, мм
±0,01
Нормальные условия измерений
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность, %
- атмосферное давление, кПа
от +21 до +25
30-80
от 84 до 106
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Параметры электрического питания:
- напряжение переменного тока, В
- частота переменного тока, Гц
220±22
50±1
Потребляемая мощность при питании от сети переменного тока, В×А, не более
70
Сопротивление изоляции между входом сетевого разъема и заземляющим
проводником в нормальных климатических условиях, МОм, не менее
20
Габаритные размеры прибора, мм, не более
- высота
- ширина
- длина
560
320
410
Масса прибора, кг, не более
25
Условия эксплуатации:
- температура окружающей среды, °С
- относительная влажность воздуха при +25°С, %
- атмосферное давление, кПа
от +18 до +28
80
от 84 до 106
Средний срок службы, лет
5
Средняя наработка на отказ, ч
2000
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации ИПЛГ.411721.001 РЭ типографским
способом.
Комплектность средства измерений
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
НаименованиеОбозначение
Количество,
шт.
Измеритель
«РОМЕТР»
удельногосопротивлениякремния
ИПЛГ.411721.0011
Комплект принадлежностей:
Паспорт
Кабель связи между прибором и компьютером
Программное обеспечение для ПК на CD-R диске
Руководство по эксплуатации
Ящик укладочный
Программная документация. Описание программы
ИПЛГ.411721.001ПС1
ИПЛГ.434612.0031
ИПЛГ.00007 - 01 12 011
ИПЛГ.411721.001 РЭ1
ИПЛГ.305632.0251
ИПЛГ.00007 - 01 13 011
Лист № 4
Всего листов 4
Наименование
Обозначение
Количество,
шт.
Образец монокристаллического кремния с удельным
сопротивлением в диапазоне от 0,001 до 10000 Ом×см
1
Методика поверки
18-18/015 МП
1
Поверка
осуществляетсяподокументу 18-18/015МП«Измеритель удельногосопротивления
«РОМЕТР». Методика поверки», утвержденному ФБУ «Красноярский ЦСМ» 20.10.2016 г.
Основные средства поверки:
- катушка электрического сопротивления Р310, значения сопротивление 0,001; 0,01Ом,
класс точности 0,01; (регистрационный № 1162-58)
- магазин сопротивлений Р 327, диапазон сопротивлений 0,1- 111111 Ом, trial точности
0,01; (регистрационный № 3297-72)
- инструментальный микроскоп ИМЦЛ100×50, А, диапазон измеряемых длин
0 - 100 мм
2
, 0 - 50 мм, погрешность ±0,003 мм (регистрационный №12129-03).
Допускаетсяприменениеаналогичныхсредствповерки,обеспечивающих
метрологические характеристики поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наноситься на боковую сторону крышки измерительного блока.
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к измерителям
удельного сопротивления кремния«РОМЕТР»
ГОСТ 14014-91 Приборы и преобразователи измерительные цифровые напряжения, тока,
сопротивления. Общие технические требования и методы испытаний;
ГОСТ 22261-94 Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие
технические условия.
Технические условия ИПЛГ.411721.001 ТУ.
Изготовитель
Обществоcограниченнойответственностьюнаучно-производственнаяфирма
«Электрон» (ООО НПФ «Электрон»)
660036, г. Красноярск, ул. Академгородок, 50
Тел.(391) 290-54-94, факс: (391) 243-97-65; Е-mail:
constr555@ksc.krasn.ru
Испытательный центр
Федеральноебюджетноеучреждение«Государственныйрегиональныйцентр
стандартизации, метрологии и испытаний в Красноярском крае (ФБУ «Красноярский «ЦСМ»)
660093, г. Красноярск, ул. Вавилова, 1а
Тел. (391) 236-30-80, факс (391) 236-12-94; Е-mail:
csm@krascsm.ru
Аттестат аккредитации ФБУ «Красноярский ЦСМ» по проведению испытаний средств
измерений в целях утверждения типа № RA.RU.311536 от 26.02.2016 г.
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииС.С. Голубев
М.п.« ___ » _______________ 2017 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
ООО СУПРР 8(812)209-15-19, info@saprd.ru