Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан, ГРСИ 34310-07
Номер госреестра:
34310-07
Наименование СИ:
Микроскопы сканирующие зондовые
Обозначение типа:
ФемтоСкан
Производитель:
ООО НПП "Центр перспективных технологий", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
27.07.2017
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 27293
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
Всего листов 6
ОПИСАНИЕ ТИПА СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЙ
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан
Назначение средства измерений
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан предназначены для измерений
параметров топографии и локальных геометрических свойств поверхности, наблюдения
морфологии с субнанометровым пространственным разрешением на воздухе и в жидких
средах, а также для визуализации атомарной структуры поверхности изучаемых образцов
(графит, слюда и пр.).
Сканирующие зондовые микроскопы ФемтоСкан предназначены для проведения
фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для организации
экспериментального дистанционного образования студентов в области практической
нанотехнологии.
Описание средства измерений
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан выпускаются в трех модификациях:
ФемтоСкан Онлайн, ФемтоСкан КриоСкан и ФемтоСкан Камертон, отличающиеся
устройством зонда и принципом сканирования.
Действие микроскопов сканирующих зондовых ФемтоСкан основано на принципе
ощупывания исследуемой поверхности зондами, регистрации набора физических величин
φ
i
(x,y) и восстановлении по нему геометрии поверхности образца.
Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан состоят из системного блока
управления,электронногоблокапреобразователей,графическойстанции,набора
измерительных головок, набора держателей кантилевера, набора держателей образца и
программного обеспечения. В микроскопах сканирующих зондовых ФемтоСкан реализованы
следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии:
–
резонансная атомно-силовая микроскопия;
–
измерения силовых кривых;
–
сканирующая резистивная микроскопия;
–
электростатическая микроскопия;
–
магнитно-силовая микроскопия;
–
сканирующая туннельная микроскопия;
–
измерение зависимостей туннельного тока от напряжения на переходе и от
расстояния зонд-образец;
–
нанолитография;
–
контактная атомно-силовая микроскопия.
ВмикроскопесканирующемзондовомФемтоСканреализованатехнология
дистанционного управления через Интернет. Это позволяет осуществлять полномасштабные
измерения с любого компьютера, подключенного к локальной сети или сети Интернет. При
этом неограниченное количество санкционированных сетевых пользователей могут иметь
доступ к данным эксперимента в реальном масштабе времени и самостоятельно осуществлять
анализ, обработку и построение трехмерных изображений.
Лист № 2
Всего листов 6
Рис. 1. Общий вид микроскопа санирующего зондового ФемтоСкан
сканирующегозондовогоФемтоСкан
обеспечение, идентификационные данные
входит
которого
Программное обеспечение
Всоставмикроскопа
специализированное программное
приведены в таблице 1.
Наимено-
вание
программ-
много
обеспечения
Идентификаци-
онное
наименование
программного
обеспечения
№
версии
ПО
Цифровой идентификатор
программного обеспечения
(контрольная сумма)
FEMTOSCAN.EXE
58a87866403e4267c2d9de1a2dfc2ddd
84dcf7e5
FMCMNCTL.DLL
FMDV.DLL
FMFILE.DLL
FMSPM.DLL
ФемтоСкан
Онлайн
FMUTL.DLL
2.3.219
Программ
а sha1sum
Таблица 1.
Алгоритм
вычис-
ления
иденти-
фикатора
ПО
027a0858a7364a7cfd9c5da5b126a987
d7c0a5e9
e89a8cb9170a6cb7dd12614ddc42e33d
0b6407fa
8f34d19a2f2cd24f0ca9ca8ccaf187234
8348563
da1d524251dc9bc451404d237338da8
ea06d6293
23040a759f3b1c81489aa0fe79504e67
b3a548cc
Лист № 3
Всего листов 6
FSDBG.DLL
a950251609a6ce22f2d386d216d4f227
fed4073d
FSIO.DLL
92b0df508a21647c60a1ae43839d9599
3a4f04c7
DSPIO.DLL
b77bd69cacc2b3f666f69cabbe899b72
d7692efa
FSSRV.EXE
2a28037f3e2c6221a6136bf67256a188
80fcb9c4
FMBOARD.EXE
27b529546ced15179f2c299ba33baaa0
28d050b5
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных
изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
ФемтоСкан
Онлайн
ФемтоСкан
КриоСкан
ФемтоСкан
Камертон
Диапазон измерений высоты, мкм
2
2
при комнатной
температуре
0,5
при гелиевой
температуре
2
Пространственное разрешение по
нормали к образцу, нм
0,05
0,05
0,05
Пространственное разрешение в
плоскости образца по координатам X и
Y, нм
0,1
0,1
0,1
Минимальный шаг (дискрет)
пьезосканера по осям X и Y, нм
0,0025
0,0025
0,0025
Минимальный шаг (дискрет)
пьезосканера о оси Z, нм
0,003
0,003
0,003
Минимальная область сканирования
(при разрешении 512х512точек), нм
2
2
2
Пространственное разрешение
(ограничиваемое суммарными шумами
электроники) по оси Z, нм
0,01
0,01
0,01
Пространственное разрешение
(ограничиваемое суммарными шумами
электроники) по осям X и Y, нм
0,01
0,01
0,01
Измеряемые параметры шероховатости
Ra, Rmax, Rq,
Rsk, Rk, Sm,
Smh, Sml
Ra, Rmax, Rq,
Rsk, Rk, Sm,
Smh, Sml
Ra, Rmax, Rq,
Rsk, Rk, Sm,
Smh, Sml
10х10
10х10
10х10
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2.
Наименование параметраЗначение
Размер области сканирования, мкм
2
Лист № 4
Всего листов 6
при комнатной
температуре
2х2
при гелиевой
температуре
Температура образца
Комнатная
4К —
комнатная
Комнатная
Диапазон регистрации туннельного тока,
нА
0,05-50
0,05-50
0,05х50
Диапазон измерения напряжения на
туннельном переходе, B
±9
±9
±9
Минимальный дискрет туннельного
напряжения, мВ
0,3
0,3
0,3
Диапазон токов в резистивной моде, нА
Диапазон измерения контактного
сопротивления в резистивной моде,
МОм
Пространственное разрешение в
магнитной моде, нм
5
5
5
Пространственное разрешение в
электростатической моде, нм
20
20
20
Точность детектирования амплитуды в
резонансных режимах, мВ
0,1
0,1
0,1
Максимальные размеры образца:
диаметр, мм
высота, мм
12
5
10
4
10
4
Габаритные размеры, мм
длина
ширина
высота
156,5
62
52
307
165
95
307
165
95
0,01-100
0,001-10
0,01-100
0,001-10
0,01-100
0,001-10
Питание
Масса, кг
Диапазон рабочих температур,
о
С
220 В, 50 Гц
33
15-35
220 В, 50 Гц
56
15-35
220 В, 50 Гц
33
15-35
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Комплектность средства измерения
Комплектность в зависимости от модификации приведена в табл. 3
Таблица 3
ФемтоСкан ОнлайнФемтоСкан КриосканФемтоСкан Камертон
Лист № 5
Всего листов 6
Системный блок управления
Электронный блок
преобразователей
Механический блок
пьезоманипулятора
Графическая станция
Головка РАСМ
Головка СТМ
Подставка виброзащитная
Держатель образца СТМ
Жидкостная ячейка
термостатируемая
Держатель зонда РАСМ
Держатель зонда РАСМ
д/жидк. ячейки
Держатель образца
термостатируемый
Кабель «термостат»
Кабель «блок управления-
блок преобразователей»
Кабель «резонансный
режим»
Кабель «резистивный
режим»
Набор зондов АСМ
Набор зондов РАСМ
Набор зондов МАСМ
Кабель сетевой
Столик для намагничивания
зондов
Эталонные образцы с
известной разностью высот
(ступени 10-40 нм)
Руководство по
эксплуатации
Методика поверки
Системный блокСистемный блок
управленияуправления
Электронный блокЭлектронный блок
преобразователейпреобразователей
Механический блокМеханический блок
пьезоманипуляторапьезоманипулятора
Графическая станцияГрафическая станция
Гелиевый криостатДержатель образца СТМ
ТерморегуляторДержатель СТМ зонда
Блок маностатаДержатель камертонного
Держатель образца СТМ зонда
Держатель СТМ зондаСоединительные кабели
Держатель камертонного Эталонные образцы с
зондаизвестной разностью
Соединительные кабели высот (ступени 10-40 нм)
Эталонные образцы сРуководство по
известной разностьюэксплуатации
высот (ступени 10-40 нм) Методика поверки
Руководство по
эксплуатации
Методика поверки
Поверка
осуществляется по документу МП 34310-07«Микроскопы сканирующие зондовые
ФемтоСкан. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в январе 2007
года.
Основными средствами поверки являются:
- мера периода и высоты линейная TGQ1 с характеристиками, приведенными в
таблице 3.
- мера периода и высоты линейная TGZ3 с характеристиками, приведенными в
таблице 4.
Таблица 4
Наименование
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической
Значение
3,00
± 0,01
Лист № 6
Всего листов 6
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм
± 0,01
Значение высоты выступов в шаговой структуре меры, нм
520
±20
20
структуры, мкм, не более
Значение высоты выступов в шаговых структурах меры, нм
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения
высоты выступов в шаговых структурах, нм, не более
±2
3,00
Допустимое отклонение от номинального значения шага периодической
структуры, мкм, не более
Пределы допускаемых значений абсолютной погрешности определения
высоты выступов в шаговой структуре, нм, не более
Сведения о методиках (методах) измерений
Руководство по эксплуатации, стр. 23-53.
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам
сканирующим зондовым ФемтоСкан
«Микроскопы сканирующие зондовые ФемтоСкан. Технические условия» 1706-001-
00353336-07 ТУ.
Рекомендации по областям примененияв сфере государственного регулирования
обеспечения единства измерений
Выполнении работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции
других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской
Федерации обязательным требованиям.
Изготовитель
ООО НПП «Центр перспективных технологий»
119311, г. Москва, ул. Строителей, 4-5-47
Телефон: 9263759
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС», аттестат аккредитации № 30004-08
119361, Москва, Г-361, ул. Озерная, 46.
Заместитель Руководителя
Федерального агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.
«»_____________ 2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 1120-57 | Микроскопы отсчетные | МПБ-2 и МПБ-2В | Приборостроительный завод, Украина, г.Изюм | Нет данных | Перейти |
| 34310-07 | Микроскопы сканирующие зондовые | ФемтоСкан | ООО НПП "Центр перспективных технологий", г.Москва | 1 год | Перейти |
| 61275-15 | Калориметры дифференциальные сканирующие | DSC131 EVO, MICRO DSC7 EVO, MICRO SC, MHTC96 EVO | Фирма "Setaram Instrumentation", Франция | 1 год | Перейти |
| 15684-03 | Микроскопы электронные сканирующие | XL, \"Quanta | Фирма "FEI Company/ Philips Electron Optics", Нидерланды | 1 год | Перейти |
| 35698-07 | Микроскопы инструментальные | ИМЦЛ 200х75,Б | АО "Швабе - Оборона и Защита", г.Новосибирск | 2 года | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений