Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ООО "СУПРР"
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Санкт-Петербург
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К, ГРСИ 33598-06
Номер госреестра:
33598-06
Наименование СИ:
Меры ширины и периода специальные
Обозначение типа:
МШПС-2.0К
Производитель:
ОАО "НИЦПВ", г.Москва
Межповерочный интервал:
1 год
Сведения о типе СИ:
Срок свидетельства
Срок свидетельства:
24.01.2017
Описание типа:
Методика поверки:
-
Аккредитованная лаборатория
8(812)209-15-19, info@saprd.ru
×
![]()
Приложение к свидетельству № 26441
об утверждении типа средств измерений
Лист № 1
всего листов 4
ОПИСАНИЕТИПАСРЕДСТВАИЗМЕРЕНИЙ
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К
Назначение средства измерений
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К (далее – меры) предназначены для
передачи размера единицы длины в диапазоне от 10
-9
до 10
-4
м и применяются при поверке
(калибровке) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных
и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Описание средства измерений
Меры представляют собой совокупность пяти групп рельефных шаговых структур на
поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины со стороной не более 10
мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100).
Мера состоит из пяти одинаковых групп шаговых структур по три структуры в каждой груп-
пе, имеет маркерные линии и цифры, позволяющие однозначно находить измеряемый элемент
рельефа. Геометрическая форма элемента рельефа шаговой структуры – трапеция с заданным
углом наклона боковых сторон относительно плоскости нижнего основания, равным 54,7°.
Схематические изображения мер представлены на рисунках 1-3.
Рис. 1. Схема расположения групп шаговых структур мер.
1 – группы шаговых структур, 2 – направляющие линии.
Размеры указаны в микрометрах
1
1
2
Лист № 2
всего листов 4
IIIIII IIIIII
Рис. 2. Группа шаговых структур мер и их обозначения.
Размеры указаны в микрометрах.
Рис. 3. Сечение выступа шаговой структуры меры с обозначением параметров.
Метрологические и технические характеристики
Метрологические и технические характеристики меры приведены в Таблице.
Таблица.
НаименованиеЗначение
Номинальное значение шага шаговой структуры, мкм 2,00
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры,
мкм, не более± 0,05
Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых струк-
турах (b
u
), нм10 ÷ 500
h
a
b
u
Лист № 3
всего листов 4
Значение
100 ÷ 1400
75 ÷ 980
5
± 2
± 1
Наименование
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах (h), нм
Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры на
плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры (a), нм
Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структу-
рах (δ) в пределах ширины линии ориентирования, нм, не более
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размеров b
u
, h,
δ, нм
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размера a, нм
Условия эксплуатации:
а) при работе на воздухе
- температура окружающего воздуха, °С
- относительная влажность, %
- атмосферное давление, Па
б) при работе в вакуумных условиях
- диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па
- температура держателя образца,
о
С
20 ± 3
65 ± 15
(100 ± 4)·10
3
Масса, кг, не более
Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм, не более
1·10
-4
÷ 270
20 ± 3
0,009
10х10х0,5
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским спосо-
бом.
Комплектность средства измерений
В комплект поставки входят: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К, фут-
ляр, паспорт.
Поверка
осуществляется в соответствии с разделом 8 руководства по эксплуатации, утвержден-
ным руководителем ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва» в августе 2006 г.
Средства поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro,
система лазерная измерительная ЛИС-01М.
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют.
Нормативные документы, устанавливающие требования к мерам ширины и периода
специальным МШПС-2.0К
ГОСТ Р 8.592-2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристал-
лического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору ма-
териала для изготовления.
МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государст-
венная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин
волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обес-
печения единства измерений
Применяются для передачи размера единицы длины при поверке оптических ближне-
го поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и
других средств измерений малой длины.
Лист № 4
всего листов 4
Изготовитель
Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств по-
верхности и вакуума»
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д.40, кор. 1.
Телефон/факс: (495) 935-97-77. Е-mail:
.
Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва», аттестат аккредитации № 30010-10.
Адрес: 117418 г. Москва, Нахимовский проспект, 31.
Тел.: (495) 544 00 00. Факс: (499) 124-99-96. E-mail:
Заместитель
Руководителя Федерального
агентства по техническому
регулированию и метрологииЕ.Р. Петросян
М.п.«____»__________2012 г.
Готовы поверить данное средство измерений.
Поверка средств измерений.
| ГРСИ | Наименование СИ | Тип СИ | Производитель | МПИ | Ссылка |
| 58137-14 | Меры для поверки пульсовых оксиметров | МППО-2 | ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва | 1 год | Перейти |
| 275-90 | Термометры стеклянные жидкостные специальные. Термометры для спецкамер низкотемпературные | СП-81, СП-100 | АО "Стеклоприбор", Украина, г.Червонозаводское | Нет данных | Перейти |
| 44326-10 | Система автоматизированная информационно-измерительная коммерческого учета электрической энергии Красноярского РНУ ОАО "Транссибнефть" Ачинская ЛПДС | Нет данных | ООО НПК "Специальные электрические машины" (Спецэлектромаш), г.Красноярск | 4 года | Перейти |
| 80977-21 | Меры переходные электрического сопротивления | ПрофКиП Р40111, ПрофКиП Р40112, ПрофКиП Р40113, ПрофКиП Р40114, ПрофКиП Р40115 | Общество с ограниченной ответственностью "ПРОФКИП" (ООО "ПРОФКИП"), Московская область, г. Мытищи | 1 год | Перейти |
| 65069-16 | Меры для поверки пульсовых оксиметров | МППО-М | ФГУП "ВНИИ оптико-физических измерений" (ВНИИОФИ), г.Москва | 1 год | Перейти |
Общество с ограниченной ответственностью
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
"Специализированное управление программ регионального развития"
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001 ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений
ООО "СУПРР"
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
ИНН 7813337035 КПП 781301001
ОГРН 1057813279919
197198, Санкт-Петербург, ул. Шамшева, д. 8, лит. А, пом. 230
8(812)209-15-19
info@saprd.ru
Поверка средств измерений